一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法，包括工作台、抛光机构、密封定位机构、吸尘机构；工作台的上侧设有上板，工作台与上板之间连接有多个连接柱，工作台上安装有抛光板；抛光机构安装在上板的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构设于抛光机构的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢，密封定位机构包括密封罩。本发明专利技术通过相应机构的设置，可以定位晶圆片，避免工作人员手动定位，进而可以保证工作人员的安全性，另外，可以对晶圆片抛光过程中的飞尘进行收集处理，避免飞尘的漂浮，进而大幅降低工作人员吸入飞尘的概率，一定程度上可以保证工作人员的身体健康。证工作人员的身体健康。证工作人员的身体健康。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法


[0001]本专利技术属于半导体材料
，具体涉及一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法。

技术介绍

[0002]半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ
·
cm
‑
1GΩ
·
cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。半导体材料被广泛应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域。
[0003]半导体产品的主要加工过程分为晶圆制造和封装测试，其中，晶圆制造又包括扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光和金属化7道工序。在对晶圆片进行抛光时，由于晶圆片体积小，现有的抛光机不容易定位，导致工作人员需要手动定位晶圆片，费时费力，且安全性差，另外，晶圆片在抛光的过程中容易产生飞尘，这些飞尘容易飘散在空气中，进而容易被工作人员吸入体内，对工作人员的身体造成危害。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法，以解决上述的抛光机不好抛光晶圆片的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术一实施例提供的技术方案如下：
[0007]一种半导体材料用环保型生产设备，包括工作台、抛光机构、密封定位机构、吸尘机构；
[0008]所述工作台的上侧设有上板，所述工作台与上板之间连接有多个连接柱，所述工作台上安装有抛光板；
[0009]所述抛光机构安装在所述上板的下底面，用于抛光晶圆片；
[0010]所述密封定位机构设于所述抛光机构的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢，所述密封定位机构包括密封罩，所述密封罩的下端连接有弹性件，所述弹性件上连接有接触件，所述弹性件内填充有填充液，所述弹性件的内侧设有多个定位弧板，所述弹性件与定位弧板之间连接有伸缩件；
[0011]所述吸尘机构安装在所述密封罩上，用于吸取密封罩内晶圆片抛光时产生的飞尘。
[0012]进一步地，所述抛光机构包括气缸，用于控制抛光电动机升降，进而实现晶圆片的抛光，所述气缸固定端与所述上板相连接；
[0013]所述气缸自由端连接有安装板，用于安装抛光电动机。
[0014]进一步地，所述安装板上安装有抛光电动机，用于驱动抛光盘进行转动；
[0015]所述抛光电动机输出轴连接有抛光盘，所述抛光盘用于抛光所述抛光板上的晶圆
片。
[0016]进一步地，所述密封罩与所述抛光电动机输出轴转动连接有轴承，避免对抛光电动机输出轴转动造成影响；
[0017]所述密封罩、弹性件和接触件的整体高度大于所述抛光电动机输出轴长度，当抛光电动机下降时，使得接触件能够先于抛光板相接触，进而用于密封抛光板上的晶圆片，同时用于使得多个定位弧板伸长，用于定位晶圆片。
[0018]进一步地，所述弹性件和接触件均为橡胶材质，保证密封罩内部的密封效果。
[0019]进一步地，所述密封罩的侧壁上安装有智能遮挡机构，用于智能遮挡密封罩内部，同时还可以保证密封罩整体的强度，所述智能遮挡机构包括一对玻璃，一对所述玻璃之间设有一对导电膜，所述玻璃与导电膜之间连接有夹胶膜，一对所述导电膜之间设有液晶分子，当导电膜通电时，玻璃、夹胶膜和导电膜整体透明，当导电膜断电时，玻璃、夹胶膜和导电膜变得不透明，用于遮挡密封罩内部，同时用于节省电源。
[0020]进一步地，所述吸尘机构包括吸气泵和过滤箱，吸气泵用于产生吸力，过滤箱用于过滤飞尘；
[0021]所述吸气泵和过滤箱均安装在所述密封罩上，所述过滤箱与吸气泵吸气端相连接。
[0022]进一步地，所述过滤箱内设有多个过滤件，用于过滤飞尘。
[0023]进一步地，所述密封罩的内侧设有环形管，所述环形管设于所述抛光电动机输出轴的外侧，所述环形管上开凿有通槽，通过环形管吸取密封罩内的飞尘，以便对飞尘进行集中处理；
[0024]所述环形管与所述过滤箱之间连接有连接管，所述连接管和吸气泵吸气端分别设于过滤箱的两侧。
[0025]一种所述的半导体材料用环保型生产设备的使用方法，包括以下步骤：
[0026]S1、将晶圆片放置在抛光板上，控制气缸伸长，气缸带动安装板、抛光电动机和抛光盘下移；
[0027]S2、抛光电动机输出轴侧壁上的密封罩也跟随抛光电动机进行同步下移，由于密封罩、弹性件和接触件的整体高度大于抛光电动机输出轴的长度，当抛光电动机下降到一定高度时，接触件先与抛光板接触，此时，弹性件被挤压收缩；
[0028]S3、当弹性件被挤压收缩时，弹性件内的填充液进入到伸缩件内，使得伸缩件伸长，伸缩件伸长时能够带动定位弧板进行移动，利用多个定位弧板同步移动来定位晶圆片，保证晶圆片处于抛光板的中心处；
[0029]S4、控制抛光电动机运行，抛光电动机带动抛光盘进行转动，转动的抛光盘用于抛光晶圆片的表面，晶圆片抛光时产生的飞尘被密封在密封罩内；
[0030]S5、打开吸气泵，吸气泵通过吸气端、过滤箱、连接管和环形管吸取密封在密封罩内的飞尘，以便对飞尘进行集中处理；
[0031]S6、在飞尘进入到过滤箱内时，通过多个过滤件进行过滤处理；
[0032]S7、当需要观察密封罩内的情况时，只需对导电膜通电，导电膜在电力作用下使得玻璃、夹胶膜变得透明，便于观察，当导电膜断开电源时，玻璃、夹胶膜和导电膜变得不透明，用于起到遮挡的效果，同时用于节省电力。
[0033]与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0034]本专利技术通过相应机构的设置，可以定位晶圆片，避免工作人员手动定位，进而可以保证工作人员的安全性，另外，可以对晶圆片抛光过程中的飞尘进行收集处理，避免飞尘的漂浮，进而大幅降低工作人员吸入飞尘的概率，一定程度上可以保证工作人员的身体健康。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本专利技术一实施例中一种半导体材料用环保型生产设备的立体图；
[0037]图2为图1中A处结构示意图；
[0038]图3为本专利技术一实施例中一种半导体材料用环保型生产设备的正视图；
[0039]图4为本专利技术一实施例中一种半导体材料用环保型生产设备的部分剖面图；
[0040]图5为图4中B处结构示意图；
[0041]图6为图4中C处结构示意图；
[0042]图7为本专利技术一实施例中一种半导体材料用环保型生产设备的俯视剖面图；
[0043]图8为图7中D处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，包括：工作台(1)，所述工作台(1)的上侧设有上板(101)，所述工作台(1)与上板(101)之间连接有多个连接柱(102)，所述工作台(1)上安装有抛光板(103)；抛光机构(2)，安装在所述上板(101)的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构(3)，设于所述抛光机构(2)的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢；其中，所述密封定位机构(3)包括密封罩(301)，所述密封罩(301)的下端连接有弹性件(303)，所述弹性件(303)上连接有接触件(304)，所述弹性件(303)内填充有填充液(305)，所述弹性件(303)的内侧设有多个定位弧板(306)，所述弹性件(303)与定位弧板(306)之间连接有伸缩件(307)；吸尘机构(4)，安装在所述密封罩(301)上，用于吸取密封罩(301)内晶圆片抛光时产生的飞尘。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述抛光机构(2)包括气缸(201)，所述气缸(201)固定端与所述上板(101)相连接，所述气缸(201)自由端连接有安装板(202)。3.根据权利要求2所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述安装板(202)上安装有抛光电动机(203)，所述抛光电动机(203)输出轴连接有抛光盘(204)，所述抛光盘(204)用于抛光所述抛光板(103)上的晶圆片。4.根据权利要求3所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述密封罩(301)与所述抛光电动机(203)输出轴转动连接有轴承(302)，所述密封罩(301)、弹性件(303)和接触件(304)的整体高度大于所述抛光电动机(203)输出轴长度。5.根据权利要求4所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述弹性件(303)和接触件(304)均为橡胶材质。6.根据权利要求4所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述密封罩(301)的侧壁上安装有智能遮挡机构，所述智能遮挡机构包括一对玻璃(308)，一对所述玻璃(308)之间设有一对导电膜(310)，所述玻璃(308)与导电膜(310)之间连接有夹胶膜(309)，一对所述导电膜(310)之间设有液晶分子。7.根据权利要求1所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述吸尘机构(4)包括吸气泵(401)和过滤箱(402)，所述吸气泵(401)和过滤箱(402)均安装在所述密封罩(301)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱春，李述周，
申请(专利权)人：江苏科沛达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：