一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法，包括工作台、抛光机构、密封定位机构、吸尘机构；工作台的上侧设有上板，工作台与上板之间连接有多个连接柱，工作台上安装有抛光板；抛光机构安装在上板的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构设于抛光机构的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢，密封定位机构包括密封罩。本发明专利技术通过相应机构的设置，可以定位晶圆片，避免工作人员手动定位，进而可以保证工作人员的安全性，另外，可以对晶圆片抛光过程中的飞尘进行收集处理，避免飞尘的漂浮，进而大幅降低工作人员吸入飞尘的概率，一定程度上可以保证工作人员的身体健康。证工作人员的身体健康。证工作人员的身体健康。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法


[0001]本专利技术属于半导体材料
，具体涉及一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法。

技术介绍

[0002]半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ
·
cm
‑
1GΩ
·
cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。半导体材料被广泛应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域。
[0003]半导体产品的主要加工过程分为晶圆制造和封装测试，其中，晶圆制造又包括扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光和金属化7道工序。在对晶圆片进行抛光时，由于晶圆片体积小，现有的抛光机不容易定位，导致工作人员需要手动定位晶圆片，费时费力，且安全性差，另外，晶圆片在抛光的过程中容易产生飞尘，这些飞尘容易飘散在空气中，进而容易被工作人员吸入体内，对工作人员的身体造成危害。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，包括：工作台(1)，所述工作台(1)的上侧设有上板(101)，所述工作台(1)与上板(101)之间连接有多个连接柱(102)，所述工作台(1)上安装有抛光板(103)；抛光机构(2)，安装在所述上板(101)的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构(3)，设于所述抛光机构(2)的外侧，用于定位且密封晶圆片，避免晶圆片抛光时产生的飞尘外溢；其中，所述密封定位机构(3)包括密封罩(301)，所述密封罩(301)的下端连接有弹性件(303)，所述弹性件(303)上连接有接触件(304)，所述弹性件(303)内填充有填充液(305)，所述弹性件(303)的内侧设有多个定位弧板(306)，所述弹性件(303)与定位弧板(306)之间连接有伸缩件(307)；吸尘机构(4)，安装在所述密封罩(301)上，用于吸取密封罩(301)内晶圆片抛光时产生的飞尘。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述抛光机构(2)包括气缸(201)，所述气缸(201)固定端与所述上板(101)相连接，所述气缸(201)自由端连接有安装板(202)。3.根据权利要求2所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述安装板(202)上安装有抛光电动机(203)，所述抛光电动机(203)输出轴连接有抛光盘(204)，所述抛光盘(204)用于抛光所述抛光板(103)上的晶圆片。4.根据权利要求3所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述密封罩(301)与所述抛光电动机(203)输出轴转动连接有轴承(302)，所述密封罩(301)、弹性件(303)和接触件(304)的整体高度大于所述抛光电动机(203)输出轴长度。5.根据权利要求4所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述弹性件(303)和接触件(304)均为橡胶材质。6.根据权利要求4所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述密封罩(301)的侧壁上安装有智能遮挡机构，所述智能遮挡机构包括一对玻璃(308)，一对所述玻璃(308)之间设有一对导电膜(310)，所述玻璃(308)与导电膜(310)之间连接有夹胶膜(309)，一对所述导电膜(310)之间设有液晶分子。7.根据权利要求1所述的一种半导体材料用环保型生产设备，其特征在于，所述吸尘机构(4)包括吸气泵(401)和过滤箱(402)，所述吸气泵(401)和过滤箱(402)均安装在所述密封罩(301)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱春，李述周，
申请(专利权)人：江苏科沛达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：