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本发明公开了一种半导体材料用环保型生产设备及其使用方法，包括工作台、抛光机构、密封定位机构、吸尘机构；工作台的上侧设有上板，工作台与上板之间连接有多个连接柱，工作台上安装有抛光板；抛光机构安装在上板的下底面，用于抛光晶圆片；密封定位机构设于...
该专利属于江苏科沛达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科沛达半导体科技有限公司授权不得商用。

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