一种制备三氟化氮任意比例电解液设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种制备三氟化氮任意比例电解液设备，包括反应器，反应器的一侧设置有氟化氢储罐和液氨储罐，氟化氢储罐的一侧通过屏蔽泵连通到氟化氢汽化器上，氟化氢汽化器的一侧连通到第二冷却水输送管，氟化氢汽化器的另一侧连通到反应器上，氟化氢汽化器的底端连通有氟化氢缓冲罐，且在氟化氢汽化器与氟化氢缓冲罐的连通管路上设置有氟化氢流量计，氟化氢缓冲罐的顶端通过氟化氢输送管与反应器的上端连通。本实用新型专利技术通过反应器克服了反应釜动设备存在漏油进入电解液的弊端，实现了连续进料反应，通过控制氨气和HF的质量加入比例，能够实现制备任意比例电解液的生产，降低了生产成本，提高了生产的实用性。提高了生产的实用性。提高了生产的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种制备三氟化氮任意比例电解液设备


[0001]本技术属于三氟化氮生产
，具体涉及一种制备三氟化氮任意比例电解液设备。

技术介绍

[0002]三氟化氮在微电子工业中用作一种优良的等离子蚀刻气体。目前，三氟化氮电解液制备过程中，多数生产厂家使用的为反应釜或者相关罐式反应器，制备过程需要对空排放，同时反应釜设备上的动设备较多，存在漏油进入电解液的弊端，降低了电解液的质量，目前在制备时多为间歇式的操作，导致电解液制备的效率降低，为此，我们提出了一种制备三氟化氮任意比例电解液设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种制备三氟化氮任意比例电解液设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种制备三氟化氮任意比例电解液设备，包括反应器，所述反应器的一侧设置有氟化氢储罐和液氨储罐，所述氟化氢储罐的一侧通过屏蔽泵连通到氟化氢汽化器上，所述氟化氢汽化器的一侧连通到第二冷却水输送管，所述氟化氢汽化器的另一侧连通到反应器上，所述氟化氢汽化器的底端连通有氟化氢缓冲罐，且在氟化氢汽化器与氟化氢缓冲罐的连通管路上设置有氟化氢流量计，所述氟化氢缓冲罐的顶端通过氟化氢输送管与反应器的上端连通。
[0005]所述液氨储罐的一侧通过液氨输送泵与液氨汽化器连通，所述液氨汽化器一侧靠近底端处通过第一冷却水输送管与反应器的中上部连通，所述液氨汽化器同侧靠近顶端处还连通有液氨缓冲罐，且在液氨汽化器与液氨缓冲罐的连通管路上还设置有液氨流量计，所述液氨汽化器另一侧靠近顶端处通过第二冷却水输送管连通到储水箱的顶端，所述液氨缓冲罐的顶端与反应器连通，所述反应器靠近底端处还通过第三冷却水输送管与输水泵连通，所述反应器的底部安装有第一输料管，所述第一输料管的一侧连通有储料罐。
[0006]进一步的，所述储水箱的一侧与第二冷却水输送管相连，所述储水箱的另一侧通过输水管与冷水塔连通，所述冷水塔的一侧通过固定管连通在输水泵上。
[0007]进一步的，所述储料罐的一侧通过第二输料管连通到电解槽上。
[0008]进一步的，所述反应器内的顶部设有压板，所述压板的上端设有填料层。
[0009]进一步的，所述液氨储罐的工作压力为1.0
‑
1.6Mpa，所述液氨储罐的工作温度小于32℃。
[0010]进一步的，所述反应器的工作压力为1.0
‑
2.0Mpa，所述反应器的工作温度为0
‑
160℃。
[0011]本技术与现有技术相比具有以下优点：
[0012]本技术中的反应设备，无对空排放，反应器为静设备克服了反应釜动设备较
多，存在漏油进入电解液的弊端，同时，相较于反应釜的间歇操作实现了连续进料反应，在产能上相对于传统的反应釜扩充了四倍以上，通过控制氨气和HF的质量加入比例，能够实现任意比例的电解液的生产，自动化也大大提升，有效的降低了生产成本，提高了生产的实用性。
附图说明
[0013]图1是本技术整体结构示意图。
[0014]附图标记说明：
[0015]1‑
氟化氢储罐；2
‑
屏蔽泵；3
‑
氟化氢汽化器；4
‑
液氨流量计；5
‑
液氨缓冲罐；6
‑
液氨储罐；7
‑
液氨输送泵；8
‑
液氨汽化器；9
‑
第一冷却水输送管；10
‑
氟化氢流量计；11
‑
氟化氢缓冲罐；12
‑
反应器；13
‑
氟化氢输送管；14
‑
第二冷却水输送管；15
‑
储水箱；16
‑
输水管；17
‑
冷水塔；18
‑
固定管；19
‑
输水泵；20
‑
第一输料管；21
‑
储料罐；22
‑
第二输料管；23
‑
电解槽；24
‑
第三冷却水输送管。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]如图1所示，本技术提供一种技术方案：一种制备三氟化氮任意比例电解液设备，包括反应器12，所述反应器12的一侧设置有氟化氢储罐1和液氨储罐6，所述氟化氢储罐1的一侧通过屏蔽泵2连通到氟化氢汽化器3上，所述氟化氢汽化器3的一侧连通到第二冷却水输送管14，所述氟化氢汽化器3的另一侧连通到反应器12上，所述氟化氢汽化器3的底端连通有氟化氢缓冲罐11，且在氟化氢汽化器3与氟化氢缓冲罐11的连通管路上设置有氟化氢流量计10，所述氟化氢缓冲罐11的顶端通过氟化氢输送管13与反应器12的上端连通，所述液氨储罐6的一侧通过液氨输送泵7与液氨汽化器8连通。
[0018]其中氟化氢储罐1：常压，体积50m3；液氨储罐6：工作压力1.0
‑
1.6Mpa，温度小于32℃，体积50m3；氟化氢缓冲罐11：体积2m3，设计压力0.6Mpa，温度常温；反应器12：体积5m3，设计压力1.6Mpa，温度0
‑
160℃。
[0019]所述液氨汽化器8一侧靠近底端处通过第一冷却水输送管9与反应器12的中上部连通，所述液氨汽化器8同侧靠近顶端处还连通有液氨缓冲罐5，且在液氨汽化器8与液氨缓冲罐5的连通管路上还设置有液氨流量计4，所述液氨汽化器8另一侧靠近顶端处通过第二冷却水输送管14连通到储水箱15的顶端，所述液氨缓冲罐的顶端5与反应器12连通，所述反应器12靠近底端处还通过第三冷却水输送管24与输水泵19连通。
[0020]其中液氨缓冲罐5：体积2m3，设计压力1.6Mpa，温度常温；输水泵19：压力0.6
‑
0.9MPa，温度常温，流量55m3/h。
[0021]所述反应器12的底部安装有第一输料管20，所述第一输料管20的一侧连接有储料罐21，所述储料罐21的一侧通过第二输料管22连通有电解槽23，通过阀门控制放出量。
[0022]所述储水箱15的一侧与第二冷却水输送管14相连，所述储水箱15的另一侧通过输
水管16与冷水塔17连通，所述冷水塔17的一侧通过固定管18连通在输水泵19上，所述第三冷却输水管24的一侧连通在输水泵19上，所述第二冷却水输送管14的一侧连通在储水箱15上，使用冷却水输送设备给反应器12降温，通过调整循环水流量，控制反应器温度在120
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备三氟化氮任意比例电解液设备，其特征在于：包括反应器(12)，所述反应器(12)的一侧设置有氟化氢储罐(1)和液氨储罐(6)，所述氟化氢储罐(1)的一侧通过屏蔽泵(2)连通到氟化氢汽化器(3)上，所述氟化氢汽化器(3)的一侧连通到第二冷却水输送管(14)，所述氟化氢汽化器(3)的另一侧连通到反应器(12)上，所述氟化氢汽化器(3)的底端连通有氟化氢缓冲罐(11)，且在氟化氢汽化器(3)与氟化氢缓冲罐(11)的连通管路上设置有氟化氢流量计(10)，所述氟化氢缓冲罐(11)的顶端通过氟化氢输送管(13)与反应器(12)的上端连通，所述液氨储罐(6)的一侧通过液氨输送泵(7)与液氨汽化器(8)连通，所述液氨汽化器(8)一侧靠近底端处通过第一冷却水输送管(9)与反应器(12)的中上部连通，所述液氨汽化器(8)同侧靠近顶端处还连通有液氨缓冲罐(5)，且在液氨汽化器(8)与液氨缓冲罐(5)的连通管路上还设置有液氨流量计(4)，所述液氨汽化器(8)另一侧靠近顶端处通过第二冷却水输送管(14)连通到储水箱(15)的顶端，所述液氨缓冲罐(5)的顶端与反应器(12)连通，所述反应器(12)靠近底端处还通过第三冷却水输送管(24)与输水泵(19)连通，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑阳光，纪振红，王振宇，袁瑞玲，索晓雷，乔蓓蓓，赵勇琪，吝海霞，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：