一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置。本发明专利技术包括样品台、样品托和磁传递杆；样品台用于固定于二次离子质谱仪的样品室移动台上，样品台包括固定底座以及设置于固定底座上的左侧壁、右侧壁和后侧壁，左侧壁、右侧壁和后侧壁围合形成安装槽；样品托设置于安装槽内，样品托中部贯穿设置有容置腔，容置腔用于固定装有多个样品的样品装载装置，样品托的前端面设置有装配槽；磁传递杆包括底板和杆部，杆部的一端与底板的板面固定连接，底板可拆卸的固定于装配槽内，磁传递杆用于带动样品托于样品台前侧的方向进入或移出安装槽。本发明专利技术结构简单，操作方便，定位精确，能够有效在真空环境下将样品送至指定区域并取出。取出。取出。

【技术实现步骤摘要】
一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置


[0001]本专利技术涉及二次离子质谱仪
，特别是涉及一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置。

技术介绍

[0002]二次离子质谱仪(secondary ion mass spectroscopy,SIMS)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段。它是通过高能量的离子束轰击样品表面，从样品表面轰击出二次粒子(含二次离子)。通过收集、分析其中带电的二次离子，就可以得到包含样品表面各种组份元素荷质比信息的图谱。其中包括质谱图，深度剖析图，离子像；通过线性扫描可以得到离子沿某条线的浓度分布，通过同位素离子计数的比较，可以得到同位素的丰度。SIMS在表面和纵深两个方向都具有非常高的检测灵敏度、检测限和分辨率。SIMS优异而独特的功能，使SIMS在很多科学研究和工业生产领域成为无可替代的关键技术。
[0003]因为二次离子质谱仪具有极高的灵敏度，所以特别适用于对微区的掺杂、元素及其同位素、杂质沾污和材料组成进行定量分析。在使用二次离子质谱仪对样品进行分析之前，需要在真空环境下将样品送至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置，其特征在于：包括样品台、样品托和磁传递杆；所述样品台用于固定于二次离子质谱仪的样品室移动台上，所述样品台包括固定底座以及设置于所述固定底座上的左侧壁、右侧壁和后侧壁，所述左侧壁、所述右侧壁和所述后侧壁围合形成安装槽；所述样品托设置于所述安装槽内，所述样品托中部贯穿设置有容置腔，所述容置腔用于固定装有多个样品的样品装载装置，所述样品托的前端面设置有装配槽；所述磁传递杆包括底板和杆部，所述杆部的一端与所述底板的板面固定连接，所述底板可拆卸的固定于所述装配槽内，所述磁传递杆用于带动所述样品托于所述样品台前侧的方向进入或移出所述安装槽。2.根据权利要求1所述的一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置，其特征在于：所述样品托的两外侧面还分别设有与所述样品台的移动方向平行的导轨；所述左侧壁和所述右侧壁的内侧分别设有与所述导轨对应的限位槽，所述导轨用于在所述限位槽内滑动。3.根据权利要求2所述的一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置，其特征在于：所述样品台还包括左限位支架和右限位支架，所述左限位支架和右限位支架均包括固定部、限位部以及位于之间的连接部，所述固定部分别与所述左侧壁和所述右侧壁的外侧固定连接，所述限位部向所述安装槽的内侧倾斜，使得限位部与所述左侧壁和所述右侧壁的上台阶面形成一定角度，用于形成所述限位槽。4.根据权利要求3所述的一种二次离子质谱仪的真空腔内传递样品的装置，其特征在于：所述导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：洪启集成电路珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：