一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法技术

本发明专利技术公开了一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法，属于光学检测领域。本发明专利技术首先通过实测的方式，测量得到当被测镜相对于参考镜沿X方向倾斜，Y方向倾斜和离焦造成的回程误差大小，并对回程误差逐一进行zernike多项式分解。然后以X方向的倾斜系数，Y方向倾斜系数和离焦系数建立三维坐标系，通过数据拟合得到回程误差中每一项zernike系数与三维坐标点之间的函数关系。当用这台干涉仪对任一被测镜进行检测时，将倾斜和离焦系数代入之前得到的函数关系，即可算出其对应的回程误差，并进行去除。并进行去除。并进行去除。

【技术实现步骤摘要】
一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法


[0001]本专利技术属于光学检测领域，具体涉及一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法。

技术介绍

[0002]干涉检测的基本原理为激光器发出的光一部分经参考镜反射形成参考光，另一部分经被测镜反射因此被称为被测光，参考光和被测光传输经过干涉仪内部的光学系统后在观察屏位置相干叠加形成干涉条纹并被CCD接收。通过对相机采集的干涉条纹进行处理，则可以得到被测光相对于参考光的相位信息。
[0003]当被测光与参考光在干涉仪内部传输同样的路径时，两者的相位之差即为被测镜与参考镜的面型之差，可用于指导被测镜的加工。而如果被测光与参考光在干涉仪内部传输不同的路径，则可能带来额外的像差，如式(1)所示，干涉仪的检测结果中除了包含被测面面型T、参考面面型R以外，还包含“回程误差”retrace。
[0004]W＝T
‑
R+retrace, (1)
[0005]为了避免回程误差对干涉仪检测结果的影响，通常检测时会尽量将被测镜尽量调整至与参考镜共光路的状态。然而，有一些情况本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法，其特征在于，包括：步骤一：选择一个面型误差可以忽略不计的反射镜作为被测镜标定回程误差，被测镜和参考镜调整到共焦位置，也即“零条纹”位置，测量得到此时的面型数据W0；步骤二：调整被测镜的方位角，得到一组新的面型W
i
，其中i＝1,2,
…
N代表测量数据的组数，N代表测量的总组数，其X方向的倾斜系数，Y方向的倾斜系数以及离焦系数分别为a1
,i
,a2
,i
,a3
,i
；步骤三：W
i
去掉倾斜和离焦后为W
i
’
，对应的回程误差为WR
i
＝W
i
’‑
W0，回程误差通过zernike分...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小君，吴永前，刘锋伟，赵彦，肖向海，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：