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本发明公开了一种同时适用于平面和球面的标定回程误差的方法，属于光学检测领域。本发明首先通过实测的方式，测量得到当被测镜相对于参考镜沿X方向倾斜，Y方向倾斜和离焦造成的回程误差大小，并对回程误差逐一进行zernike多项式分解。然后以X方向的...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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