一种冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种冷却装置，涉及冷却装置领域，该冷却装置包括：壳体；壳体内设有槽体，槽体用于容纳待冷却的热源，壳体于靠近槽体的四周设有内壳体，内壳体侧壁上设有若干贯穿的网孔，内壳体与壳体之间形成冷却空间，内壳体与槽体之间形成喷淋空间，冷却液经过冷却空间，通过网孔从喷淋空间流出，喷淋至槽体的侧壁，以冷却热源，采用周向喷淋式冷却，散热面积大并且冷却液流速快，冷却效果好，本实用新型专利技术能够解决现有技术中盘管式冷却装置冷却效果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却装置


[0001]本技术涉及冷却装置领域，具体涉及一种冷却装置。

技术介绍

[0002]随着科学与科技的不断发展，各种实用设备都趋于越来越高效率发展，在半导体制造中，清洗工艺中的清洗液需要进行冷却，一般高温清洗液都是在冷却装置中进行冷却，需要释放大量的热量，因此高效率冷却的冷却装置尤为重要。
[0003]目前比较常见的冷却装置采用槽内盘管式冷却装置，通过冷却液在盘管内流动带走热量，以达到冷却的效果，但是由于盘管内冷却液流速太慢，冷却效果差，所需要冷却的时间相应增加，影响清洗工艺的产能；除此之外，如若冷却装置内的盘管破损，盘管内的冷却液将会混进清洗液中，影响清洗液配方，污染清洗液，导致进行清洗工艺的产品异常，影响产品的良率。
[0004]因此，现有的冷却装置普遍存在盘管式冷却装置冷却效果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种冷却装置，旨在解决现有技术中盘管式冷却装置冷却效果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。
[0006]本技术在于提供一种冷却装置，所述冷却装置包括：
[0007]壳体；所述壳体内设有槽体，所述槽体用于容纳待冷却的热源，所述壳体于靠近所述槽体的四周设有内壳体，所述内壳体侧壁上设有若干贯穿的网孔，所述内壳体与所述壳体之间形成冷却空间，所述内壳体与所述槽体之间形成喷淋空间，冷却液经过所述冷却空间，通过所述网孔从所述喷淋空间流出，喷淋至所述槽体的侧壁，以冷却热源。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：通过本技术提供的冷却装置，冷却装置设于槽体的外侧，避免了设于槽体内侧，冷却液逸出混进清洗液中，影响清洗液配方，污染清洗液，导致进行清洗工艺的产品异常，影响产品的良率，同时采用周向喷淋式冷却，冷却效果好，具体为，在内壳体侧壁上设有若干贯穿的网孔，内壳体与壳体之间形成冷却空间，内壳体与槽体之间形成喷淋空间，冷却液经过冷却空间，通过网孔从喷淋空间流出，喷淋至所述槽体的侧壁，以冷却热源，四周喷淋式降温，喷淋的面积大，散热效果好，并且喷淋式降温能加快冷却液的流速，达到高效率冷却的效果，从而解决了现有技术中盘管式冷却装置冷却效果差与冷却液逸出污染产品的技术问题。
[0009]进一步地，所述网孔为均匀间隔设置，开孔间隔距离为0.5
‑
1.5cm。
[0010]进一步地，所述网孔的孔径为1
‑
2mm。
[0011]进一步地，所述壳体包括外围部以及与所述外围部连接的平面部，所述外围部与所述内壳体一一对应以形成所述冷却空间，所述平面部上设有若干贯穿的通孔，所述冷却液从所述通孔流出以回收循环利用。
[0012]进一步地，所述平面部于远离所述槽体的一侧设有回收槽，所述冷却液通过所述通孔，流至所述回收槽内以回收循环利用。
[0013]进一步地，所述外围部设有一贯穿的通液孔，一冷却液管穿过所述通液孔以使所述冷却液经过所述冷却液管流进所述冷却空间中。
[0014]进一步地，所述冷却液管于远离所述外围部的一侧设有一气动阀，通过控制所述气动阀以控制冷却液的流速。
[0015]进一步地，所述槽体内设有若干个温度感应器，所述温度感应器检测所述热源的温度值，根据所述温度值来控制所述气动阀的开关。
[0016]进一步地，所述气动阀上设有控制器，所述控制器计算所述温度传感器测量的温度值，并判断所述温度值是否超过预设温度值以控制所述气动阀的开关。
[0017]进一步地，所述内壳体的材质为PFA材质，所述壳体的材质为PP材质。
附图说明
[0018]本技术的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：
[0019]图1为本技术实施例中冷却装置的结构示意图；
[0020]图2为本技术实施例中冷却装置的正面剖视图；
[0021]图3为本技术实施例中冷却装置的侧面剖视图；
[0022]附图元器件符号说明：
[0023]槽体10，壳体20，外围部21，平面部22，内壳体30，网孔31，冷却空间32，喷淋空间33，回收槽40，冷却液管50，气动阀51，通液孔210，通孔220。
具体实施方式
[0024]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0025]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0026]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0027]请参阅图1
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图3，所示为本技术实施例提供的一种冷却装置，该冷却装置包括壳体，该壳体20的材质为PP材质，PP材质的成分为聚丙烯，是一种无毒、无臭、无味的乳白色高结晶的聚合物，密度小，质量轻，其强度刚硬，耐热性好，壳体20的使用寿命长。该壳体20包括外围部21以及与外围部21连接的平面部22，外围部21与槽体10的侧壁一一对应，环绕
槽体10周向设置，外围部21一侧设有一贯穿的通液孔210，通液孔210的形状为圆形，一冷却液管50穿过通液孔210以使冷却液经过冷却液管50流进冷却空间32中，冷却液管50于远离外围部的一侧设有一气动阀51，控制器控制气动阀51的开关，以控制冷却液的流速。该外围部21与内壳体30一一对应，外围部21与内壳体30之间形成冷却空间32，以作为冷却液的输送通道。除此之外，外围部21连接着平面部22，平面部22的形状为矩形，平面部22上设有若干贯穿的通孔220，该通孔220均匀间隔分布，当冷却液喷淋完成之后，从通孔220流出以回收循环利用。
[0028]平面部22于远离槽体10的一侧设有回收槽40，回收槽40的形状为矩形，冷却液喷洒完毕后，从喷淋空间33流出，通过通孔220流入回收槽40内进行回收循环利用，节约能源，节省成本，绿色环保。
[0029]其中，壳体20内设有槽体10，该槽体10为一长方体槽，用于容纳待冷却的热源，在本实施例中，在清洗工艺中，该热源为清洗液，槽体10的材质为石英材质，石英材质的主要成分为二氧化硅，无色透明，是地球表面分布最广的矿物之一。石英材质具有很强的抗腐蚀能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括：壳体；所述壳体内设有槽体，所述槽体用于容纳待冷却的热源，所述壳体于靠近所述槽体的四周设有内壳体，所述内壳体侧壁上设有若干贯穿的网孔，所述内壳体与所述壳体之间形成冷却空间，所述内壳体与所述槽体之间形成喷淋空间，冷却液经过所述冷却空间，通过所述网孔从所述喷淋空间流出，喷淋至所述槽体的侧壁，以冷却热源。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述网孔为均匀间隔设置，开孔间隔距离为0.5
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1.5cm。3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述网孔的孔径为1
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2mm。4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述壳体包括外围部以及与所述外围部连接的平面部，所述外围部与所述内壳体一一对应以形成所述冷却空间，所述平面部上设有若干贯穿的通孔，所述冷却液从所述通孔流出以回收循环利用。5.根据权利要求4所述的冷却装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：付勇林，李孟轩，范绅钺，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：