一种ATE测试和AOI测试集成检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种ATE测试和AOI测试集成检测设备，其包括底架、集成电路检测装置、AOI检测装置和控制装置，所述控制装置与所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置通讯连接，所述底架上连接有所述控制装置，所述底架上连接有隔振台，所述隔振台上连接有所述平台，所述平台上连接所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置。本实用新型专利技术不仅可以在一个工位实现Micro LED的ATE测试和AOI测试，而且能够有效降低设备运行过程中存在的共振风险。够有效降低设备运行过程中存在的共振风险。够有效降低设备运行过程中存在的共振风险。

【技术实现步骤摘要】
一种ATE测试和AOI测试集成检测设备


[0001]本技术公开了一种集成检测设备，属于Micro LED检测
，具体公开了一种ATE测试和AOI测试集成检测设备。

技术介绍

[0002]目前，Micro LED作为一种主流的显示技术相对于其它微显示技术虽然具有无与伦比的优势，但是Micro LED微显示器在出货之前，均需要进行ATE测试和AOI测试，才可以有效地降低配至有Micro LED微显示器的故障率。
[0003]由于Micro LED像素尺寸微缩化，其给Micro LED的测试带来了挑战。目前常规的Micro LED的检测通常式通过ATE测试装置和AOI测试装置独立实现，即需要首先在一个工位基于集成电路检测装置完成Micro LED的ATE测试，然后将检测合格后的Micro LED移送至另一个工位，基于AOI设备对其完成AOI测试，上述检测方法需要工位切换工序，故其检测耗时较长；而若将集成电路检测装置、AOI检测装置配合控制装置简单直接集成，控制装置的振动影响（由于控制装置的散热风扇造成）可能造成控制装置的本征模态、AOI测试的本征模态、ATE测试的本征模态相近，从而存在共振的风险。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种ATE测试和AOI测试集成检测设备，其不仅可以在一个工位实现Micro LED的ATE测试和AOI测试，而且能够有效降低设备运行过程中存在的共振风险。
[0005]本技术公开了一种ATE测试和AOI测试集成检测设备，包括底架、集成电路检测装置、AOI检测装置和控制装置，所述控制装置与所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置通讯连接，所述底架上连接有所述控制装置，所述底架上连接有隔振台，所述隔振台上连接有所述平台，所述平台上连接所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置。
[0006]在本技术的一种优选实施方案中，所述AOI检测装置包括安装柱，所述安装柱上设置有沿竖直方向布置的直线模组，所述直线模组的移动端连接有光机模组和滤镜轮模组。
[0007]在本技术的一种优选实施方案中，所述安装柱为单立柱式结构或者龙门架式结构。
[0008]在本技术的一种优选实施方案中，所述直线模组为线马模组，所述线马模组的固定端与所述安装柱固接，所述线马模组的移动端连接有所述光机模组和所述滤镜轮模组。
[0009]在本技术的一种优选实施方案中，所述线马模组的固定端与所述线马模组的移动端之间设置有防坠落装置。
[0010]在本技术的一种优选实施方案中，所述防坠落装置包括普通气缸或/和低摩擦气缸，所述普通气缸和所述低摩擦气缸上均设置有抱闸锁紧机构。
[0011]在本技术的一种优选实施方案中，所述滤镜轮模组包括固定架、移动架和滤镜轮，所述固定架与所述安装柱固接，所述移动架与所述固定架沿竖直方向可锁止的滑动配合连接，所述滤镜轮固接于所述移动架上。
[0012]在本技术的一种优选实施方案中，所述控制装置包括工控机和安装架，所述安装架与所述底架固接，所述工控机与所述安装架固接，所述工控机与所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置通讯连接。
[0013]在本技术的一种优选实施方案中，所述集成电路检测装置包括探针台，所述探针台连接于所述平台上。
[0014]在本技术的一种优选实施方案中，所述底架上连接有外罩，所述外罩与所述底架围成一暗室，所述暗室的内部设置有所述集成电路检测装置、所述AOI检测装置和所述控制装置。
[0015]本技术的有益效果是：本技术具有结构简单、稳定性好的优点，其通过将集成电路检测装置、AOI检测装置集成于一个工位上，实现了在Micro LED的ATE测试和AOI测试的同步检测，同时本技术通过采用在底架上连接控制装置，底架上连接隔振台，隔振台上连接平台，平台上连接集成电路检测装置和AOI检测装置的技术方案，避免了设备在运行过程中控制装置的本征模态、AOI测试的本征模态、ATE测试的本征模态相近，从而有效降低设备运行过程中存在的共振风险，保护了设备的检测稳定性；
[0016]进一步的，本技术的安装柱可以选用单立柱式结构或者龙门架式结构，可以根据设备需求的空间大小合理选择；
[0017]进一步的，本技术通过选用线马模组作为直线运动单元，具有便于装配和替换的优点；
[0018]进一步的，本技术通过在线马模组的固定端与线马模组的移动端之间引入防坠落装置，有效地防止了线马模组失效时光机模组和滤镜轮模组的堕落对集成电路检测装置造成的损坏；
[0019]进一步的，本技术的防坠落装置可以更具需要选用普通气缸或低摩擦气缸，普通气缸适用于一般要求的场合，低摩擦气缸适用于高速响要求的场合，从而可以根据客户需要合理定制；
[0020]进一步的，本技术公开的滤镜轮模组能够根据需要调节空间高度，提高了AOI检测装置的测试兼容性；
[0021]进一步的，本技术的控制装置包括工控机和安装架，安装架的存在更利于工控机的装配和固定；
[0022]进一步的，本技术通过选用直线模组控制压头单元的升降，方便了待测样件MARK点的压接导通；
[0023]进一步的，本技术的集成电路检测装置选用现有技术中的探针台，使得本设备便于装配和调试；
[0024]进一步的，本技术的外罩与底架能够形成暗室，为Micro LED的ATE测试和AOI测试提供环境基础。
附图说明
[0025]图1是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的示意图（单立柱式）；
[0026]图2是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的示意图（龙门架式）；
[0027]图3是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的示意图（龙门架式）；
[0028]图4是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的主视图（龙门架式）；
[0029]图5是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的直线模组+防坠落装置示意图；
[0030]图6是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的直线模组+防坠落装置示意图；
[0031]图7是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的直线模组+防坠落装置示意图；
[0032]图8是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的滤镜轮模组示意图；
[0033]图9是本技术一种ATE测试和AOI测试集成检测设备的外罩示意图；
[0034]图中：1
‑
底架，2
‑
集成电路检测装置，3
‑ꢀ
AOI检测装置，4
‑
控制装置，5
‑
隔振台，6
‑
平台，7
‑
防坠落装置，8
‑
外罩，31
‑
安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ATE测试和AOI测试集成检测设备，包括底架（1）、集成电路检测装置（2）、AOI检测装置（3）和控制装置（4），所述控制装置（4）与所述集成电路检测装置（2）和所述AOI检测装置（3）通讯连接，其特征在于：所述底架（1）上连接有所述控制装置（4），所述底架（1）上连接有隔振台（5），所述隔振台（5）上连接有平台（6），所述平台（6）上连接有所述集成电路检测装置（2）和所述AOI检测装置（3）。2.根据权利要求1所述的ATE测试和AOI测试集成检测设备，其特征在于：所述AOI检测装置（3）包括安装柱（31），所述安装柱（31）上设置有沿竖直方向布置的直线模组（32），所述直线模组（32）的移动端连接有光机模组（33）和滤镜轮模组（34）。3.根据权利要求2所述的ATE测试和AOI测试集成检测设备，其特征在于：所述安装柱（31）为单立柱式结构或者龙门架式结构。4.根据权利要求2所述的ATE测试和AOI测试集成检测设备，其特征在于：所述直线模组（32）为线马模组，所述线马模组的固定端与所述安装柱（31）固接，所述线马模组的移动端连接有所述光机模组（33）和所述滤镜轮模组（34）。5.根据权利要求4所述的ATE测试和AOI测试集成检测设备，其特征在于：所述线马模组的固定端与所述线马模组的移动端之间设置有防坠落装置（7）。6.根据权利要求5所述的ATE测试和AOI测...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴新玉，肖治祥，朱涛，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：新型
国别省市：