一种废气处理装置以及气相沉积设备制造方法及图纸

本申请涉及光伏技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。废气处理装置包括壳体，壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，壳体具有内腔；内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；第二导气腔沿第一方向的相对两端具有上游口和下游口，第一导气腔通过上游口与第二导气腔连通，第三导气腔通过下游口与第二导气腔连通；第一端设置有与第三导气腔连通的出气口；壳体设置有与第一导气腔连通的进气口，进气口与第二端之间的距离大于零；以及过滤元件，过滤元件设置于第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔中的至少一个的内部。本申请的废气处理装置能够有效减少废气中含有的固体颗粒，避免堵塞排气泵。排气泵。排气泵。

【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置以及气相沉积设备


[0001]本申请涉及光伏
，具体而言，涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。

技术介绍

[0002]在光伏行业的气相沉积设备中，硅片背面钝化工艺常用到三氧化二铝作为钝化层。目前，钝化工艺中三氧化二铝钝化层的制备常采用三甲基铝和氧化气体反应生成三氧化二铝沉积的方式。但是这会造成气相沉积设备排出的废气中含有残余的三甲基铝和氧化气体，残余的三甲基铝和氧化气体极易发生反应生成三氧化二铝固体粉末。采用排气泵对气相沉积设备中的废气进行抽气排出时，废气中的三氧化二铝固体粉末易堵塞排气泵，造成排气泵故障，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种废气处理装置以及气相沉积设备，其旨在改善现有的废气处理装置以及气相沉积设备对废气中的固体颗粒去除不佳的问题。
[0004]本申请第一方面提供一种废气处理装置，包括壳体以及过滤元件。
[0005]壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，壳体具有内腔；内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；第二导气腔沿第一方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，所述壳体具有内腔；所述内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；所述第二导气腔沿所述第一方向的相对两端具有上游口和下游口，所述第一导气腔通过所述上游口与所述第二导气腔连通，所述第三导气腔通过所述下游口与所述第二导气腔连通；所述第一端设置有与所述第三导气腔连通的出气口；所述壳体设置有与所述第一导气腔连通的进气口，所述进气口靠近所述第二端设置且与所述第二端之间的距离大于零；以及过滤元件，所述过滤元件设置于所述第一导气腔、所述第二导气腔以及所述第三导气腔中的至少一个的内部。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述过滤元件设置于所述第一导气腔内。3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述过滤元件呈折线形延伸设置；或，沿所述第一方向，所述过滤元件呈S形延伸设置。4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述壳体设置有与所述第一导气腔连通的水汽进口，所述水汽进口靠近所述第二端设置且与所述第二端之间的距离大于零。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：