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本申请涉及光伏技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置以及气相沉积设备。废气处理装置包括壳体，壳体沿第一方向具有相对的第一端和第二端，壳体具有内腔；内腔包括依次连通的第一导气腔、第二导气腔以及第三导气腔；第二导气腔沿第一方向的相对两端具有上...
该专利属于通威太阳能（眉山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能（眉山）有限公司授权不得商用。

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