一种晶棒承载装置及抛光设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种晶棒承载装置及抛光设备，涉及晶棒加工技术领域，以扩大适用范围。所述晶棒承载装置包括底座，以及自底座中心向两端沿底座的长度方向设置的至少两组承载结构。靠近底座两端的一组承载结构围合远离底座两端的另一组承载结构。自底座的中心向两端延伸方向，不同组承载结构的高度逐渐升高。同一组承载结构所具有的承载面与底座所具有的承载面之间的垂直距离相同。本实用新型专利技术提供的晶棒承载装置应用于抛光设备。棒承载装置应用于抛光设备。棒承载装置应用于抛光设备。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒承载装置及抛光设备


[0001]本技术涉及晶棒加工
，尤其涉及一种晶棒承载装置及抛光设备。

技术介绍

[0002]随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展，随着原料价格逐渐升高，降低成本需求日益迫切。
[0003]晶棒在机加工过程中，如截断工段、切方工段以及抛光工段，需要晶棒承载装置承载晶棒。现有技术提供的晶棒承载装置只能承载特定长度的晶棒，因此，存在适用性差的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶棒承载装置及抛光设备，以扩大适用范围。
[0005]第一方面，本技术提供一种晶棒承载装置，包括底座，以及自底座中心向两端沿底座的长度方向设置的至少两组承载结构。靠近底座两端的一组承载结构围合远离底座两端的另一组承载结构。自底座的中心向两端延伸方向，不同组承载结构的高度逐渐升高。同一组承载结构所具有的承载面与底座所具有的承载面之间的垂直距离相同。
[0006]采用上述技术方案的情况下，在实际应用中，当晶棒的长度相对较短时，可以将晶棒放置在位于靠近底座中心(可以定义为内侧)的承载结构上。当晶棒的长度相对较长时，可以将晶棒放置在位于靠近底座两端(可以定义为外侧)的承载结构上。由于位于外侧的承载结构的高度高于位于内侧的承载结构的高度，因此，放置在位于外侧的承载结构上的晶棒不会与位于内侧的承载结构发生碰撞。从以上应用过程可知，利用同一晶棒承载装置可以承载不同长度的晶棒，基于此，在适应不同长度晶棒的情况下，扩大晶棒承载装置的适用性。
[0007]作为一种实现方式，相邻两个承载结构之间具有高度差H，H≥1mm。如此设置，当晶棒由位于外侧的一组承载结构承载时，由于高度差H≥1mm，因此，可以降低晶棒与位于内侧的一组承载结构发生碰撞的概率。从而可以确保晶棒在加工过程中的良率。
[0008]作为一种实现方式，每一组承载结构均包括至少两个间隔设置且等高的承载块。如此设置，在实际应用时，由等高的承载块承托晶棒的两端，晶棒的中间则可以悬空在相邻两个承载块之间。当晶棒在加工过程中形成如“鼓肚”等缺陷时，两个承载块之间的间隙可以为“鼓肚”提供避让空间。相对于现有技术提供的基本与晶棒等长的承载条，间隔设置的承载块还可以有效的避免晶棒由于“鼓肚”而发生倾斜。也就是说，放置在本技术提供的承载结构上的晶棒的定位精度比较高，定位偏差比较小。当需要对上述晶棒进行切方作业时，可以减小切方作业时的开槽尺寸，同时满足切方后抛光工段的最低方棒边距尺寸要求。基于此，可以在降低抛光过程的硅料损耗的情况下，降低晶棒加工过程中的用料成本。
[0009]作为一种实现方式，承载块一体设置在底座上。如此设置，可以从整体上提高晶棒
承载装置的承载强度，以延长晶棒承载装置的使用寿命。
[0010]作为一种实现方式，承载块可拆卸地设置在底座上。如此设置，可以单独更换承载块或底座，以有效的降低晶棒承载装置的使用成本。
[0011]作为一种实现方式，贯穿承载块开设沉孔，底座与承载块对应的位置开设安装孔，紧固件贯穿沉孔并与安装孔可拆卸地连接在一起。组装状态下，紧固件远离底座的一面位于沉孔内或与承载块所具有的承载面齐平。
[0012]作为一种实现方式，每一组承载结构所包括两个承载块以底座的中心对称设置在底座上。如此设置，可以以底座的中心为基准点，完成晶棒的取放，从而可以规范取放晶棒时所利用的如机械手等搬运装置的行进路径。
[0013]作为一种实现方式，在晶棒为方棒的情况下，承载块为方形承载块。如此设置，可以确保晶棒与承载块的接触为面接触，从而可以提高晶棒放置在承载块上的稳定性。
[0014]作为一种实现方式，方形承载块在底座的宽度方向上具有相对的两侧面，方形承载块所具有的两侧面与方棒所具有的两侧面齐平。或，方形承载块所具有的两侧面外凸于方棒所具有的两侧面。如此设置，可以确保晶棒与方形承载块接触的一面完全由方形承载块承托，进一步提高晶棒放置在方形承载块上的稳定性。
[0015]第二方面，本技术还提供一种抛光设备。该抛光设备包括第一方面或第一方面任一可能的实现方式描述的晶棒承载装置。
[0016]第二方面提供的抛光设备的有益效果与第一方面或第一方面任一可能的实现方式所描述的晶棒承载装置的有益效果相同，此处不做赘述。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为本技术实施例提供的晶棒承载装置的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的晶棒承载装置承载晶棒的结构示意图；
[0020]图3为本技术实施例提供的晶棒承载装置承载另外一种晶棒的结构示意图；
[0021]图4为晶棒的结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]10
‑
底座，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20
‑
承载结构，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30
‑
晶棒，
[0024]200
‑
承载块，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
300
‑
鼓肚。
具体实施方式
[0025]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒承载装置，其特征在于，包括：底座，以及自所述底座中心向两端沿所述底座的长度方向设置的至少两组承载结构；靠近所述底座两端的一组所述承载结构围合远离所述底座两端的另一组所述承载结构；自所述底座的中心向两端延伸方向，不同组所述承载结构的高度逐渐升高；同一组所述承载结构所具有的承载面与所述底座所具有的承载面之间的垂直距离相同。2.根据权利要求1所述的晶棒承载装置，其特征在于，相邻两个所述承载结构之间具有高度差H，H≥1mm。3.根据权利要求1所述的晶棒承载装置，其特征在于，每一组所述承载结构均包括至少两个间隔设置的承载块。4.根据权利要求3所述的晶棒承载装置，其特征在于，所述承载块一体设置在所述底座上。5.根据权利要求3所述的晶棒承载装置，其特征在于，所述承载块可拆卸地设置在所述底座上。6.根据权利要求5所述的晶棒承载装置，其特征在于，贯...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚小端，成路，郭瑞波，张济蕾，李成博，郗磊，王猛，党朋飞，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：