一种双工位晶圆芯片封装设备制造技术

技术编号:34412934 阅读:53 留言:0更新日期:2022-08-03 22:06
本实用新型专利技术公开了一种双工位晶圆芯片封装设备,包括基台、送料结构和视觉工业相机,所述基台上设置有若干个晶圆模块、若干个工作台和至少一个点胶机构,所述晶圆模块上设置有若干个产品芯片,所述送料结构包括连接体、摆臂和吸嘴,所述摆臂可转动地连接在所述连接体底部,所述吸嘴连接在所述摆臂底部,所述基台上还设置有XY机构,所述工作台连接在所述XY机构上,所述送料结构位于所述工作台和所述晶圆模块之间。本实用新型专利技术通过设置双工位晶圆模块,使其通过2个送料结构可以同时对2个工作台上的料片进行封装,点胶可以实现切换功能,实现两种不同胶水的切换,可以同时封装双芯片,大大提高产品的封装效率和产能,产能可以提高到至少30k。至少30k。至少30k。

【技术实现步骤摘要】
一种双工位晶圆芯片封装设备


[0001]本技术属于芯片封装
,尤其涉及一种双工位晶圆芯片封装设备。

技术介绍

[0002]芯片是由大尺寸晶圆切割而成的,具有多种规格尺寸的产品。切割而成的芯片在应用过程中,需要经过封装工艺处理。
[0003]目前的封装设备中,通常只有一个封装工位,通过设备对单工位上的芯片进行封装,但是现有的设备的封装效率低下,产能低下。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于:为了解决现有的芯片封装设备只有一个封装工位,导致设备的封装效率低下,产能低下的问题而提出的一种双工位晶圆芯片封装设备。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种双工位晶圆芯片封装设备,包括基台、送料结构和视觉工业相机,所述基台上设置有若干个晶圆模块、若干个工作台和至少一个点胶机构,所述晶圆模块上设置有若干个产品芯片,所述送料结构包括连接体、摆臂和吸嘴,所述摆臂可转动地连接在所述连接体底部,所述吸嘴连接在所述摆臂底部,所述基台上还设置有XY机构,所述工作台连接在所述XY机构上,所述送料结构位于所述工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双工位晶圆芯片封装设备,其特征在于,包括基台(1)、送料结构(2)和视觉工业相机(3),所述基台(1)上设置有若干个晶圆模块(4)、若干个工作台(5)和至少一个点胶机构(9),所述晶圆模块(4)上设置有若干个产品芯片,所述送料结构(2)包括连接体(21)、摆臂(22)和吸嘴(23),所述摆臂(22)可转动地连接在所述连接体(21)底部,所述吸嘴(23)连接在所述摆臂(22)底部,所述基台(1)上还设置有XY机构(6),所述工作台(5)连接在所述XY机构(6)上,所述送料结构(2)位于所述工作台(5)和所述晶圆模块(4)之间。2.根据权利要求1所述的一种双工位晶圆芯片封装设备,其特征在于,所述晶圆模块(4)包括晶圆台(41)和顶针(42),所述晶圆台(41)位于在所述顶针(42)的上方。3.根据权利要求2所述的一种双工位晶圆芯片封装设备,其特征在于,所述基台(1)上设置有安装槽体(7),所述安装槽体(7)上设置有安装槽(8),所述晶圆台...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈苏怡李锡凡郭瑞
申请(专利权)人:苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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