本发明专利技术公开了一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，属于晶圆加工领域，一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，机架的上部设置有运输带，运输带上设置有若干个晶圆固定架，晶圆固定架上装配有晶圆本体和膜片的组合体，运输带的一端为起始端，另一端为终点端，机架上且位于运输带的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧，二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，机架上且位于运输带终点端的下侧固定连接有灰料箱，初次分离机构包括有固定连接在机架上的L形支架，它可以实现，连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。剥膜的效果较好。剥膜的效果较好。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺
[0001]本专利技术涉及晶圆加工领域，更具体地说，涉及一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺。
技术介绍
[0002]经专利检索发现，公开号为CN216015313U的中国专利公开了一种新型的晶圆剥膜机，该装置经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性；
[0003]但其通过真空吸对晶圆进行剥膜，当晶圆和膜片粘胶较为牢固时，无法有效的将膜片从晶圆上剥离，导致剥膜的效果较差，为此我们提出一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺。
技术实现思路
[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，它可以实现，连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题，本专利技术采用如下的技术方案。
[0008]一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，所述机架的上部设置有运输带，所述运输带上设置有若干个晶圆固定架，所述晶圆固定架上装配有晶圆本体和膜片的组合体，所述运输带的一端为起始端，另一端为终点端，所述机架上且位于运输带的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且所述初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧；
[0009]所述二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，所述机架上且位于运输带终点端的下侧固定连接有灰料箱。
[0010]进一步的，所述初次分离机构包括有固定连接在机架上的L形支架，所述L形支架的下部固定连接有多个小支架，所述小支架上装配有弹力拉绳。
[0011]进一步的，所述二次剥离机构包括有固定连接在机架上的辅助支架，所述运输带上转动连接有位于运输带上侧的热熔剥膜筒，所述辅助支架上还固定连接有用于带动热熔剥膜筒进行转动的驱动机构。
[0012]进一步的，所述废弃膜回收机构包括有固定连接在辅助支架上的剥离线组件和废弃膜回收箱，所述废弃膜回收箱上倾斜固定连接有与热熔剥膜筒相抵的导料板；
[0013]所述剥离线组件包括有两个固定连接在辅助支架上的弹性架，且两个所述弹性架分别位于热熔剥膜筒的两侧，两个所述弹性架之间固定连接有分离钢丝线，且所述分离钢丝线的下部和热熔剥膜筒的上部相抵。
[0014]进一步的，所述晶圆固定架包括有多个倾斜开设在固定座上的安装槽，且所述安装槽的上部朝靠近运输带起始端的一侧倾斜，所述安装槽靠近运输带终点端的一侧呈开口
设计；
[0015]所述固定座的内部开设有多个夹持腔，多个所述夹持腔分别和多个安装槽相适配，所述夹持腔的内部且位于安装槽的两侧转动连接有两个相互对称的夹持条，所述固定座上还设置有同步调节组件。
[0016]进一步的，所述夹持条包括有钩形夹条和驱动板，所述钩形夹条和驱动板呈倾斜固定，所述钩形夹条位于夹持腔的内部，其形状呈钩形，且两个所述钩形夹条的开口相对，所述驱动板延伸至夹持腔的外侧与同步调节组件相连，所述钩形夹条和驱动板的连接处固定连接有与夹持腔转动连接的转动杆。
[0017]进一步的，所述同步调节组件包括有调节自锁组件，传动板、多个传导圆杆和多个万向球，所述固定座和传动板之间通过调节自锁组件相连，多个所述传导圆杆滑动连接在传动板的下侧，所述万向球转动连接在驱动板远离钩形夹条的一端，所述传导圆杆插接在万向球上。
[0018]进一步的，所述固定座上且位于安装槽的下部还设置有弹力底垫组件，所述弹力底垫组件包括有开设在固定座上的弹力腔，且所述弹力腔的上部和安装槽的下部相连通，所述弹力腔的内部安装有回力弹簧，所述弹力腔的内部且位于回力弹簧的上部安装有撑片。
[0019]进一步的，所述固定座上还设置有快速进料组件，所述快速进料组件包括有沿固定座长边方向开设在固定座上的导向滑槽和固定连接在固定座一侧的辅助支板，所述导向滑槽上滑动连接有储料筒，所述辅助支板上固定连接有拉力机构，所述拉力机构的输出端与储料筒相连。
[0020]一种晶圆用高效剥膜工艺，所述工艺包括有以下步骤：
[0021]S1：将多个晶圆本体和膜片的组合体依次放置进入储料筒的内部；
[0022]S2：沿固定座长边方向滑动储料筒，将储料筒内部的多个组合体依次落入多个安装槽内部；
[0023]S3：通过调节设备带动螺纹杆进行转动，调节钩形夹条的角度，对晶圆本体进行夹持；
[0024]S4：启动运输带，带动晶圆本体和膜片的组合体进行移动，完成晶圆本体和膜片组合体的初次分离和对晶圆的剥膜工作；
[0025]S5：启动驱动机构带动热熔剥膜筒进行转动，通过剥离线组件对热熔剥膜筒上的膜片进行分离，让剥离后的膜片落至废弃膜回收箱的内部进行储存；
[0026]S6：再次通过调节设备带动螺纹杆进行转动，调节钩形夹条的角度，使钩形夹条不再与晶圆本体接触，解除钩形夹条对晶圆本体进行的夹持固定；
[0027]S7：启动运输带带动剥膜完成后的晶圆本体进行进行移动，直至晶圆本体移动至运输带终点端时，膜片自动下落至灰料箱的内部进行回收。
[0028]3.有益效果
[0029]相比于现有技术，本专利技术的优点在于：
[0030](1)本方案通过运输带带动多个晶圆本体和膜片的组合体进行移动，在移动的过程中，通过初次分离机构和二次剥离机构对晶圆本体和膜片进行剥离，并通过废弃膜回收机构对剥离后的膜片进行回收储存，通过灰料箱对剥离后的晶圆本体进行回收储存，从而
能够连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。
附图说明
[0031]图1为本专利技术的结构示意图；
[0032]图2为本专利技术晶圆固定架的结构示意图；
[0033]图3为本专利技术晶圆固定架的剖切侧视图；
[0034]图4为本专利技术晶圆固定架的局部剖切结构示意图；
[0035]图5为本专利技术初次分离机构的结构示意图；
[0036]图6为本专利技术弹性架的结构示意图。
[0037]图中标号说明：
[0038]1、机架；2、运输带；3、固定座；4、安装槽；5、晶圆本体；6、膜片；7、弹力腔；8、回力弹簧；9、撑片；10、夹持腔；11、钩形夹条；12、万向球；13、传导圆杆；14、传动板；15、螺纹圈；16、连接件；17、螺纹杆；18、导向滑槽；19、储料筒；20、辅助支板；21、拉力机构；22、驱动板；23、转动杆；24、辅助支架；25、热熔剥膜筒；26、驱动机构；27、废弃膜回收箱；28、导料板；29、灰料箱；30、导向套筒；31、升降杆；32、分离钢丝线；33、拉力弹簧；34、L形支架；35、小支架；36、弹力拉绳；37、调节设备。
具体实施方式
[0039]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上部设置有运输带(2)，所述运输带(2)上设置有若干个晶圆固定架，所述晶圆固定架上装配有晶圆本体(5)和膜片(6)的组合体，所述运输带(2)的一端为起始端，另一端为终点端，所述机架(1)上且位于运输带(2)的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且所述初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧；所述二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，所述机架(1)上且位于运输带(2)终点端的下侧固定连接有灰料箱(29)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述初次分离机构包括有固定连接在机架(1)上的L形支架(34)，所述L形支架(34)的下部固定连接有多个小支架(35)，所述小支架(35)上装配有弹力拉绳(36)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述二次剥离机构包括有固定连接在机架(1)上的辅助支架(24)，所述运输带(2)上转动连接有位于运输带(2)上侧的热熔剥膜筒(25)，所述辅助支架(24)上还固定连接有用于带动热熔剥膜筒(25)进行转动的驱动机构(26)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述废弃膜回收机构包括有固定连接在辅助支架(24)上的剥离线组件和废弃膜回收箱(27)，所述废弃膜回收箱(27)上倾斜固定连接有与热熔剥膜筒(25)相抵的导料板(28)；所述剥离线组件包括有两个固定连接在辅助支架(24)上的弹性架，且两个所述弹性架分别位于热熔剥膜筒(25)的两侧，两个所述弹性架之间固定连接有分离钢丝线(32)，且所述分离钢丝线(32)的下部和热熔剥膜筒(25)的上部相抵。5.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述晶圆固定架包括有多个倾斜开设在固定座(3)上的安装槽(4)，且所述安装槽(4)的上部朝靠近运输带(2)起始端的一侧倾斜，所述安装槽(4)靠近运输带(2)终点端的一侧呈开口设计；所述固定座(3)的内部开设有多个夹持腔(10)，多个所述夹持腔(10)分别和多个安装槽(4)相适配，所述夹持腔(10)的内部且位于安装槽(4)的两侧转动连接有两个相互对称的夹持条，所述固定座(3)上还设置有同步调节组件。6.根据权利要求5所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述夹持条包括有钩形夹条(11)和驱动板(22)，所述钩形夹条(11)和驱动板(22)呈倾斜固定，所述钩形夹条(11)位于夹持腔(10)的内部，其形状呈钩形，且两个所述钩形夹条(11)的开口相对，所述驱动板(22)延伸至夹持腔(10)的外侧与同步调节组件相连，所述钩形夹条(11)和驱动板(22)的连接处固定连接有与夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄昌民，张志奇，张站东，何飞，黄国荣，
申请(专利权)人：无锡昌德微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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