一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，属于晶圆加工领域，一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，机架的上部设置有运输带，运输带上设置有若干个晶圆固定架，晶圆固定架上装配有晶圆本体和膜片的组合体，运输带的一端为起始端，另一端为终点端，机架上且位于运输带的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧，二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，机架上且位于运输带终点端的下侧固定连接有灰料箱，初次分离机构包括有固定连接在机架上的L形支架，它可以实现，连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。剥膜的效果较好。剥膜的效果较好。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺


[0001]本专利技术涉及晶圆加工领域，更具体地说，涉及一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺。

技术介绍

[0002]经专利检索发现，公开号为CN216015313U的中国专利公开了一种新型的晶圆剥膜机，该装置经过热烘与真空吸的方式，完成批量剥膜，提高工作效率和效果，提高可靠性；
[0003]但其通过真空吸对晶圆进行剥膜，当晶圆和膜片粘胶较为牢固时，无法有效的将膜片从晶圆上剥离，导致剥膜的效果较差，为此我们提出一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，它可以实现，连续性的对多个晶圆本体和膜片进行剥离并储存，提升剥膜效率，且剥膜的效果较好。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题，本专利技术采用如下的技术方案。
[0008]一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，所述机架的上部设置有运输带，所述运输带上设置有若干个晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上部设置有运输带(2)，所述运输带(2)上设置有若干个晶圆固定架，所述晶圆固定架上装配有晶圆本体(5)和膜片(6)的组合体，所述运输带(2)的一端为起始端，另一端为终点端，所述机架(1)上且位于运输带(2)的上侧设置有初次分离机构和二次剥离机构，且所述初次分离机构位于二次剥离机构靠近起始端的一侧；所述二次剥离机构上设置有废弃膜回收机构，所述机架(1)上且位于运输带(2)终点端的下侧固定连接有灰料箱(29)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述初次分离机构包括有固定连接在机架(1)上的L形支架(34)，所述L形支架(34)的下部固定连接有多个小支架(35)，所述小支架(35)上装配有弹力拉绳(36)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述二次剥离机构包括有固定连接在机架(1)上的辅助支架(24)，所述运输带(2)上转动连接有位于运输带(2)上侧的热熔剥膜筒(25)，所述辅助支架(24)上还固定连接有用于带动热熔剥膜筒(25)进行转动的驱动机构(26)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述废弃膜回收机构包括有固定连接在辅助支架(24)上的剥离线组件和废弃膜回收箱(27)，所述废弃膜回收箱(27)上倾斜固定连接有与热熔剥膜筒(25)相抵的导料板(28)；所述剥离线组件包括有两个固定连接在辅助支架(24)上的弹性架，且两个所述弹性架分别位于热熔剥膜筒(25)的两侧，两个所述弹性架之间固定连接有分离钢丝线(32)，且所述分离钢丝线(32)的下部和热熔剥膜筒(25)的上部相抵。5.根据权利要求1所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述晶圆固定架包括有多个倾斜开设在固定座(3)上的安装槽(4)，且所述安装槽(4)的上部朝靠近运输带(2)起始端的一侧倾斜，所述安装槽(4)靠近运输带(2)终点端的一侧呈开口设计；所述固定座(3)的内部开设有多个夹持腔(10)，多个所述夹持腔(10)分别和多个安装槽(4)相适配，所述夹持腔(10)的内部且位于安装槽(4)的两侧转动连接有两个相互对称的夹持条，所述固定座(3)上还设置有同步调节组件。6.根据权利要求5所述的一种晶圆用高效剥膜装置，其特征在于：所述夹持条包括有钩形夹条(11)和驱动板(22)，所述钩形夹条(11)和驱动板(22)呈倾斜固定，所述钩形夹条(11)位于夹持腔(10)的内部，其形状呈钩形，且两个所述钩形夹条(11)的开口相对，所述驱动板(22)延伸至夹持腔(10)的外侧与同步调节组件相连，所述钩形夹条(11)和驱动板(22)的连接处固定连接有与夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄昌民，张志奇，张站东，何飞，黄国荣，
申请(专利权)人：无锡昌德微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：