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本发明公开了一种晶圆用高效剥膜装置及剥膜工艺，属于晶圆加工领域，一种晶圆用高效剥膜装置，包括机架，机架的上部设置有运输带，运输带上设置有若干个晶圆固定架，晶圆固定架上装配有晶圆本体和膜片的组合体，运输带的一端为起始端，另一端为终点端，机架上...
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