磨轮修正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种磨轮修正装置，用于对变形的磨轮进行修正，包括：承载台，用于承载磨轮；磨轮整形片，用于对磨轮进行整形；第一信息采集结构，位于所述承载台的一侧，用于采集当前磨轮的第一形状信息；第一处理结构，与所述第一信息采集结构连接，用于接收所述第一形状信息，并将所述第一形状信息与第一标准信息进行对比，以输出第一对比结果；修正结构，与所述第一处理结构连接，且与所述磨轮整形片连接，用于接收所述第一对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同时，控制所述磨轮整形片对当前磨轮进行修正。正。正。

【技术实现步骤摘要】
磨轮修正装置


[0001]本技术涉及磨轮修正
，尤其涉及一种磨轮修正装置。

技术介绍

[0002]硅片(Wafer)作为半导体行业的重要原材料，是目前国内市场紧缺的资源。一般情况下，多晶硅通过重熔拉晶，切片，倒角，研磨，清洗等工序后，即可获得表面光滑平坦，边缘整齐的芯片级硅片。其中，倒角是去除研磨痕迹、边缘损伤层，并使硅片边缘具有客户需要形状的重要工序。因此，倒角工序在整个硅片生产流程中占据这重要地位。
[0003]现在加工过程中，采用树脂磨轮对硅片进行整形，但是树脂磨轮往往会产生变形，影响硅片边缘的形状。目前采用人工使用整形片整形调整的方式，通过手动上下料整形片，使用标记笔对磨轮槽进行标记，倒角后检测标记位置调整磨轮槽位置，倒角硅片检测倒角整形结果，耗时耗力且整形效果差。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种磨轮修正装置，解决磨轮修正效率低，整形效果差等问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：一种磨轮修正装置，用于对变形的磨轮进行修正，包括：
[0006]承载台，用于承载磨轮；
[0007]磨轮整形片，用于对磨轮进行整形；
[0008]第一信息采集结构，位于所述承载台的一侧，用于采集当前磨轮的第一形状信息；
[0009]第一处理结构，与所述第一信息采集结构连接，用于接收所述第一形状信息，并将所述第一形状信息与第一标准信息进行对比，以输出第一对比结果；
[0010]修正结构，与所述第一处理结构连接，且与所述磨轮整形片连接，用于接收所述第一对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同时，控制所述磨轮整形片对当前磨轮进行修正。
[0011]可选的，还包括
[0012]第二信息采集结构，位于所述磨轮整形片的一侧，用于采集所述磨轮整形片的第二形状信息；
[0013]第二处理结构，与所述第二信息采集结构连接，用于接收所述第二形状信息，并将所述第二形状信息与第二标准信息进行对比，以输出第二对比结果；
[0014]所述修正结构与所述第二处理结构连接，用于接收所述第二对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同，且所述第二对比结果为所述第二形状信息与所述第二标准信息相同时，控制所述磨轮整形片对当前磨轮进行修正。
[0015]可选的，所述第一信息采集结构还用于在所述修正结构对当前磨轮进行修正后，再次采集磨轮的第三形状信息；
[0016]所述第一处理结构还用于接收所述第三形状信息，并将所述第三形状信息与所述第一标准信息进行对比，以输出第三对比结果；
[0017]所述修正结构还用于接收所述第三对比结果，并在所述第三对比结果为所述第三形状信息与所述第一标准信息不同时，控制所述磨轮整形片对磨轮进行整形修正。
[0018]可选的，所述第一信息采集结构和所述第二信息采集结构集成设置，所述第一信息采集结构包括图像采集部。
[0019]可选的，所述第一信息采集结构、所述第二信息采集结构、所述第一处理结构和所述第二处理结构集成设置于一视觉扫描设备内。
[0020]可选的，还包括第一移动控制结构，用于控制所述视觉扫描设备运动以对当前磨轮进行全方位扫描。
[0021]可选的，所述修正结构包括第二移动控制结构，用于控制所述磨轮整形片运动以对当前磨轮进行整形修正。
[0022]可选的，所述第二移动控制结构包括旋转部，所述旋转部用于控制所述磨轮整形片旋转以对当前磨轮进行修正。
[0023]可选的，所述视觉扫描设备还用于获取当前磨轮的位置信息；
[0024]所述第二移动控制结构包括水平移动部和升降移动部，所述水平移动部和所述升降移动部相配合以控制所述磨轮整形片移动，以对当前磨轮的待修正位置进行修正。
[0025]本技术的有益效果是：自动检查磨轮的形状信息以判断磨轮是否需要整形，并自动控制磨轮整形片对磨轮进行整形，提高整形效率以及整形效果。
附图说明
[0026]图1表示本技术实施例中的磨轮修正装置的结构框图；
[0027]图2表示本技术实施例中的磨轮示意图；
[0028]图3表示本技术实施例中的视觉扫描设备示意图；
[0029]图4表示本技术实施例中的磨轮整形片示意图。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0032]参考图1
‑
图4，本实施例中提供一种磨轮修正装置，用于对变形的磨轮10进行修正，包括：
[0033]承载台，用于承载磨轮10；
[0034]磨轮整形片40，用于对磨轮10进行整形；
[0035]第一信息采集结构，位于所述承载台的一侧，用于采集当前磨轮10的第一形状信息；
[0036]第一处理结构，与所述第一信息采集结构连接，用于接收所述第一形状信息，并将所述第一形状信息与第一标准信息进行对比，以输出第一对比结果；
[0037]修正结构30，与所述第一处理结构连接，且与所述磨轮整形片40连接，用于接收所述第一对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同时，控制所述磨轮整形片40对当前磨轮10进行修正。
[0038]所述修正结构30包括控制部和执行部，所述控制部包括信号接收端和信号输出端，所述信号接收端与所述第一处理结构连接，用于接收所述第一对比结果，所述信号输出端与所述执行部连接，即在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同时，向所述执行部输出执行命令，所述执行部用于接收所述执行命令，并根据所述执行命令控制所述磨轮整形片40对磨轮10进行整形。
[0039]采用上述方案，自动控制磨轮整形片40对磨轮10进行整形，且在整形前是通过所述第一信息采集结构和所述第一处理结构自动判断磨轮10是否需要整形，相比人工整形，提高了整形效率，且提高了整形效果。
[0040]本实施例中示例性的，所述磨轮10修正装置还包括：
[0041]第二信息采集结构，位于所述磨轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨轮修正装置，用于对变形的磨轮进行修正，其特征在于，包括：承载台，用于承载磨轮；磨轮整形片，用于对磨轮进行整形；第一信息采集结构，位于所述承载台的一侧，用于采集当前磨轮的第一形状信息；第一处理结构，与所述第一信息采集结构连接，用于接收所述第一形状信息，并将所述第一形状信息与第一标准信息进行对比，以输出第一对比结果；修正结构，与所述第一处理结构连接，且与所述磨轮整形片连接，用于接收所述第一对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同时，控制所述磨轮整形片对当前磨轮进行修正。2.根据权利要求1所述的磨轮修正装置，其特征在于，还包括第二信息采集结构，位于所述磨轮整形片的一侧，用于采集所述磨轮整形片的第二形状信息；第二处理结构，与所述第二信息采集结构连接，用于接收所述第二形状信息，并将所述第二形状信息与第二标准信息进行对比，以输出第二对比结果；所述修正结构与所述第二处理结构连接，用于接收所述第二对比结果，并在所述第一对比结果为所述第一形状信息与所述第一标准信息不同，且所述第二对比结果为所述第二形状信息与所述第二标准信息相同时，控制所述磨轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅，刘永亮，胡斌，黄天刚，张震，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：