一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法，包括：获取与半导体制造相关的目标数据；对所述目标数据进行知识抽取，获得与半导体制造相关的实体，以及其间的关系；以所述实体为节点，以关系为连接边，构建半导体制造相关的目标知识图谱；所述目标知识图谱用于对半导体良率进行分析和/或确定半导体良率对应的决策。本发明专利技术通过构建的目标知识图谱，实现了半导体制造领域中半导体良率分析和/或提升决策的智能化。和/或提升决策的智能化。和/或提升决策的智能化。

A method and device for constructing knowledge map for semiconductor manufacturing yield analysis

【技术实现步骤摘要】
一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法及装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造领域，芯片的良率至关重要，当线上出现良率问题的时候，需要尽快调查到问题根源并及时解决，以便保护生产线的7x24小时正常运转。
[0003]在产品出现良率问题的时候，往往需要专业的良率分析工程师(YA:Yield Analyst)，对产生的晶圆缺陷数据进行实时分析，以及对机台产生的历史数据进行回溯分析，根据过往经验发现晶圆的缺陷和/或管芯的失效特征，以及晶圆的缺陷和/或管芯的失效特征对应的根因，但是这存在着良率分析工程师需要人工对机台产生的数据进行分析，工作量较大，以及由于良率分析工程师的经验积累不同，可能产生不同的分析结果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的实施例提供一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法，通过将过往工程师对半导体数据分析形成的经验文档进行知识抽取，以形成知识图谱，在知识图谱上进行推理实现了半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法，其特征在于，包括：获取与半导体制造相关的目标数据；对所述目标数据进行知识抽取，获得与半导体制造相关的实体，以及其间的关系；以所述实体为节点，以关系为连接边，构建半导体制造相关的目标知识图谱；所述目标知识图谱用于对半导体良率进行分析，和/或确定所述半导体良率对应的决策。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标数据包括第一类数据，所述第一类数据为结构化数据，包括所述半导体的制造设备相关的和/或半导体相关的数值序列；所述对所述目标数据进行知识抽取，获得与半导体制造相关的实体，以及其间的关系，之前还包括：对所述数值序列进行语义识别，得到所述数值序列对应的描述文本，所述描述文本描述了所述数值序列对应的异常信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述数值序列进行语义识别，得到所述数值序列对应的描述文本，包括：根据预设的规则模板，为所述数值序列匹配对应的描述文本。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述数值序列进行语义识别，得到所述数值序列对应的描述文本，包括：将所述数值序列输入训练完成的语义识别模型，得到所述数值序列对应的描述文本。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的方法，其特征在于，所述目标数据包括第二类数据和/或第三类数据，所述第二类数据包括工程师对所述半导体生产过程中产生的数据进行分析产生的经验文档；所述第三类数据为所述半导体的制造设备相关的文档，包括所述制造设备的使用说明信息、故障信息以及所述故障对应的修复信息中的一种或多种。6.根据权利要求1
‑
5任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐文丞，易丛文，夏敏，
申请(专利权)人：筏渡上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：