一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种针对结构化数值型数据生成文本的方法，包括：获取结构化数值数据，该结构化数值数据为半导体制造相关的数值序列；基于预设的规则模板，为数值序列匹配对应的描述文本，该描述文本描述了数值序列对应的异常信息。本发明专利技术提供的针对结构化数值型数据生成文本的方法，将结构化数值型数据转化为更易于识别的文本数据，更好的揭示了半导体制造过程中的异常现象。的异常现象。的异常现象。

【技术实现步骤摘要】
一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置。

技术介绍

[0002]半导体制造过程中各个机台产生的数据对半导体的生产制造很重要，例如，当晶圆出现良率问题时，可以通过对各个机台产生的历史数据进行回溯分析，确定晶圆的缺陷和/或失效特征，以及缺陷和/或失效特征对应的根因，进而找到提升良率的方案，但是机台产生的数据为结构化数值型数据，需要较高的专业知识对结构化数值型数据进行分析，再结合过往经验才可判断出机台产生的结构化数值型数据披露的异常信息，这无疑增加了工作人员的工作量以及专业门槛。

技术实现思路

[0003]本专利技术的实施例提供一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置，将结构化数值型数据转化为更易于识别的文本数据，更好的揭示了半导体制造过程中的异常现象。
[0004]第一方面，本专利技术提供了一种针对结构化数值型数据生成文本的方法，包括：获取结构化数值数据，该结构化数值数据为半导体制造相关的数值序列；基于预设的规则模板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对结构化数值型数据生成文本的方法，其特征在于，包括：获取结构化数值数据，所述结构化数值数据为半导体制造相关的数值序列；基于预设的规则模板，为所述数值序列匹配对应的描述文本，所述描述文本描述了所述数值序列对应的异常信息。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：基于所述数值序列的分布特征，确定所述数值序列中的异常数据序列段；所述基于预设的规则模板，为所述数值序列匹配对应的描述文本，包括：基于预设的规则模板，为所述异常数据序列段匹配对应的描述文本。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设的规则模板包括多个异常判断条件和各个异常判断条件对应的异常现象描述；所述基于预设的规则模板，为所述异常数据序列段匹配对应的描述文本，包括：在所述多个异常判断条件中，确定所述异常数据序列段所符合的目标异常判断条件；获取所述目标异常判断条件对应的异常现象描述，作为所述描述文本。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述数值序列包括多个异常数据序列段；所述方法还包括：获取所述多个异常数据序列段在所述数值序列中的位置区间；将第一异常数据序列段和第二异常数据序列段进行合并处理，得到第三异常数据序列段，所述第一异常数据序列段和第二异常数据序列段的位置区间存在重叠；基于所述第一异常数据序列段的描述文本和第二异常数据序列段的描述文本，确定所述第三异常数据序列段的描述文本。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一异常数据序列段的描述文本和第二异常数据序列段的描述文本，确定所述第三异常数据序列段的描述文本，包括：若所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏敏，李云健，易丛文，徐文丞，
申请(专利权)人：筏渡上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：