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本发明提供一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法，包括：获取与半导体制造相关的目标数据；对所述目标数据进行知识抽取，获得与半导体制造相关的实体，以及其间的关系；以所述实体为节点，以关系为连接边，构建半导体制造相关的目标知识图谱；所述目...
该专利属于筏渡（上海）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过筏渡（上海）科技有限公司授权不得商用。

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