一种线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统技术方案

技术编号:34369953 阅读:18 留言:0更新日期:2022-07-31 10:39
本发明专利技术提供了一种线路板的数字光刻方法,线路板的数字光刻系统包括光刻主体、第一传输线、第二传输线,第一传输线包括第一定位工位、第一平台、第一出料工位,第二传输线包括第二定位工位、第二平台、第二出料工位,线路板的数字光刻方法包括步骤:第一步,若干线路板进料,交替供应线路板A、线路板B;第二步,线路板A进入第一传输线;第三步,线路板B进入第二传输线,第二步、第三步部分同时进行。本发明专利技术通过将线路板分流至两条传输线,光刻主体对两个平台上的线路板交替进行数字光刻处理,从而大大提高了光刻效率,节省时间,节省成本。节省成本。节省成本。

A digital lithography method of circuit board and a digital lithography system of circuit board using it

【技术实现步骤摘要】
一种线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统
[0001]
本专利技术涉及线路板的光刻
,尤其涉及一种线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统。
[0002]
技术介绍
光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程通常为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应,再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶,后者称负性光刻胶),使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上,最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。集成电路制造中,会使用光刻技术将电路图形传递到单晶表面或介质层上,以形成有效图形窗口或功能图形的PCB线路板。
[0003]光刻装置在对PCB线路板进行光刻时,通常在光刻装置的一侧进行上料,前一块PCB线路板光刻完成后,需要等待下一块PCB线路板上料,以实现下一块PCB线路板进行光刻。现有的光刻装置的结构单一,进行PCB线路板上料、光刻及PCB线路板下料的时间不能重叠利用,光刻效率低下。
[0004]因此,实有必要提供一种新的线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统以解决上述技术问题。
[0005]
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光刻效率高的线路板的数字光刻方法及应用其的线路板的数字光刻系统,以解决相关技术中的问题。
[0006]为了达到上述目的,本专利技术提供了一种线路板的数字光刻方法,应用于线路板的数字光刻系统中,所述线路板的数字光刻系统包括光刻主体、第一传输线、第二传输线,所述第一传输线包括第一定位工位、第一平台、第一出料工位,所述第二传输线包括第二定位工位、第二平台、第二出料工位,所述线路板的数字光刻方法包括如下步骤:第一步,若干线路板进料,交替供应线路板A、线路板B;第二步,所述线路板A进入所述第一传输线,其包括步骤,S1,所述线路板A移至所述第一定位工位;S2,所述第一定位工位对所述线路板A进行拍板定位;S3,所述线路板A移至所述第一平台;S4,所述光刻主体对所述线路板A进行数字光刻处理;S5,所述线路板A移至所述第一出料工位;第三步,所述线路板B进入所述第二传输线,其包括步骤,T1,所述线路板B移至所述第二定位工位;T2,所述第二定位工位对所述线路板B进行拍板定位;T3,所述线路板B被移至所述第二平台;T4,所述光刻主体对所述线路板B进行光刻处理;T5,所述线路板B移至所述第一出料工位;所述第二步与所述第三步部分同时进行。
[0007]更优地,在所述第一步中,所述若干线路板通过与所述第一定位工位相邻设置的第一进料流水线、与所述第二定位工位相邻设置的第二进料流水线进料,所述线路板A由所述第一进料流水线供应,所述线路板B由所述第二进料流水线供应。
[0008]更优地,其还包括第四步,所述线路板A、所述线路板B下料,在所述第四步中,所述线路板A通过与所述第一出料工位相邻设置的第一下料流水线下料,所述线路板B通过与所述第二出料工位相邻设置的第二下料流水线下料。
[0009]更优地,其还包括第四步,所述线路板A、所述线路板B分别进入下一道工序。
[0010]更优地,所述线路板的数字光刻系统还包括分流工位,所述分流工位位于所述第一定位工位、第二定位工位之间,在所述第一步中,所述若干线路板通过与所述分流工位相邻设置的进料流水线进料,所述线路板A、所述线路板B由所述分流工位交替供应。
[0011]更优地,所述线路板的数字光刻系统还包括汇流工位,所述汇流工位位于所述第一出料工位、第二出料工位之间,在所述第二步、所述第三步之后,所述线路板A、线路板B轮流进入所述汇流工位后通过与所述汇流工位相邻设置的下料流水线下料。
[0012]更优地,其还包括第四步,所述线路板A、所述线路板B分别进入下一道工序。
[0013]本专利技术还提供了一种线路板的数字光刻系统,其包括机架以及组装于所述机架的光刻主体、第一平台、第二平台、分板机构、拍板机构、出料机构、汇流机构,所述分板机构位于所述分流工位,所述拍板机构包括位于所述第一定位工位的第一拍板机构、位于所述第二定位工位的第二拍板机构,所述出料机构包括位于所述第一出料工位的第一出料机构、位于所述第二出料工位的第二出料机构,所述汇流机构位于所述汇流工位。
[0014]更优地,其还包括移载机构,所述移载机构包括结构相同的第一移载机构、第二移载机构、第三移载机构、第四移载机构,所述第一移载机构包括第一滑轨组件、第二滑轨组件以及第一机械手,所述第一机械手包括若干吸盘,所述第一移载机构位于所述第一拍板机构、所述第一平台的上方,所述第二移载机构位于所述第一平台、所述第一出料机构的上方,所述第三移载机构位于所述第二拍板机构、所述第二平台的上方,所述第四移载机构位于所述第二平台、第二出料机构的上方。
[0015]更优地,其还包括传动连接所述第一平台、所述第二平台的传动组件,所述传动组件包括沿纵向延伸的滑轨。
[0016]本专利技术的技术效果为:本专利技术通过将线路板分流至第一传输线、第二传输线,光刻主体对两个平台上的线路板交替进行数字光刻处理,从而大大提高了光刻效率,节省时间,节省成本。
[0017]【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:图1是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的结构示意图;图2是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的步骤示意图;图3是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的实施例1的结构示意图;图4是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的实施例2的结构示意图;图5是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的实施例3的结构示意图;图6是本专利技术一种线路板的数字光刻方法的实施例4的结构示意图;图7是本专利技术一种线路板的数字光刻系统的立体组合图;
图8是图7所示的俯视图;图9是图7所示的前视图;图10是分板机构的立体组合图;图11是第一拍板机构的立体组合图;图12是图11所示的第一拍板机构的底板的立体图;图13是本专利技术的第一移载机构的立体组合图。
[0018]【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0019]如图1、图2所示,本专利技术提供一种线路板的数字光刻方法,应用于线路板的数字光刻系统中,所述线路板的数字光刻系统包括光刻主体、第一传输线、第二传输线,所述第一传输线包括第一定位工位、第一平台、第一出料工位,所述第二传输线包括第二定位工位、第二平台、第二出料工位,所述线路板的数字光刻方法包括如下步骤:第一步,若干线路板进料,交替供应线路板A、线路板本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线路板的数字光刻方法,应用于线路板的数字光刻系统中,其特征在于,所述线路板的数字光刻系统包括光刻主体、第一传输线、第二传输线,所述第一传输线包括第一定位工位、第一平台、第一出料工位,所述第二传输线包括第二定位工位、第二平台、第二出料工位,所述线路板的数字光刻方法包括如下步骤:第一步,若干线路板进料,交替供应线路板A、线路板B;第二步,所述线路板A进入所述第一传输线,其包括步骤,S1,所述线路板A移至所述第一定位工位;S2,所述第一定位工位对所述线路板A进行拍板定位;S3,所述线路板A移至所述第一平台;S4,所述光刻主体对所述线路板A进行数字光刻处理;S5,所述线路板A移至所述第一出料工位;第三步,所述线路板B进入所述第二传输线,其包括步骤,T1,所述线路板B移至所述第二定位工位;T2,所述第二定位工位对所述线路板B进行拍板定位;T3,所述线路板B被移至所述第二平台;T4,所述光刻主体对所述线路板B进行光刻处理;T5,所述线路板B移至所述第一出料工位;所述第二步与所述第三步部分同时进行。2.根据权利要求1所述的一种线路板的数字光刻方法,其特征在于,在所述第一步中,所述若干线路板通过与所述第一定位工位相邻设置的第一进料流水线、与所述第二定位工位相邻设置的第二进料流水线进料,所述线路板A由所述第一进料流水线供应,所述线路板B由所述第二进料流水线供应。3.根据权利要求2所述的一种线路板的数字光刻方法,其还包括第四步,所述线路板A、所述线路板B下料,在所述第四步中,所述线路板A通过与所述第一出料工位相邻设置的第一下料流水线下料,所述线路板B通过与所述第二出料工位相邻设置的第二下料流水线下料。4.根据权利要求2所述的一种线路板的数字光刻方法,其还包括第四步,所述线路板A、所述线路板B分别进入下一道工序。5.根据权利要求1所述的一种线路板的数字光刻方法,其特征在于,所述线路板的数字光刻系统还包括分流工位,所述分流工位位于所述第一定...

【专利技术属性】
技术研发人员:王华陈志特
申请(专利权)人:广东科视光学技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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