本发明专利技术公开了一种进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质，其中，所述进入工艺流程时机生成方法的步骤包括：当第一工作单元进入工艺流程后，生成第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。本发明专利技术步进长度更加科学，降低计算时长提高了产品产量。时长提高了产品产量。时长提高了产品产量。
【技术实现步骤摘要】
进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质
[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质。
技术介绍
[0002]近些年来，电子消费类产品逐渐普及人们生活的方方面面，半导体材料作为这些产品的基础，促使半导体这一行业成为世界各国重点聚焦产业。
[0003]晶圆制造是半导体制造过程中自动化程度最高，工艺最复杂的生产过程。晶圆制造包括沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀等工艺。在完成上述工艺后，常常需要进行一道清洗工序，进而保障晶圆的质量。清洗工序是半导体芯片制造过程中非常重要的一个加工环节。这也导致清洗工序作业时间的长短是制约半导体芯片产量的关键因素之一。清洗设备有三部分组成：前端存储区域，传输区域，工艺区域。在不同的区域中，设备配置了机械手用于传输晶圆产品。其中，在工艺区域中，有多个湿槽，它可以用来放置酸等各种化学液体，晶圆产品通过多个不同的湿槽完成清洗过程。需要注意的是晶圆在各湿槽中的清洗工艺存在过泡时长约束，也就是晶圆产品在湿槽中加工完必须立即或在一定的时间内从湿槽中取出。
[0004]例如清洗设备的工艺区域配备了一个机械手，用于完成晶圆产品在不同湿槽间的传输动作。由于清洗工艺具有过泡时长约束，且清洗设备可以多个晶圆产品，一旦出现两个晶圆产品同时需要被取出，那么就极有可能违反过泡时长约束。为此，控制算法的通常做法是通过延迟第二个Job（工作组，工作组中包括多个晶圆）进入工艺区的时间，从而避免两个晶圆产品同时争夺机械手资源的情况，此时对第二个Job设置多少延迟时间成为一个必须解决的问题。传统的做法是采用步进的方式寻找第二个Job进入工艺区的合适时间，当确定初始时间t后再一步一步累加固定时间对进入时间进行尝试，直到找到最早的可以进入工艺区的时间。此做法的主要问题在于如果最早的合适进入的时间远大于最初的时间，那么算法需要耗费大量的时间去寻找合适的进入时间，如果有多个待进入工艺区的Job，其累计的总的寻找进入工艺区的时间将变得不可接受。故而传统计算进入工艺流程时间的算法存在计算次数过多导致计算时间过长的技术问题。
[0005]上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
[0006]本专利技术的主要目的在于提供一种进入工艺流程时机生成方法，旨在解决传统计算进入工艺流程时间的算法存在计算次数过多导致计算时间过长的技术问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供一种进入工艺流程时机生成方法，所述进入工艺流程时机生成方法包括以下步骤：当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻
进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。
[0008]进一步的，在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前，包括：判断所述步进长度是否大于预设允许误差；若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻；所述预设二分计算公式为：T1=T2
‑
S/2其中，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的新的当前进入时刻、S为步进长度；执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。
[0009]进一步的，在所述判断所述步进长度是否大于预设允许误差的步骤之后，包括：若所述步进长度小于或者等于所述预设允许误差，则执行所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤。
[0010]进一步的，在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻的步骤之后，包括：判断历史进入时刻列表中是否包含所述当前进入时刻，其中，所述历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻；若所述历史进入时刻列表中未包含所述当前进入时刻，则执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。
[0011]进一步的，所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻的步骤包括：根据所述第一工作单元进入所述工艺流程的进入时刻以及预设操作间隔确定所述第二工作单元的所述当前进入时刻。
[0012]进一步的，所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤包括：模拟所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后所述工艺流程的操作过程；判断所述第二工作单元的工艺处理时间是否会超过预设处理时间阈值；若所述工艺处理时间超过所述预设处理时间阈值，则判定会发生过泡；若所述工艺处理时间未超过所述预设处理时间阈值，则判定不会发生过泡。
[0013]进一步的，所述生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度的步骤包括：根据所述操作过程中模拟的所述第二工作单元的所述工艺处理时间和所述预设
处理时间阈值生成所述过泡时长，将所述过泡时长作为所述步进长度。
[0014]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种进入工艺流程时机生成装置，所述进入工艺流程时机生成装置包括：判断模块，用于当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；循环模块，用于若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；生成模块，用于若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。
[0015]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种进入工艺流程时机生成设备，所述进入工艺流程时机生成设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被所述处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。
[0016]此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储有进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。
[0017]本专利技术实施例提出的一种进入工艺流程时机生成方法，当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述进入工艺流程时机生成方法包括以下步骤：当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。2.如权利要求1所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前，包括：判断所述步进长度是否大于预设允许误差；若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻；所述预设二分计算公式为：T1=T2
‑
S/2其中，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的当前进入时刻、S为步进长度；执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。3.如权利要求2所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述判断所述步进长度是否大于预设允许误差的步骤之后，包括：若所述步进长度小于或者等于所述预设允许误差，则执行所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤。4.如权利要求2所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻的步骤之后，包括：判断历史进入时刻列表中是否包含所述当前进入时刻，其中，所述历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻；若所述历史进入时刻列表中未包含所述当前进入时刻，则执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。5.如权利要求1所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱东和，李杰，刘斌，郭宇翔，傅慧初，
申请(专利权)人：埃克斯工业广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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