物料加工进出时机的规划方法、设备及可读存储介质技术

本发明专利技术公开了一种物料加工进出时机的规划方法、设备及可读存储介质，涉及半导体制造领域，本发明专利技术在规划物料的进出任务的开始时机时，将工艺任务中各工艺步骤之间的间隔也纳入到规划范围内，相比于仅考虑工艺任务与工艺任务之间的间隔，由于增加了规划的范围，本发明专利技术可使得有更多的机会计算物料进出任务的开始时机，减少物料被堆积在入口或者物料架上的可能，从而增加晶圆的整体生产效率。从而增加晶圆的整体生产效率。从而增加晶圆的整体生产效率。

【技术实现步骤摘要】
物料加工进出时机的规划方法、设备及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种物料加工进出时机的规划方法、设备及可读存储介质。

技术介绍

[0002]晶圆制造是半导体制造过程中自动化程度最高，工艺最复杂的生产过程。晶圆制造包括沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀等工艺。在半导体制造过程中，常常需要进行一道清洗工序，进而保障晶圆的质量。在清洗工序过程中，要经过多次的化学蚀刻与清洗，每步蚀刻与清洗后都要经过清水的冲洗。半导体清洗贯穿硅片制造、晶圆制造、封装三大环节，对于芯片制造意义重大，如果清洗不达要求，残留的沾污杂质将导致芯片失效。
[0003]清洗工序主要由晶圆清洗设备完成，根据自动化程度可以分为半自动和全自动设备。清洗设备主要由三部分组成：前端存储(Stocker，也叫做物料架)区域，传输(Transfer)区域，工艺区域。整个清洗工序的加工流程可以分为以下三个阶段:进料任务（CarrierIn任务）、工艺任务（Job任务）、出料任务（CarrierOut任务），高端的清洗设备可以全自动完成整个清洗加工流程。而目前，大多数清洗设备的CarrierIn任务，CarrierOut任务和Job任务中CST（cassette，物料，物料包括晶圆以及装载晶圆的载具，载具可以为装载盒，空CST则表示没有装载晶圆的装载盒）的运输共用一个机械手，且为了保证产能，在规划调度时，Job任务的优先级高于CarrierIn任务，因此物料会在LP（LoadPort，晶圆装卸机，或者入口）等待，直到机械手在Job任务后有足够的空隙时间执行CarrierIn任务，物料才会被移动到Stocker上。由于Job任务的优先级高于CarrierIn任务，因此，需要保证在第一个Job的Move（指令动作）的结束时间到下一个Job任务的开始时间内，机械手能完成Carrierln任务且移动到下一个Job任务的起点位置。对于一般的清洗设备来说，物料在Stocker区域的存放位置是没有要求的，干净的物料（加工完成的物料或者没有wafer（晶圆）的空CST）和未加工的物料（脏片）可以上下层混放，但是对于某些特殊要求的清洗设备而言，加工完成的物料和未加工的物料混放可能会引起污染，因此在CarrierIn任务前可能需要进行倒片操作，从而增加CarrierIn任务时间。
[0004]对于全自动清洗设备，由于物料处于LP处时，外部的天车不能移动，只有物料被移走后，天车才会被释放去取新物料。因此，物料在LP上的驻留时间对于设备产能的影响是非常大的，同样的，物料在全自动清洗设备清洗完成后也需要从物料架放回到出口（与入口位置相同），若物料在物料架上驻留时间过长同样会对产能造成影响。结合实际生产可知，目前具有清洗设备动作序列的调度方案主要存在物料在入口处或者物料架上驻留时间过长，从而影响整体产能的技术问题。
[0005]上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

[0006]本专利技术的主要目的在于提供一种物料加工进出时机的规划方法、设备及可读存储介质，旨在解决目前具有清洗设备动作序列的调度方案主要存在物料在入口处或者物料架上驻留时间过长，从而影响整体产能的技术问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供一种物料加工进出时机的规划方法，所述物料加工进出时机的规划方法包括以下步骤：当接收到物料的进出任务时，确定运输所述物料的机械手的当前工艺步骤；将所述当前工艺步骤的结束时刻作为所述进出任务的当前第一开始时刻；判断以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的执行时间是否小于所述当前第一开始时刻与下一工艺步骤的第二开始时刻之间的时间间隔，其中，所述下一工艺步骤为所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤；若小于所述时间间隔，则将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机；若等于或者大于所述时间间隔，则将所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤作为新的所述当前工艺步骤，执行将所述当前工艺步骤的结束时刻作为所述进出任务的当前第一开始时刻的步骤。
[0008]进一步的，在所述判断以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的执行时间是否小于所述当前第一开始时刻与下一工艺步骤的第二开始时刻之间的时间间隔的步骤之前，所述方法包括：获取所述当前第一开始时刻的物料架的装载信息和所述当前第一开始时刻的所述机械手的位置信息；基于所述装载信息和所述位置信息生成所述进出任务以所述当前第一开始时刻开始执行时的执行时间，其中，所述执行时间为所述机械手完成所述进出任务所需要的时间。
[0009]进一步的，在所述将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机的步骤之前，所述方法还包括：判断在所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务是否会引起加工流程中其它工艺步骤出现错误执行，所述其它工艺步骤包括除所述当前工艺步骤外所述加工流程中正在执行的第一工艺步骤和/或待执行的第二工艺步骤；若不会引起所述其它工艺步骤出现错误执行，则执行所述将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机的步骤；若会引起所述其它工艺步骤出现错误执行，则执行所述将所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤作为所述新的所述当前工艺步骤的步骤。
[0010]进一步的，所述第一工艺步骤包括清洗工艺，所述判断在所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务是否会引起加工流程中其它工艺步骤出现错误执行的步骤包括：模拟以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的所述加工流程得到模拟过程；若在所述模拟过程中所述清洗工艺发生过泡或者死锁现象，则判定会引起所述其它工艺步骤出现错误执行。
[0011]进一步的，所述第二工艺步骤还包括组合工艺和拆分工艺，在所述模拟以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的所述加工流程得到模拟过程的步骤之后，所述方法还包括：基于所述模拟过程得到所述组合工艺的第三开始时刻；判断所述第三开始时刻是否小于在所述组合工艺之前的第一个拆分工艺的结束时刻；若所述第三开始时刻小于所述第一个拆分工艺的结束时刻，则判定会引起所述其它工艺步骤出现错误执行。
[0012]进一步的，在所述判断所述第三开始时刻是否小于在所述组合工艺之前的第一个拆分工艺的结束时刻的步骤之后，所述方法还包括：若所述第三开始时刻大于或者等于所述第一个拆分工艺的结束时刻，则基于所述模拟过程得到所述组合工艺的消耗时间；在所述第三开始时刻的基础上加上所述消耗时间得到所述组合工艺对应的第一结束时刻；根据所述第一结束时刻与所述组合工艺的第一最佳结束时刻之间差值，对所述第三开始时刻进行调整得到第二最佳开始时刻，以使与所述第二最佳开始时刻对应的第二最佳结束时刻与所述第一最佳结束时刻相同，其中，所述组合工艺的第一最佳结束时间为处于不存在所述进出任务的场景下规划生成的；判断所述第二最佳开始时刻是否小于所述第一个拆分工艺的结束时刻；若所述第二最佳开始时刻小于所述第一个拆分工艺的结束时刻，则判定会引起所述其它工艺步骤出现错误执行。
[0013]进一步的，在所述判断所述第二最佳开始时刻是否本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料加工进出时机的规划方法，其特征在于，所述物料加工进出时机的规划方法包括以下步骤：当接收到物料的进出任务时，确定运输所述物料的机械手的当前工艺步骤；将所述当前工艺步骤的结束时刻作为所述进出任务的当前第一开始时刻；判断以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的执行时间是否小于所述当前第一开始时刻与下一工艺步骤的第二开始时刻之间的时间间隔，其中，所述下一工艺步骤为所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤；若小于所述时间间隔，则将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机；若等于或者大于所述时间间隔，则将所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤作为新的所述当前工艺步骤，执行将所述当前工艺步骤的结束时刻作为所述进出任务的当前第一开始时刻的步骤。2.如权利要求1所述的物料加工进出时机的规划方法，其特征在于，在所述判断以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的执行时间是否小于所述当前第一开始时刻与下一工艺步骤的第二开始时刻之间的时间间隔的步骤之前，所述方法包括：获取所述当前第一开始时刻的物料架的装载信息和所述当前第一开始时刻的所述机械手的位置信息；基于所述装载信息和所述位置信息生成所述进出任务以所述当前第一开始时刻开始执行时的执行时间，其中，所述执行时间为所述机械手完成所述进出任务所需要的时间。3.如权利要求1所述的物料加工进出时机的规划方法，其特征在于，在所述将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机的步骤之前，所述方法还包括：判断在所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务是否会引起加工流程中其它工艺步骤出现错误执行，所述其它工艺步骤包括除所述当前工艺步骤外所述加工流程中正在执行的第一工艺步骤和/或待执行的第二工艺步骤；若不会引起所述其它工艺步骤出现错误执行，则执行所述将所述当前第一开始时刻作为执行所述进出任务执行的开始时机的步骤；若会引起所述其它工艺步骤出现错误执行，则执行所述将所述当前工艺步骤的下一个工艺步骤作为所述新的所述当前工艺步骤的步骤。4.如权利要求3所述的物料加工进出时机的规划方法，其特征在于，所述第一工艺步骤包括清洗工艺，所述判断在所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务是否会引起加工流程中其它工艺步骤出现错误执行的步骤包括：模拟以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的所述加工流程得到模拟过程；若在所述模拟过程中所述清洗工艺发生过泡或者死锁现象，则判定会引起所述其它工艺步骤出现错误执行。5.如权利要求4所述的物料加工进出时机的规划方法，其特征在于，所述第二工艺步骤还包括组合工艺和拆分工艺，在所述模拟以所述当前第一开始时刻开始执行所述进出任务时的所述加工流程得到模拟过程的步骤之后，所述方法还包括：基于所述模拟过程得到所述组合工艺的第三开始时刻；
判断所述第三开始时刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱宽，刘斌，李杰，郭宇翔，
申请(专利权)人：埃克斯工业广东有限公司，
类型：发明
国别省市：