一种激光雷达制造技术

本发明专利技术公开了一种激光雷达，第一微振镜将发射组件发出的光反射至第一反射元件，第一反射元件将光反射至第二微振镜，第二微振镜将光反射而使光向外界发射出，以及第二微振镜将由外界返回的光反射至第二反射元件，第二反射元件将返回光反射，使返回光入射至接收组件。第一微振镜和第二微振镜的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现激光雷达发射出的光进行二维扫描。第二微振镜可以是一维振镜，通过设置具有较大发射面的第二微振镜，可以接收较多的由外界返回的光，从而可以提高本激光雷达接收的光能量。本激光雷达接收的光能量。本激光雷达接收的光能量。

【技术实现步骤摘要】
一种激光雷达


[0001]本专利技术涉及光学系统领域，特别是涉及一种激光雷达。

技术介绍

[0002]在激光雷达中，应用微机电系统振镜(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)，即微振镜，可以快速地实现对目标区域的二维扫描。对于采用二维微振镜实现二维扫描的方案，受制于目前的工艺水平，二维微振镜很难做到大尺寸，微振镜尺寸小对激光雷达发射光影响不大，但是极大地影响了接收返回光，微振镜面积直接决定接收到的返回光能量大小；另外在一些激光雷达中，由于其在接收光路中设置了反射镜，也会导致接收探测器接收到的光能量少；激光雷达接收的返回光能量弱会导致信噪比低，容易被干扰，并且使得探测距离较近。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种激光雷达，可以设置用于接收由外界返回的光以及使返回光入射至接收组件的微振镜的反射面比较大，从而可以接收较多的由外界返回的光，能够提高接收的光能量。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]一种激光雷达，包括发射组件、第一微振镜、第二微振镜、第一反射元件、第二反射元件和接收组件，所述第一微振镜用于将所述发射组件发出的光反射至所述第一反射元件，所述第一反射元件用于将光反射至所述第二微振镜，所述第二微振镜用于将光反射而使光向外界发射出，以及将由外界返回的光反射至所述第二反射元件，所述第二反射元件用于将返回光反射，使返回光入射至所述接收组件；
[0006]所述第一微振镜和所述第二微振镜的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现所述激光雷达发射出的光进行二维扫描。
[0007]优选的，所述第二微振镜的反射面大于所述第一微振镜的反射面。
[0008]优选的，所述第一反射元件的尺寸根据所述第一微振镜的反射面大小、所述第一微振镜的转动角度以及两者的相对位置确定，和/或，所述第二反射元件的尺寸根据所述第二微振镜的反射面大小、所述第二微振镜的转动角度以及两者的相对位置确定。
[0009]优选的，所述第一反射元件的面积大于所述第一微振镜的反射面面积，和/或所述第二反射元件的面积大于所述第二微振镜的反射面面积。
[0010]优选的，所述第一反射元件和所述第二反射元件前后布置，所述第二反射元件处于所述第一反射元件远离所述第二微振镜的一侧。
[0011]优选的，所述第一反射元件和所述第二反射元件并列布置，所述第一反射元件比所述第二反射元件靠近所述第一微振镜。
[0012]优选的，所述第一反射元件和所述第二反射元件为同一反射元件。
[0013]优选的，所述第一反射元件的反射面为平面、凹面或者凸面，所述第二反射元件的
反射面为平面、凹面或者凸面。
[0014]优选的，所述接收组件包括会聚组件和光电器件阵列，所述会聚组件用于将接收到的光会聚至所述光电器件阵列的任一光电器件。
[0015]优选的，所述接收组件包括会聚组件、反射元件阵列和光电器件，所述会聚组件用于将接收的光会聚至所述反射元件阵列，所述反射元件阵列的任一反射元件用于将光反射至所述光电器件。
[0016]由上述技术方案可知，本专利技术所提供的一种激光雷达中，第一微振镜将发射组件发出的光反射至第一反射元件，第一反射元件将光反射至第二微振镜，第二微振镜将光反射而使光向外界发射出，以及第二微振镜将由外界返回的光反射至第二反射元件，第二反射元件将返回光反射，使返回光入射至接收组件。第一微振镜和第二微振镜的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现激光雷达发射出的光进行二维扫描。第二微振镜可以是一维振镜，通过设置具有较大反射面的第二微振镜，可以接收较多的由外界返回的光，从而可以提高本激光雷达接收的光能量。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术一实施例提供的一种激光雷达的示意图；
[0019]图2为本专利技术又一实施例提供的一种激光雷达的示意图；
[0020]图3为本专利技术又一实施例提供的一种激光雷达的示意图；
[0021]图4为本专利技术又一实施例提供的一种激光雷达的示意图；
[0022]图5为本专利技术一实施例的接收组件的示意图。
[0023]说明书附图中的附图标记包括：
[0024]发射组件
‑
100，第一微振镜
‑
101，第二微振镜
‑
102，接收组件
‑
105；
[0025]第一反射元件
‑
103，第二反射元件
‑
104，第三反射元件
‑
106；
[0026]第一会聚组件
‑
107，反射元件阵列
‑
108，反射元件
‑
109，光电器件
‑
110。第二会聚组件
‑
111。
具体实施方式
[0027]为了使本
的人员更好地理解本专利技术中的技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0028]本实施例提供一种激光雷达，可参考图1，图1为一实施例提供的一种激光雷达的示意图，如图所示，所述激光雷达包括发射组件100、第一微振镜101、第二微振镜102、第一反射元件103、第二反射元件104和接收组件105，所述第一微振镜101用于将所述发射组件
100发出的光反射至所述第一反射元件103，所述第一反射元件103用于将光反射至所述第二微振镜102，所述第二微振镜102用于将光反射而使光向外界发射出，以及将由外界返回的光反射至所述第二反射元件104，所述第二反射元件104用于将返回光反射，使返回光入射至所述接收组件105；
[0029]所述第一微振镜101和所述第二微振镜102的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现所述激光雷达发射出的光进行二维扫描。
[0030]第一微振镜101和第二微振镜102的任意一者可以摆动，通过摆动改变本微振镜出射的反射光的传播方向；通过第一微振镜101和第二微振镜102摆动，实现改变激光雷达发射出光的传播方向，实现激光雷达发射出的光进行二维扫描。可参考图1所示。在图1中带箭头的实线表示由发射组件100发射出的光的传播方向，带箭头的虚线表示由外界返回的光的传播方向。本实施例的激光雷达中，第二微振镜102可以是一维振镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光雷达，其特征在于，包括发射组件、第一微振镜、第二微振镜、第一反射元件、第二反射元件和接收组件，所述第一微振镜用于将所述发射组件发出的光反射至所述第一反射元件，所述第一反射元件用于将光反射至所述第二微振镜，所述第二微振镜用于将光反射而使光向外界发射出，以及将由外界返回的光反射至所述第二反射元件，所述第二反射元件用于将返回光反射，使返回光入射至所述接收组件；所述第一微振镜和所述第二微振镜的任意一者通过摆动改变本微振镜的反射光传播方向，实现所述激光雷达发射出的光进行二维扫描。2.根据权利要求1所述的激光雷达，其特征在于，所述第二微振镜的反射面大于所述第一微振镜的反射面。3.根据权利要求1所述的激光雷达，其特征在于，所述第一反射元件的尺寸根据所述第一微振镜的反射面大小、所述第一微振镜的转动角度以及两者的相对位置确定，和/或，所述第二反射元件的尺寸根据所述第二微振镜的反射面大小、所述第二微振镜的转动角度以及两者的相对位置确定。4.根据权利要求1所述的激光雷达，其特征在于，所述第一反射元件的面积大于所述第一微振镜的反射面面积，和/或所述第二反射元件的面积大于所述第二微振镜的...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢双伟，龚田，赵晨行，
申请(专利权)人：苏州睿新微系统技术有限公司，
类型：发明
国别省市：