固态成像装置和距离测量系统制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供可以检测高频脉冲光的固态成像装置和距离测量系统。固态成像装置包括：多个像素，每个像素具有用于将接收光转换成电信号的光接收元件；驱动部，用于在偏移光接收元件的操作定时的同时来驱动多个像素；以及时间测量部，基于已输入的电信号，测量直到从光源发射的光在被对象反射后由光接收元件接收的持续时间，该时间测量部被设置为使得从多个像素的每个像素输入电信号。从多个像素的每个像素输入电信号。从多个像素的每个像素输入电信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固态成像装置和距离测量系统


[0001]本公开涉及具有光接收元件的固态成像装置和使用该固态成像装置的距离测量系统。

技术介绍

[0002]近年来，通过ToF(飞行时间)技术测量距离的距离图像传感器受到关注。例如，形成为使得通过使用CMOS(互补金属氧化物半导体)半导体集成电路技术平面布置多个SPAD(单光子雪崩二极管)像素的像素阵列可以用作距离图像传感器。在SPAD像素中，当光子进入具有高电场的PN结区域中时发生雪崩放大，该PN结区域具有比所施加的击穿电压大得多的电压。通过检测此时的瞬间的电流流动时间，能够高精度地测定距离(例如参照专利文献1、2)。
[0003][引用列表][0004][专利文献][0005][专利文献1][0006]日本专利公开号2013
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48278
[0007][专利文献2][0008]日本专利公开号2015
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41746

技术实现思路

[0009][技术问题][0010]然而，SPAD像素在雪崩放大结束之后不能检测光，直到SPAD像素被复位。因此，SP本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固态成像装置，包括：多个像素，每个像素具有将接收光转换成电信号的光接收元件；驱动部，用于通过偏移所述光接收元件的操作定时来驱动所述多个像素；以及时间测量部，被设置为从所述多个像素中的每个像素输入所述电信号，并且所述时间测量部适于基于所述电信号的输入来测量直到从光源发射的光被对象反射并由所述光接收元件接收的时间。2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述光接收元件包括雪崩光子二极管，所述雪崩光子二极管通过使用高电场区域使载流子倍增。3.根据权利要求2所述的固态成像装置，其中，所述多个像素中的每个像素具有连接在所述雪崩光子二极管的阴极与电源之间的开关元件；并且所述驱动部生成控制所述开关元件导通状态和非导通状态的控制信号。4.根据权利要求3所述的固态成像装置，其中，所述驱动部具有：信号生成部，响应于与控制来自所述光源的光发射的光发射控制信号同步的同步信号的输入，生成信号，以及解码器，在由所述信号生成部生成的所述信号的控制下输出所述控制信号。5.根据权利要求3所述的固态成像装置，其中，所述驱动部具有信号生成部，所述信号生成部响应于与控制来自所述光源的光发射的光发射控制信号同步的同步信号的输入生成所述控制信号。6.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中，所述多个像素中的每个像素具有检测电路，所述电信号被输入到所述检测电路。7.根据权利要求6所述的固态成像装置，其中，所述检测电路为逆变电路。8.根据权利要求6所述的固态成像装置，包括：选择电路，连接在所述检测电路与所述时间测量部之间。9.根据权利要求8所述的固态成像装置，其中，所述选择电路具有与每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：高塚祐辅，北野良昭，松本晃，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：