一种用于光学镜片的真空镀膜机制造技术

技术编号:34347907 阅读:87 留言:0更新日期:2022-07-31 05:09
本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域,公开了一种用于光学镜片的真空镀膜机,包括机体,所述机体的一侧安装有真空泵组,所述机体的内部安装有真空炉体,所述真空炉体的输入端安装有炉门,且炉门的表壁安装有视窗,所述视窗的外部设置有防护盖,且防护盖的底壁安装有固定块,所述固定块远离防护盖的一端安装有清洁件,本实用新型专利技术在视窗的外部安装了防护盖,防护盖的底壁设置了固定块,且固定块远离防护盖的一端安装了清洁件,清洁件采用柔性材料,在工作人员透过视窗观察后,将防护盖扣入,安装的同时清洁件进入透窗的内部并通过拔出和扣入时的摩擦清理透窗的内壁,避免透窗不清晰的情况。情况。情况。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光学镜片的真空镀膜机


[0001]本技术属于真空镀膜机
,具体涉及一种用于光学镜片的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,主要思路是分为蒸发和溅射梁中,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
[0003]在真空镀膜的途中,会透过视窗结构观察待镀膜工件的状态,因此工作人员经常会接触刀透窗,长期使用下透窗的表壁会形成污物,从而降低视窗的清晰度,且由于真空镀膜机的适用范围,经常会对不同样式的工件进行镀膜,而不同样式的工件所应用的承载转架也不同,现在使用的真空镀膜机更换承载转架时操作较为复杂。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于光学镜片的真空镀膜机,以解决现有的真空镀膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光学镜片的真空镀膜机,包括机体(3),其特征在于:所述机体(3)的一侧安装有真空泵组(5),所述机体(3)的内部安装有真空炉体(1),所述真空炉体(1)的输入端安装有炉门(9),且炉门(9)的表壁安装有视窗(17),所述视窗(17)的外部设置有防护盖(15),且防护盖(15)的底壁安装有固定块(19),所述固定块(19)远离防护盖(15)的一端安装有清洁件(20)。2.根据权利要求1所述的一种用于光学镜片的真空镀膜机,其特征在于:所述防护盖(15)的内壁设置有凸环(16),所述视窗(17)的表壁开设有凹槽(18),且凸环(16)和凹槽(18)相匹配。3.根据权利要求2所述的一种用于光学镜片的真空镀膜机,其特征在于:所述机体(3)的一侧安装有控...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘治兴
申请(专利权)人:中山市新裕光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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