热电偶辅助安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种热电偶辅助安装装置，用于辅助将一热电偶安装至立式扩散炉的预设位置处，包括支撑杆、移动杆及固定冶具，所述支撑杆沿竖向设置，所述移动杆沿水平方向设置且一端与所述支撑杆可滑动的连接，以使所述移动杆能够相对所述支撑杆沿竖向滑动，所述固定冶具用于可拆卸的固定所述热电偶，所述固定冶具可滑动的设置在所述移动杆上，以使所述固定冶具能够相对所述移动杆沿水平方向移动。通过驱使所述固定冶具相对所述移动杆水平移动以调整所述热电偶在水平方向上的位置，避免所述热电偶与所述立式扩散炉的内壁发生剐蹭，然后再通过驱使所述移动杆相对所述支撑杆竖向移动以调整所述热电偶的高度，以将所述热电偶快速安装到预设位置。速安装到预设位置。速安装到预设位置。

【技术实现步骤摘要】
热电偶辅助安装装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种热电偶辅助安装装置。

技术介绍

[0002]随着半导体工艺技术的飞跃发展，半导体芯片被广泛应用于电子设备(例如计算机、手机、平板电脑等)中。在制造半导体芯片的过程中，需要在晶圆(即硅晶片)上进行薄膜生长，而常用的薄膜生长设备为扩散炉。
[0003]目前，一些主流的薄膜生长设备为基于立式设计的立式扩散炉，在该立式扩散炉中沿着竖直方向堆叠式放置有数十片甚至是数百片的晶圆，膜淀积在该晶圆上。在此过程中，需要精确控制反应腔内的温度，通常通过热电偶来测量反应腔的加热区的温度。
[0004]对于一些特殊型号的立式扩散炉，例如套管式立式扩散炉，所述套管式立式扩散炉通常包括内管以及套设在所述内管外的外管，所述内管的内部作为晶圆的反应腔，所述内管与所述外管之间具有间隙且用于放置加热电阻丝及热电偶等零部件，这种套管式的结构对于热电偶的安装有严格的要求。如果热电偶安装的过程中紧贴外管的内壁，由于固体导热快，使得所述热电偶摄取的温度存在较大的误差，对产品也会造成不可控的影响。反之，若所述热电偶远离所述外管的内壁，则有可能与所述内管的外壁相撞。传统方法只能凭经验慢慢移动所述热电偶找取最终的位置，很容易造成安装位置不正确导致所述热电偶折断，甚至可能将所述外管的内壁或内管的外壁划伤。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种热电偶辅助安装装置，能够将所述热电偶快速安装到预设位置，安装精度高，同时也能避免零部件的损伤。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了一种热电偶辅助安装装置，用于辅助将一热电偶安装至立式扩散炉的预设位置处，所述热电偶辅助安装装置包括支撑杆、移动杆及固定冶具，所述支撑杆沿竖向设置，所述移动杆沿水平方向设置且一端与所述支撑杆可滑动的连接，以使所述移动杆能够相对所述支撑杆沿竖向滑动，所述固定冶具用于可拆卸的固定所述热电偶，所述固定冶具可滑动的设置在所述移动杆上，以使所述固定冶具能够相对所述移动杆沿水平方向移动。
[0007]可选的，所述支撑杆的侧壁上沿竖向设置有第一滑轨，所述移动杆的一端卡入所述第一滑轨内并能够在所述第一滑轨内滑动。
[0008]可选的，所述支撑杆的侧壁上沿竖向设置有第一凸起，所述移动杆的一端设置有与所述第一凸起配合的第一卡槽。
[0009]可选的，所述移动杆上沿水平方向设置有第二滑轨，所述固定冶具的底端卡入所述第二滑轨内并能够在所述第二滑轨内滑动。
[0010]可选的，所述移动杆上沿水平方向设置有第二凸起，所述固定冶具的底端设置有与所述第二凸起配合的第二卡槽。
[0011]可选的，所述热电偶辅助安装装置包括第一驱动机构，所述第一驱动机构位于所述支撑杆上且与所述移动杆的一端连接，所述第一驱动机构用于驱使所述移动杆相对所述支撑杆沿竖向滑动。
[0012]可选的，所述热电偶辅助安装装置还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构位于所述移动杆上且与所述固定冶具连接，所述第二驱动机构用于驱使所述固定冶具相对所述移动杆沿水平方向移动。
[0013]可选的，所述移动杆的侧壁沿水平方向设置有第一刻度。
[0014]可选的，所述支撑杆的侧壁沿竖向设置有第二刻度。
[0015]可选的，所述固定冶具的侧壁上还开设有用于容置所述热电偶的安装槽，且所述热电偶还通过锁紧扣件固定在所述安装槽内。
[0016]本技术提供了一种热电偶辅助安装装置，通过驱使所述固定冶具相对所述移动杆水平移动以调整所述热电偶在水平方向上的位置，避免所述热电偶与所述立式扩散炉的内壁发生剐蹭，然后再通过驱使所述移动杆相对所述支撑杆竖向移动以调整所述热电偶的高度，以将所述热电偶快速安装到预设位置。安装快捷方便且安装精度高，有效避免了热电偶应安装不当受到损伤或剐蹭立式扩散炉的内壁的问题。
附图说明
[0017]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本技术，而不对本技术的范围构成任何限定。其中：
[0018]图1为现有技术中的套管式立式扩散炉的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的热电偶辅助安装装置的结构示意图。
[0020]附图中：
[0021]1‑
内管；2
‑
外管；3
‑
热电偶；
[0022]10
‑
支撑杆；11
‑
第一滑轨；20
‑
移动杆；21
‑
第二滑轨；30
‑
固定冶具；31
‑
安装槽；40
‑
支撑脚。
具体实施方式
[0023]请参照图1，图1为现有技术中的套管式立式扩散炉的结构示意图，所述套管式立式扩散炉通常包括内管1以及套设在所述内管1外的外管2，所述内管1的内部作为晶圆的反应腔，一用于测温的热电偶3位于所述内管1与所述外管2之间，所述热电偶呈L形，包括相连接的竖直部及水平部，所述水平部背离所述竖直部的一端用于与所述外管内壁上的安装孔连接，所述竖直部与所述外管的内壁及所述内管的外壁均不接触，这种套管式的结构对于热电偶3的安装有严格的要求。传统方法只能凭经验慢慢移动所述热电偶3找取最终的位置，很容易造成安装位置不正确导致所述热电偶3折断，甚至可能将所述外管2的内壁或内管1的外壁划伤。
[0024]基于此，本技术提供了一种热电偶辅助安装装置，能够辅助所述热电偶3在水平方向及竖向上进行移动，以便于将所述热电偶3快速安装到预设位置，同时也能避免所述热电偶3在安装的过程中与所述外管2的内壁造成剐蹭。
[0025]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本
技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0026]如在本技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
[0027]请参照图2，图2为本技术实施例提供的热电偶辅助安装装置的结构示意图。本实施例提供了一种热电偶辅助安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热电偶辅助安装装置，用于辅助将一热电偶安装至立式扩散炉的预设位置处，其特征在于，所述热电偶辅助安装装置包括支撑杆、移动杆及固定冶具，所述支撑杆沿竖向设置，所述移动杆沿水平方向设置且一端与所述支撑杆可滑动的连接，以使所述移动杆能够相对所述支撑杆沿竖向滑动，所述固定冶具用于可拆卸的固定所述热电偶，所述固定冶具可滑动的设置在所述移动杆上，以使所述固定冶具能够相对所述移动杆沿水平方向移动。2.如权利要求1所述的热电偶辅助安装装置，其特征在于，所述支撑杆的侧壁上沿竖向设置有第一滑轨，所述移动杆的一端卡入所述第一滑轨内并能够在所述第一滑轨内滑动。3.如权利要求1所述的热电偶辅助安装装置，其特征在于，所述支撑杆的侧壁上沿竖向设置有第一凸起，所述移动杆的一端设置有与所述第一凸起配合的第一卡槽。4.如权利要求1所述的热电偶辅助安装装置，其特征在于，所述移动杆上沿水平方向设置有第二滑轨，所述固定冶具的底端卡入所述第二滑轨内并能够在所述第二滑轨内滑动。5.如权利要求1所述的热电偶辅助安装装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘猛，王凯，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：