本实用新型专利技术公开了一种单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架，包括：料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方。本实用新型专利技术的有益效果为：本单晶炉坩埚连续加料装置可实现在不打开上炉盖的状态下，对单晶炉进行加料操作，使得在生产过程中的加料时间最大幅度减小，同时保证了单晶炉的生产连续性，从而缩短整个单晶炉的制备周期，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。
A continuous feeding device for crucible of single crystal furnace
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉坩埚连续加料装置
[0001]本技术属于单晶硅生产设备
，具体涉及一种单晶炉坩埚连续加料装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
[0003]在使用单晶炉生产单晶硅的过程中，直拉单晶硅除了有生产流程长、工艺繁琐的缺点外，还有坩埚小，而且不能连续加料等弱点。因此，每融化一坩埚的多晶硅料只能拉一根单晶棒。每拉一根单晶棒就要降一次温，就得停一次炉，拆一次炉，清理一次热场以及过滤系统等等。不仅浪费人力、浪费能源，而且严重影响生产效率，生产成本大，不利于单晶硅直拉炉的发展。
[0004]综上所述，为解决现有的技术问题，本技术设计了一种结构简单、无需使单晶炉降温即可加料的单晶炉坩埚连续加料装置。
技术实现思路
[0005]本技术为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、无需使单晶炉降温即可加料的单晶炉坩埚连续加料装置。
[0006]本技术的目的可通过以下技术方案来实现：
[0007]一种单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架，包括：
[0008]料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；
[0009]运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方，所述接料斗与加料口配合；
[0010]出料连接口，所述出料连接口设置在机架下部侧面，所述送料管远离接料斗的一端穿过出料连接口向外伸出。
[0011]进一步的，所述进料口上设有仓盖，所述仓盖与料仓之间设有旋转杆，所述旋转杆一端与料仓侧边之间设有旋转电机，所述旋转杆另一端与仓盖之间设有升降电机。
[0012]进一步的，所述锥形阀包括驱动电机、升降丝杆、连接板、锥形板，所述驱动电机设置在料仓侧面，所述驱动电机与升降丝杆传动连接，所述连接板一端活动连接在升降丝杆上，所述锥形板下方与连接板另一端连接，所述锥形板与加料口配合。
[0013]进一步的，所述加料口下方套设有导流罩。
[0014]进一步的，所述料仓下部与机架之间设有称重传感器。
[0015]进一步的，所述送料管为石英管。
[0016]进一步的，所述送料管外侧套设有钼管。
[0017]进一步的，所述钼管端部与送料管之间设有水冷法兰。
[0018]相比现有技术，本技术结构设置合理：1、本单晶炉坩埚连续加料装置可实现在不打开上炉盖的状态下，对单晶炉进行加料操作，使得在生产过程中的加料时间最大幅度减小，同时保证了单晶炉的生产连续性，从而缩短整个单晶炉的制备周期，提高生产效率；2、料仓的加料口通过锥形阀控制开闭，相对于传统采用两级振动结构的连续加料装置，结构简单，能避免因振动失灵等因素引起的设备故障，同时降低了成本。
附图说明
[0019]图1为本单晶炉坩埚连续加料装置整体结构示意图；
[0020]图2为本单晶炉坩埚连续加料装置加料状态示意图。
具体实施方式
[0021]下面结合实施例，对本技术的技术方案作进一步的阐述。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]实施例一：
[0024]一种单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架1，包括：
[0025]料仓2，所述料仓2设置在机架1上部，所述料仓2上方设有进料口21，所述料仓2下方设有加料口22，所述加料口22处设有锥形阀23；
[0026]运料机构3，所述运料机构3设置在机架1下部，所述运料机构3包括送料管31、接料斗32、振动器33、滑轨34，所述滑轨34与机架1连接，所述振动器33设置在滑轨34上，所述送料管31一端与振动器33上方连接，所述接料斗32设置在送料管31连接振动器33一端的上方，所述接料斗32与加料口22配合；
[0027]出料连接口4，所述出料连接口4设置在机架1下部侧面，所述送料管31远离接料斗32的一端穿过出料连接口4向外伸出。
[0028]具体的，向料仓2中补充原料时，锥形阀23与加料口22闭合，从进料口21向料仓2中添加原料；在料仓2补充原料和在不加料时，振动器33移动到滑轨34远离出料连接口4的一端，使送料管31缩进出料连接口4，避免送料管长时间在单晶炉内受高温而损坏；在进行加料时，滑轨34带动振动器33移动到靠近出料连接口4的一端，出料连接口4与单晶炉通过波纹管连接，使送料管31从出料连接口4伸入单晶炉，送料管31的端口位于坩埚上方，锥形阀
23与加料口22打开，料仓2内的原料从加料口22向下漏向接料斗32，从接料斗32进入送料管31，振动器33工作，使送料管31内的原料振动前进，最后从送料管31的端口落入坩埚，完成加料；在加料过程中，单晶炉无需停机降温和拆炉，实现对单晶硅生产的连续加料，相对于现有加料方式以及设备，极大地缩减了加料时间，提高了生产效率，同时能确保硅料能正常快速地进到单晶炉内，且设备整体不需移动，只需移动送料机构，使得在使用以及生产过程中更为安全；出料连接口4与单晶炉之间采用小段的波纹管连接，使送料管31可以伸入单晶炉，避免长段波纹管在实际使用中，抽真空会引起波纹管收缩，从而造成设备不稳定的问题。
[0029]实施例二：
[0030]实施例二与实施例一的区别在于，所述进料口21上设有仓盖211，所述仓盖211与料仓2之间设有旋转杆212，所述旋转杆212一端与料仓2侧边之间设有旋转电机213，所述旋转杆212另一端与仓盖211之间设有升降电机214。
[0031]具体的，在向料仓2内添加原料时，升降电机214带动仓盖211向上提起并离开进料口21，转动电机213驱动旋转杆212，使仓盖211转离进料口21上方，方便加料。
[0032]实施例三：
[0033]实施例三与实施例一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架，其特征在于，包括：料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方，所述接料斗与加料口配合；出料连接口，所述出料连接口设置在机架下部侧面，所述送料管远离接料斗的一端穿过出料连接口向外伸出。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述进料口上设有仓盖，所述仓盖与料仓之间设有旋转杆，所述旋转杆一端与料仓侧边之间设有旋转电机，所述旋转杆另一端与仓盖之间设有升降电机。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉...
【专利技术属性】
技术研发人员：程旭兵，赵培林，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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