一种集成电路中可靠性分析的测试结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路中可靠性分析的测试结构，属于集成电路加工领域。本实用新型专利技术的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括支撑台和设置在支撑台上端的升降件，测试件包括设置在保护罩上端的气缸和设置在气缸下端的连杆，且连杆的下端贯穿保护罩，并与测试板连接，连杆处于测试板的中心线处，测试板的下端安装有测试探头，本实用新型专利技术解决了现有测试探头直接与集成电路板接触，缓冲效果欠佳，容易造成两者之间产生损坏的问题，操作人员利用开关使得气缸推动连杆、测试板和测试探头向下移动，直至测试探头与集成电路板接触，此时利用设置在底槽内部的缓冲弹簧，能够对测试探头有缓冲效果，避免测试探头与集成电路板相互接触而受损。路板相互接触而受损。路板相互接触而受损。

A test structure for reliability analysis in integrated circuits

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路中可靠性分析的测试结构


[0001]本技术涉及集成电路加工，更具体的说，涉及一种集成电路中可靠性分析的测试结构。

技术介绍

[0002]集成电路是电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。在集成电路中需要使用测试结构对其进行分析。
[0003]现有的集成电路中可靠性分析的测试结构在使用时，一般将集成电路板放置在检测台上，利用检测板进行测试，但是在测试过程中，由于直接利用气缸推动测试板向下靠近集成电路板，在靠近的过程中测试探头直接与集成电路板接触，缓冲效果欠佳，容易造成两者之间产生损坏，且在利用测试结构对集成电路板测试结束后，不便将集成电路板将其取出，实用性较差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中测试探头直接与集成电路板接触，缓冲效果欠佳，容易造成两者之间产生损坏，提供了一种集成电路中可靠性分析的测试结构，以解决以上不足，方便使用。
[0005]为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：
[0006]本技术的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括支撑台和设置在支撑台上端的升降件，所述升降件的一侧设置有保护罩，保护罩的一侧设置有测试件，支撑台的表面安装有控制面板，支撑台的上端设置有放置结构；
[0007]所述测试件包括设置在保护罩上端的气缸和设置在气缸下端的连杆，且连杆的下端贯穿保护罩，并与测试板连接，连杆处于测试板的中心线处，测试板的下端安装有测试探头。
[0008]优选的，所述支撑台的上表面开设有限位槽和固定槽，且限位槽设置两组，分别开设在固定槽的两侧，支撑台的下端固定安装有底柱。
[0009]优选的，所述升降件包括设置在支撑台两侧的侧块A和设置在侧块A上端的电动推杆，电动推杆的上端固定安装有侧块B，且侧块B安装在保护罩的侧壁上。
[0010]优选的，所述保护罩的下端固定安装有限位块，且限位块与限位槽相匹配。
[0011]优选的，所述测试板的下表面开设有底槽，且底槽的内壁上连接有缓冲弹簧，缓冲弹簧的另一端与测试探头连接。
[0012]优选的，所述放置结构包括设置在固定槽内部的丝杆和设置在丝杆外侧的移动块，丝杆为正反牙丝杆结构，且移动块设置有两组，均与丝杆螺纹配合连接。
[0013]优选的，所述移动块的上端活动连接有连接杆，连接杆的另一端与放置板的底壁
连接，放置板的表面设置有耐磨垫。
[0014]优选的，所述升降件设置有两组，且两组所述的升降件关于支撑台的中心线对称安装。
[0015]采用本技术提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0017]（1）本技术的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，操作人员利用开关使得电动推杆工作，促使电动推杆推动侧块B向上移动，在侧块B的作用下，使得保护罩也向上移动，此时固定槽显露出来，而后将集成电路板放置在放置板上，而后再次利用开关使得电动推杆带动侧块B和保护罩向下移动，直至限位块插入限位槽内，能够使保护罩处于封闭的状态，避免灰尘进入，而后操作人员利用开关使得气缸推动连杆、测试板和测试探头向下移动，直至测试探头与集成电路板接触，此时利用设置在底槽内部的缓冲弹簧，能够对测试探头有缓冲效果，避免测试探头与集成电路板相互接触而受损，便于使用；
[0018]（2）本技术的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，当测试结束后，操作人员利用开关使得电动推杆推动侧块B和保护罩向上移动，且丝杆外接电机输出端，此时开启电机工作，促使丝杆进行转动，并配合两组移动块的使用，能够使两组移动块相互靠近，利用设置的连接杆能够使放置板向上移动，直至放置板移动出固定槽的外侧，便于将集成电路板取下，操作较为简单，同时在放置板的表面设置有耐磨垫，避免在测试时对集成电路板的表面造成磨损。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构图；
[0020]图2为本技术的电动推杆工作后状态图；
[0021]图3为本技术的支撑台结构示意图；
[0022]图4为本技术的测试板结构示意图；
[0023]图5为本技术的放置结构示意图。
[0024]图中：1、支撑台；11、底柱；12、限位槽；13、固定槽；2、升降件；21、侧块A；22、电动推杆；23、侧块B；3、保护罩；31、限位块；4、测试件；41、气缸；42、连杆；43、测试板；431、底槽；432、缓冲弹簧；44、测试探头；5、控制面板；6、放置结构；61、丝杆；62、移动块；63、连接杆；64、放置板；65、耐磨垫。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]为进一步了解本技术的内容，结合附图对本技术作详细描述。
[0027]结合图1，本技术的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括支撑台1和设置在支撑台1上端的升降件2，升降件2的一侧设置有保护罩3，保护罩3的一侧设置有测试件4，支撑台1的表面安装有控制面板5，支撑台1的上端设置有放置结构6。
[0028]下面结合实施例对本技术作进一步的描述。
[0029]实施例一：
[0030]结合图2
‑
4，测试件4包括设置在保护罩3上端的气缸41和设置在气缸41下端的连杆42，且连杆42的下端贯穿保护罩3，并与测试板43连接，连杆42处于测试板43的中心线处，测试板43的下端安装有测试探头44。
[0031]支撑台1的上表面开设有限位槽12和固定槽13，且限位槽12设置两组，分别开设在固定槽13的两侧，支撑台1的下端固定安装有底柱11。
[0032]升降件2包括设置在支撑台1两侧的侧块A21和设置在侧块A21上端的电动推杆22，电动推杆22的上端固定安装有侧块B23，且侧块B23安装在保护罩3的侧壁上。
[0033]保护罩3的下端固定安装有限位块31，且限位块31与限位槽12相匹配。
[0034]测试板43的下表面开设有底槽431，且底槽431的内壁上连接有缓冲弹簧432，缓冲弹簧432的另一端与测试探头44连接。
[0035]升降件2设置有两组，且两组所述的升降件2关于支撑台1的中心线对称安装。
[0036]工作过程：过程中，操作人员利用开关使得电动推杆22工作，促使电动推杆22推动侧块B23向上移动，在侧块B23的作用下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括支撑台（1）和设置在支撑台（1）上端的升降件（2），其特征在于：所述升降件（2）的一侧设置有保护罩（3），保护罩（3）的一侧设置有测试件（4），支撑台（1）的表面安装有控制面板（5），支撑台（1）的上端设置有放置结构（6）；所述测试件（4）包括设置在保护罩（3）上端的气缸（41）和设置在气缸（41）下端的连杆（42），且连杆（42）的下端贯穿保护罩（3），并与测试板（43）连接，连杆（42）处于测试板（43）的中心线处，测试板（43）的下端安装有测试探头（44）。2.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述支撑台（1）的上表面开设有限位槽（12）和固定槽（13），且限位槽（12）设置两组，分别开设在固定槽（13）的两侧，支撑台（1）的下端固定安装有底柱（11）。3.根据权利要求2所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述升降件（2）包括设置在支撑台（1）两侧的侧块A（21）和设置在侧块A（21）上端的电动推杆（22），电动推杆（22）的上端固定安装有侧块B（23），且侧块B（23）安装在保护罩（3）的侧壁上。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵秀红，杨天保，
申请(专利权)人：深圳市红特威电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：