【技术实现步骤摘要】
用于真空载样车的驱动装置及真空系统
[0001]本公开涉及真空传样
,特别涉及一种用于真空载样车的驱动装置及真空系统。
技术介绍
[0002]真空运输腔道是真空互联与运输系统的重要组成部分,能够用于连接样品从进样、生长、处理、到表征等各个模块,可以手动控制或者程序化自动控制样品传输装置在真空运输腔道中沿不同路径运行,实现不同设备的互联互通,产生良好的协同效应,为促进材料研究提供了更为丰富的手段。
[0003]目前,常见的运输方式是通过在真空内外侧设置一组或多组极性相异的磁体,磁体分别安装在对应的载样装置(例如,载样车)和驱动装置上,外侧磁体运动驱动真空内侧磁体运动,从而带动所需载样装置在腔道内实现线性运动,外侧磁体可以通过手动驱动或同步带等方式驱动。
[0004]手动驱动的方式更加灵活,耦合机构简单,但是无法稳定控制载样装置运行速度,对操作空间要求高,无法同时进行多项操作,且增加人力成本。而同步带虽然能够为载样装置提供持续动力,实现自动化运行,方便直线段操作,但是由于在真空腔外磁体运动的路线上,一些真空 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,包括:磁体轨道,至少一个驱动车,所述驱动车包括:电磁体组件,设置在所述磁体轨道上,用于沿所述磁体轨道运动;传动装置,设置在所述电磁体组件上,用于在所述电磁体组件的驱动下沿所述磁体轨道运动,以带动所述真空载样车。2.根据权利要求1所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述磁体轨道包括多个并排间隔排列的N磁体和S磁体,所述电磁体组件包括至少一个线圈,用于与所述N磁体和S磁体耦合。3.根据权利要求2所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述磁体轨道包括至少一个滑道,与所述多个并排间隔排列的N磁体和S磁体平行设置,所述电磁体组件包括至少一个滑动件,滑动设置在所述至少一个滑道上,用于承载所述至少一个线圈。4.根据权利要求3所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述滑道包括滑轨或滑槽,并且所述滑动件包括与所述滑轨或滑槽配合的滑块、滑条、滑槽或滑轮。5.根据权利要求1所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述驱动装置还包括:轨道底座,用于承载所述磁体轨道,所述轨道底座包括沿所述磁体轨道延伸的凹槽,所述驱动车包括:线缆链,设置在所述凹槽内且与所述电磁体组件连接,用于容纳所述电磁体组件的导线。6.根据权利要求1
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5中任一项所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述传动装置包括:至少一个支架,设置在所述电磁体组件上;以及至少一个传动磁体,设置在所述至少一个支架上,用于与所述真空载样车磁耦合,以驱动所述真空载样车运动。7.根据权利要求6所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述传动装置还包括:底座,设置在所述电磁体组件上;至少一个调节滑轨,设置在所述底座上;至少一个调节滑块,滑动设置在所述至少一个调节滑轨上,其中,所述支架设置在所述调节滑块上,所述调节滑块用于调节所述支架的位置。8.根据权利要求6所述的用于真空载样车的驱动装置,其特征在于,所述支架包括:至少一个调节组件,...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵嘉峰,陈飞,周文灿,
申请(专利权)人:费勉仪器科技上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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