真空传样车及真空系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种真空传样车及一种真空系统，包括：车体；滑动组件，与车体连接，用于使车体沿轨道运动；传动组件，与车体连接，用于带动车体沿轨道运动；一个或多个载样台，设置在车体上，载样台包括：台体，设置在车体上；以及一个或多个托架，沿台体的周向设置在台体上，用于承载样品使得样品的至少一部分从台体侧面向外延伸。侧面向外延伸。侧面向外延伸。

Vacuum sample vehicle and vacuum system

【技术实现步骤摘要】
真空传样车及真空系统


[0001]本公开涉及真空传样
，特别涉及一种真空传样车及真空系统。

技术介绍

[0002]真空传样技术被广泛应用于真空、超高真空、表面科学、航空航天以及半导体等领域。真空传样主要是将不同的真空系统互联起来，使样品能够在真空环境下传递到不同的处理系统或者分析系统中。互联的真空系统结构庞大，通常样品在一个设备或仪器处完成一项处理或分析后，需要转向另一设备或仪器进行下一步的处理或分析，只能通过传样车在真空管道内穿行进行传样。
[0003]目前的技术中，真空传样车通过圆形或六边形托盘承载样品，样品配合托盘形状在平放状态下与托盘卡合在一起。当传样车到达指定位置后，需要与抓取装置以及升降装置相互配合，经过至少六个步骤完成样品转移，步骤繁琐，操作不便，且增加掉样风险。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一种真空传样车，包括：车体；滑动组件，与车体连接，用于使车体沿轨道运动；传动组件，与车体连接，用于带动车体沿轨道运动；一个或多个载样台，设置在车体上，载样台包括：台体，设置在车体上；以及一个或多个托架，沿台体的周向设置在台体上，用于承载样品使得样品的至少一部分从台体侧面向外延伸。
[0005]在一些实施例中，一个或多个载样台，旋转设置在车体上。
[0006]在一些实施例中，载样台还包括：旋转轴，与台体固定连接，且转动设置在车体上。
[0007]在一些实施例中，真空传样车还包括：转动轴承，设置在车体上，使旋转轴转动设置在车体上。
[0008]在一些实施例中，真空传样车还包括：转动轴承，设置在车体上并且与旋转轴连接，使旋转轴转动设置在车体上。
[0009]在一些实施例中，真空传样车还包括：安装座，设置在车体上，旋转轴的底部穿设在安装座中，旋转轴的底部包括多个定位凹陷，安装座包括与多个定位凹陷配合的凸起。
[0010]在一些实施例中，安装座还包括：弹性机构，与凸起连接，以使凸起从安装座内表面弹性突出。
[0011]在一些实施例中，旋转轴包括：调节结构，设置在旋转轴或台体的顶部，用于转动旋转轴。
[0012]在一些实施例中，台体包括：通孔，用于容纳旋转轴；以及一个或多个安装腰孔，用于与旋转轴固定连接。
[0013]在一些实施例中，一个或多个台体包括：截面为圆形、椭圆形、三角形、矩形、多边形的柱体中的至少一种，一个或多个托架包括沿台体的径向向外延伸的多个托架和/或沿台体的径向延伸的多个凹槽。
[0014]在一些实施例中，托架包括U型架，U型架两侧开设有与样品相配合的槽。
[0015]在一些实施例中，托架还包括：支撑架，套设在U型架外，用于支撑U型架。
[0016]在一些实施例中，滑动组件包括：多组滑动轮，设置在车体下方，和/或传动组件包括：安装架，设置在车体上；以及传动磁组件，设置在安装架底部。
[0017]本公开提供了一种真空系统，包括：真空腔，轨道，设置在真空腔内；根据本公开中任一项实施例的真空传样车，设置在轨道上；驱动组件，设置在真空腔外，与真空传样车的传动组件耦合，用于驱动真空传样车沿轨道运动。
[0018]根据本公开一些实施例的真空传样车能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空传样车能够解决常规技术中传样步骤繁琐、样品运输过程中掉样风险高等问题，能够实现稳定传样、取样方便的技术效果。
[0019]根据本公开一些实施例的真空系统能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空系统能够解决常规技术中传样步骤繁琐、样品运输过程中掉样风险高、传样效率低、继而造成生产或实验效率低下等问题，能够实现传样简单、样品运输平稳、降低掉样风险的技术效果。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1示出根据本公开一些实施例的真空传样车的结构示意图；
[0022]图2示出根据本公开一些实施例的真空传样车的侧视爆炸图；
[0023]图3示出根据本公开一些实施例的载样台的结构示意图；
[0024]图4示出根据本公开一些实施例的载样台的结构爆炸图；
[0025]图5示出根据本公开一些实施例的旋转轴的结构示意图；
[0026]图6示出根据本公开一些实施例的真空系统的结构示意图。
[0027]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0028]100真空传样车
[0029]10车体
[0030]20滑动组件
[0031]21、21a、21b滑动轮
[0032]30传动组件
[0033]31、31a、31b安装架
[0034]32、32a、32b传动磁组件
[0035]40载样台
[0036]41台体
[0037]411通孔
[0038]412、412a、412b、412c安装腰孔
[0039]42、42a、42b、42c、42d托架
[0040]421a、421b、421c、421d U型架
[0041]422a、422b、422c、422d支撑架
[0042]43旋转轴
[0043]431、431a、431b定位凹陷
[0044]432调节结构
[0045]50转动轴承
[0046]60安装座
[0047]61弹性机构
[0048]200真空腔
[0049]300轨道
[0050]400驱动组件
具体实施方式
[0051]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0052]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0053]图1示出根据本公开一些实施例的真空传样车100的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空传样车，其特征在于，包括：车体；滑动组件，与所述车体连接，用于使所述车体沿轨道运动；传动组件，与所述车体连接，用于带动所述车体沿轨道运动；一个或多个载样台，设置在所述车体上，所述载样台包括：台体，设置在所述车体上；以及一个或多个托架，沿所述台体的周向设置在所述台体上，用于承载样品使得样品的至少一部分从所述台体侧面向外延伸。2.根据权利要求1所述的真空传样车，其特征在于，所述一个或多个载样台，旋转设置在所述车体上。3.根据权利要求2所述的真空传样车，其特征在于，所述载样台还包括：旋转轴，与所述台体固定连接，且转动设置在所述车体上。4.根据权利要求3所述的真空传样车，其特征在于，还包括：转动轴承，设置在所述车体上并且与所述旋转轴连接，使所述旋转轴转动设置在所述车体上。5.根据权利要求3所述的真空传样车，其特征在于，还包括：安装座，设置在所述车体上，所述旋转轴的底部穿设在所述安装座中，所述旋转轴的底部包括多个定位凹陷，所述安装座包括与所述多个定位凹陷配合的凸起。6.根据权利要求5所述的真空传样车，其特征在于，所述安装座还包括：弹性机构，与所述凸起连接，以使所述凸起从所述安装座内表面弹性突出。7.根据权利要求5所述的真空传样车，其特征在于，所述旋转轴包括：调节结构，设置在所述旋转轴或所述台体的顶部，用于转动所述旋转轴。8.根据权利要求3

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，施燮峰，舒飞，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：