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本公开提供了一种用于真空载样车的驱动装置及真空系统,包括:磁体轨道,至少一个驱动车,驱动车包括:电磁体组件,设置在磁体轨道上,用于沿磁体轨道运动;传动装置,设置在电磁体组件上,用于在电磁体组件的驱动下沿磁体轨道运动,以带动真空载样车。以带动...该专利属于费勉仪器科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本公开提供了一种用于真空载样车的驱动装置及真空系统,包括:磁体轨道,至少一个驱动车,驱动车包括:电磁体组件,设置在磁体轨道上,用于沿磁体轨道运动;传动装置,设置在电磁体组件上,用于在电磁体组件的驱动下沿磁体轨道运动,以带动真空载样车。以带动...