一种还原炉电极磁环的清理装置制造方法及图纸

技术编号:34293271 阅读:28 留言:0更新日期:2022-07-27 10:00
本实用新型专利技术涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种还原炉电极磁环的清理装置,其包括:外壳体、内壳体和气动马达;外壳体为圆筒状结构;外壳体的上端为封闭结构;外壳体的下端具有外壳开口;外壳体上设置有吸尘口;吸尘口通过吸尘管与吸尘机构连通;外壳体上设置有手柄;外壳体的底部设置有滚珠组件;内壳体为下端开口的圆筒状结构;内壳体与外壳体同轴设置;内壳体的侧壁上设置有排尘孔;内壳体的内侧固定地设置有清洁刷;气动马达设置在外壳体上;内壳体能够拆卸地锁紧在气动马达的驱动轴上,能够被气动马达驱动相对外壳体转动;气动马达通过气管与供气机构连通。采用本实用新型专利技术能够提升电极磁环表面颗粒浮沉的清理效率和效果。效果。效果。

A cleaning device for electrode magnetic ring of reduction furnace

【技术实现步骤摘要】
一种还原炉电极磁环的清理装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产设备
,尤其涉及一种还原炉电极磁环的清理装置。

技术介绍

[0002]在多晶硅的生产技术中,改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅棒的过程中,反应系统将高纯三氯氢硅和高纯氢气,一定条件下,在还原炉反应釜中按照一定摩尔配比发生物理化学反应,生成多晶硅锭;同时产生的副产物附着在底盘电极和磁环上,形成坚硬的垢层,垢层的存在会对还原炉的绝缘性能产生严重影响;同时,会导致还原炉反射面的反射效率降低,影响其能耗指标,进而会对产品质量产生严重影响;所以需要对垢层及时清理。
[0003]目前主要依靠操作人员采取清理工具进行清理;一般通过铲刀刮、榔头敲、砂纸磨等进行清理作业;这种清理方式不仅会对还原炉的底盘造成损伤,而且,作业时还原炉底盘上会有各种有毒气体溢出或残留,给清理人员带来健康和安全风险。这种清理方式清理效率低,效果也不好,甚至会导致还原炉底盘上的管路堵死;并且,清理后的粉尘又有污染十万级洁净车间的风险。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供一种还原炉电极磁环的清理装置,主要目的在于提升电极磁环表面颗粒浮沉的清理效率和效果,保证电极磁环的性能。
[0005]为达到上述目的,本技术主要提供如下技术方案:
[0006]本技术的实施例提供一种还原炉电极磁环的清理装置,包括:外壳体、内壳体和气动马达;
[0007]所述外壳体为圆筒状结构;所述外壳体的上端为封闭结构;所述外壳体的下端具有外壳开口;
[0008]所述外壳体上设置有吸尘口;所述吸尘口通过吸尘管与吸尘机构连通;
[0009]所述外壳体上固定地设置有手柄;
[0010]所述外壳体的底部设置有滚珠组件;所述滚珠组件为多个;多个所述滚珠组件沿所述外壳体的下端边缘间隔设置,用于支撑所述外壳体移动;
[0011]所述内壳体为下端开口的圆筒状结构;所述内壳体与所述外壳体同轴设置;
[0012]所述内壳体的侧壁上设置有排尘孔;所述排尘孔为多个;多个所述排尘孔沿所述内壳体的圆周方向间隔设置;
[0013]所述内壳体的内侧固定地设置有清洁刷;所述清洁刷沿圆周方向覆盖在所述内壳体的内壁上;
[0014]所述气动马达固定地设置在所述外壳体上;所述内壳体能够拆卸地锁紧在所述气动马达的驱动轴上,能够被所述气动马达驱动相对所述外壳体转动;所述气动马达通过气
管与供气机构连通;所述气管上设置有手动调节阀;所述手动调节阀固定地设置在所述外壳体上。
[0015]进一步地,所述外壳体的内壁与所述内壳体的外壁的间距不小于所述内壳体的内径的1/4。
[0016]进一步地,所述外壳体的内侧设置有导流槽;所述导流槽为多个;多个所述导流槽以所述吸尘口为中心向外扩散分布。
[0017]进一步地,所述清洁刷为尼纶材质。
[0018]进一步地,所述排尘孔为上下延伸到长孔结构。
[0019]进一步地,所述排尘孔的长度不小于所述内壳体的高度的1/2。
[0020]进一步地,所述供气机构为空气压缩机。
[0021]借由上述技术方案,本技术还原炉电极磁环的清理装置至少具有下列优点:
[0022]能够提升电极磁环表面颗粒浮沉的清理效率和效果,保证电极磁环的性能。
[0023]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0024]图1为本技术实施例提供的一种还原炉电极磁环的清理装置的示意图;
[0025]图2为本技术实施例提供的一种还原炉电极磁环的清理装置中内壳体的示意图;
[0026]图3为本技术实施例提供的一种还原炉电极磁环的清理装置中外壳体的示意图。
[0027]图中所示:
[0028]1为外壳体,1

1为吸尘口,2为气动马达,3为手动调节阀,4为手柄,5为滚珠组件,6为内壳体,6

1为排尘孔,6

2为清洁刷。
具体实施方式
[0029]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0030]如图1至图3所示,本技术的一个实施例提出的一种还原炉电极磁环的清理装置,包括:外壳体1、内壳体6和气动马达2;外壳体1为圆筒状结构;外壳体1的上端为封闭结构;外壳体1的下端具有外壳开口;内壳体6可以从外壳开口进入,安装在外壳体1内。外壳体1上设置有吸尘口1

1;吸尘口1

1通过吸尘管与吸尘机构连通;从电极磁环上清理的粉尘通过吸尘口1

1吸出,防止粉尘扩散到室内,造成洁净区污染。外壳体1上固定地设置有手柄4,用于操作人员手持操作。手柄4可以为两个,分别设置在外壳体1的两侧,以便于操作人员手持操作。
[0031]外壳体1的底部设置有滚珠组件5;滚珠组件5为多个;多个滚珠组件5沿外壳体1的
下端边缘间隔设置,用于支撑外壳体1移动,便于操作人员将内壳体6围绕电极磁环旋转移动,实现对电极磁环的清理。
[0032]内壳体6为下端开口的圆筒状结构;内壳体6与外壳体1同轴设置;内壳体6的侧壁上设置有排尘孔6

1;排尘孔6

1为多个;多个排尘孔6

1沿内壳体6的圆周方向间隔设置,在清理时产生的粉尘通过排尘孔6

1外泄至外壳体1,通过吸尘口1

1吸出。本实施例优选,排尘孔6

1为上下延伸到长孔结构,以使内壳体6内产生的粉尘能够有较大的通道流向外壳体1,而且不降低内壳体6的强度。进一步优选,排尘孔6

1的长度不小于内壳体6的高度的1/2,以保证排尘孔6

1有充足的流通空间。
[0033]内壳体6的内侧固定地设置有清洁刷6

2;清洁刷6

2沿圆周方向覆盖在内壳体6的内壁上,以随内壳体6的转动清理电极及磁环表面附着的粉尘。本实施例优选,清洁刷6

2为尼纶材质,耐磨,防止产生新的污染。
[0034]气动马达2固定地设置在外壳体1上;内壳体6能够拆卸地锁紧在气动马达2的驱动轴上,能够被气动马达2驱动相对外壳体1转动;气动马达2通过气管与供气机构连通;通过气动驱动,能够保证清理还原炉的安全性。本实施例优选,供气机构为空气压缩机,以随时为气动马达2提供带压空气。当然,供气机构也可以为本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种还原炉电极磁环的清理装置,其特征在于,包括:外壳体、内壳体和气动马达;所述外壳体为圆筒状结构;所述外壳体的上端为封闭结构;所述外壳体的下端具有外壳开口;所述外壳体上设置有吸尘口;所述吸尘口通过吸尘管与吸尘机构连通;所述外壳体上固定地设置有手柄;所述外壳体的底部设置有滚珠组件;所述滚珠组件为多个;多个所述滚珠组件沿所述外壳体的下端边缘间隔设置,用于支撑所述外壳体移动;所述内壳体为下端开口的圆筒状结构;所述内壳体与所述外壳体同轴设置;所述内壳体的侧壁上设置有排尘孔;所述排尘孔为多个;多个所述排尘孔沿所述内壳体的圆周方向间隔设置;所述内壳体的内侧固定地设置有清洁刷;所述清洁刷沿圆周方向覆盖在所述内壳体的内壁上;所述气动马达固定地设置在所述外壳体上;所述内壳体能够拆卸地锁紧在所述气动马达的驱动轴上,能够被所述气动马达驱动相对所述外壳体转动;所述气动马达通过...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁建谭忠芳杨涛莫可璋
申请(专利权)人:新疆大全新能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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