【技术实现步骤摘要】
镀膜转架
[0001]本专利技术涉及镀膜
，特别是涉及一种产品可在随转架公转中实现自转的镀膜转架。
技术介绍
[0002]目前，在利用真空镀膜设备同时对多个产品进行表面镀膜工艺时，一般是采用在设备工艺腔体中设置转架，并将产品通过挂杆上的夹具装载在转架上的方式，使产品在跟随转架的公转中进行镀膜。同时，还可通过建立多级传动方式，使挂杆能够在跟随转架公转的过程中进行自转，使得环绕转架各个侧面装载的每个产品都获得面向溅射靶的均等受镀机会。
[0003]由于产品是以固定方式装载在挂杆上的，在挂杆自转时，处于挂杆任何侧面上的产品都只能以固定角度转到正对靶面的方向。这样，对于一些圆柱形或环形产品而言，就会因产品不同面上难以得到均匀镀膜，造成镀膜后容易发生产品正面和侧面存在异色问题，无法满足客户需求。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种镀膜转架。
[0005]本专利技术实现上述目的的一种技术方案是：
[0006]镀膜转架，包括：
[0007]架体...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.镀膜转架，其特征在于，包括：架体，被配置为能够绕转动中心旋转；挂杆，设于所述架体上，并与所述转动中心平行；第一齿轮，绕所述转动中心水平固定设置；第一转轴，水平设于所述挂杆上，所述第一转轴按其与所述架体的转动圆周交点处的切线所成夹角为锐角设置，所述第一转轴的外端连接产品夹具，内端连接第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相配合；其中，通过所述架体的旋转，带动所述第二齿轮在绕所述第一齿轮公转的同时发生自转，使所述第一转轴跟随转动，从而实现所述夹具上装载的产品在转至朝向靶面时以倾斜角度进行旋转。2.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的所述挂杆，所述第一齿轮和所述第二齿轮设于所述下盘上方，并相啮合，所述第二齿轮通过万向接头机构与所述第一转轴相连接。3.根据权利要求2所述的镀膜转架，其特征在于，所述万向接头机构包括双万向节，所述双万向节的一端通过第二转轴与所述第一转轴相连接，所述双万向节的另一端通过第三转轴与所述第二齿轮相连接。4.根据权利要求2所述的镀膜转架，其特征在于，所述上盘和所述下盘之间通过第一支撑柱相连，所述下盘承载于架体轴承座上，传动主轴沿所述转动中心依次穿过所述架体轴承座、所述下盘和所述第一齿轮上分设的主轴孔后与连接板相连，所述连接板通过第二支撑柱与所述下盘相连，所述第一齿轮通过穿过所...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐智，蔡镇洲，冯柳君，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。