一种线路板的数字光刻系统技术方案

技术编号:34239704 阅读:71 留言:0更新日期:2022-07-24 08:58
本实用新型专利技术提供了一种线路板的数字光刻系统,其包括机架以及组装于机架的光刻主体、第一平台、第二平台、传动组件、分板机构、拍板机构、移载机构、出料机构以及汇流机构,机架包括沿X轴、Y轴、Z轴方向延伸的若干悬梁,第一平台、第二平台分别位于光刻主体沿Y轴方向的两侧,分板机构、汇流机构分别位于光刻主体沿X轴方向的两侧,拍板机构包括分别位于分板机构沿Y轴方向的两侧的第一拍板机构、第二拍板机构,出料机构包括分别位于汇流机构沿Y轴方向的两侧的第一出料机构、第二出料机构。本实用新型专利技术通过光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理,从而大大提高了光刻效率,节省时间,节省成本。节省成本。节省成本。

【技术实现步骤摘要】
一种线路板的数字光刻系统


[0001]本技术涉及线路板的光刻
,尤其涉及一种线路板的数字光刻系统。

技术介绍

[0002]光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程通常为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应,再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶,后者称负性光刻胶),使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上,最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。集成电路制造中,会使用光刻技术将电路图形传递到单晶表面或介质层上,以形成有效图形窗口或功能图形的PCB线路板。
[0003]光刻装置在对PCB线路板进行光刻时,通常在光刻装置的一侧进行上料,前一块PCB线路板光刻完成后,需要等待下一块PCB线路板上料,以实现下一块PCB线路板进行光刻。现有的光刻装置的结构单一,进行PCB线路板上料、光刻及PCB线路板下料的时间不能重叠利用,光刻效率低下。
[0004]因此,实有必要提供一种新的线路板的数字光刻系统以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种光刻效率高的线路板的数字光刻系统,以解决相关技术中的问题。
[0006]为了达到上述目的,本技术提供了一种线路板的数字光刻系统,其包括机架以及组装于所述机架的光刻主体、第一平台、第二平台、传动组件、分板机构、拍板机构、移载机构、出料机构以及汇流机构,所述机架包括沿X轴、Y轴、Z轴方向延伸的若干悬梁,所述第一平台、所述第二平台分别位于所述光刻主体沿所述Y轴方向的两侧,所述分板机构、所述汇流机构分别位于所述光刻主体沿所述X轴方向的两侧,所述拍板机构包括分别位于所述分板机构沿Y轴方向的两侧的第一拍板机构、第二拍板机构,所述出料机构包括分别位于所述汇流机构沿Y轴方向的两侧的第一出料机构、第二出料机构。
[0007]更优地,所述传动组件传动组装于所述第一平台、第二平台沿所述Z轴方向的下方,所述传动组件包括沿所述Y轴方向延伸的滑轨。
[0008]更优地,所述分板机构包括第一驱动模组、沿所述Y轴方向排成一排且间隔设置的若干推杆,所述推杆与所述第一驱动模组传动连接。
[0009]更优地,所述分板机构包括第二驱动模组、沿所述X轴方向排成一排且间隔设置的若干止挡杆,所述止挡杆与所述第一驱动模组传动连接,所述汇流机构与所述分板机构的结构相同。
[0010]更优地,所述第一拍板机构包括沿所述X轴方向相对设置的第一定位组件、第二定位组件,所述第一定位组件包括沿所述X轴方向延伸的第三驱动模组、可被所述第三驱动模
组驱动沿X轴方向往复移动的第一定位部、自所述第一定位部沿所述Z轴方向延伸的第一定位柱,所述第二定位组件包括沿所述X轴方向延伸的第四驱动模组、可被所述第四驱动模组驱动沿X轴方向往复移动的第二定位部、自所述第二定位部沿所述Z轴方向延伸的第二定位柱。
[0011]更优地,所述第一拍板机构还包括第三定位组件,所述第三定位组件包括沿所述Y轴方向延伸的第五驱动模组、可被所述第五驱动模组驱动沿所述Y轴方向往复移动的第三定位部、自所述第三定位部沿所述Z轴方向延伸的第三定位柱,所述第一拍板机构、第二拍板机构的结构相同。
[0012]更优地,所述移载机构包括结构相同的第一移载机构、第二移载机构、第三移载机构、第四移载机构。
[0013]更优地,所述第一移载机构位于所述第一拍板机构、所述第一平台沿所述Z轴方向的上方,所述第一移载机构包括沿X轴方向延伸的第一滑轨组件、沿Z轴方向延伸的第二滑轨组件以及第一机械手,所述第一机械手包括若干吸盘。
[0014]更优地,所述第二移载机构位于所述第一平台、所述第一出料机构沿所述Z轴方向的上方,所述第三移载机构位于所述第二拍板机构、所述第二平台沿所述Z轴方向的上方,所述第四移载机构位于所述第二平台、第二出料机构沿所述Z轴方向的上方。
[0015]更优地,所述光刻主体包括曝光镜筒、连接所述曝光镜筒的曝光光源、曝光头控制单元以及液冷管道组件。
[0016]本技术的技术效果为:通过光刻主体、第一平台、第二平台、传动组件、分板机构、第一拍板机构、第二拍板机构、移载机构、第一出料机构、第二出料机构以及汇流机构的配合,实现了光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理,从而大大提高了光刻效率,节省时间,节省成本。
【附图说明】
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:
[0018]图1是本技术一种线路板的数字光刻系统的立体组合图;
[0019]图2是图1所示的俯视图;
[0020]图3是图1所示的前视图;
[0021]图4是本技术的分板机构的立体组合图;
[0022]图5是本技术的第一拍板机构的立体组合图;
[0023]图6是图5所示的第一拍板机构的底板的立体图;
[0024]图7是本技术的第一移载机构的立体组合图。
【具体实施方式】
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例,而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]如图1至图3所示,本技术提供一种线路板的数字光刻系统100,其包括机架1以及组装于机架1的光刻主体2、第一平台31、第二平台32、传动组件4、分板机构5、拍板机构6、移载机构7、出料机构8、汇流机构9。
[0027]机架1包括沿X轴、Y轴、Z轴方向延伸的若干悬梁11。机架1还包括支撑台12,支撑台12用于承载光刻主体2、第一平台31、第二平台32、传动组件4、分板机构5、拍板机构6、移载机构7、出料机构8以及汇流机构9。支撑台12可以为大理石平台,以保证装置的结构稳定性,但其材质不限于此。
[0028]光刻主体2包括曝光镜筒21、连接曝光镜筒21的曝光光源22、曝光头控制单元23以及液冷管道组件24。曝光光源22用于为数字光刻处理提供曝光光线,曝光光源22的光线经过曝光镜筒21后,能够实现对待光刻线路板的曝光处理。曝光头控制单元23用于控制曝光光源22进行曝光,曝光光源22可以为LED光源或激光光源。液冷管道组件34包括多个并排分布的液冷管,液冷管内填充有冷却液,冷却液在液冷管内流动,能够带走所述曝光光源22、曝光头控制单元23工作产生的热量,防止温度过高。
[0029]第一平台31、第二平台32分别位于光刻主体本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线路板的数字光刻系统,其包括机架以及组装于所述机架的光刻主体、第一平台、第二平台、传动组件、分板机构、拍板机构、移载机构、出料机构以及汇流机构,其特征在于,所述机架包括沿X轴、Y轴、Z轴方向延伸的若干悬梁,所述第一平台、所述第二平台分别位于所述光刻主体沿所述Y轴方向的两侧,所述分板机构、所述汇流机构分别位于所述光刻主体沿所述X轴方向的两侧,所述拍板机构包括分别位于所述分板机构沿Y轴方向的两侧的第一拍板机构、第二拍板机构,所述出料机构包括分别位于所述汇流机构沿Y轴方向的两侧的第一出料机构、第二出料机构。2.根据权利要求1所述的一种线路板的数字光刻系统,其特征在于,所述传动组件传动组装于所述第一平台、第二平台沿所述Z轴方向的下方,所述传动组件包括沿所述Y轴方向延伸的滑轨。3.根据权利要求2所述的一种线路板的数字光刻系统,其特征在于,所述分板机构包括第一驱动模组、沿所述X轴方向排成一排且间隔设置的若干推杆,所述若干推杆与所述第一驱动模组传动连接。4.根据权利要求3所述的一种线路板的数字光刻系统,其特征在于,所述分板机构包括第二驱动模组、沿所述Y轴方向排成一排且间隔设置的若干止挡杆,所述若干止挡杆与所述第一驱动模组传动连接,所述汇流机构与所述分板机构的结构相同。5.根据权利要求4所述的一种线路板的数字光刻系统,其特征在于,所述第一拍板机构包括沿所述X轴方向相对设置的第一定位组件、第二定位组件,所述第一定位组件包括沿所述X轴方向延伸的第三驱动模组、可被所述第三驱动模组驱动沿X轴方向往复移动的第一定位部、自所述第一定...

【专利技术属性】
技术研发人员:王华陈志特
申请(专利权)人:广东科视光学技术股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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