本实用新型专利技术涉及单晶硅上料转运装置,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,上料机构包括一放置架,放置架朝向转运机构一侧设置有载物台,转运机构包括滑台及滑台移动端固定的回转基座,回转基座朝向放置架一侧设置有横向导轨,横向导轨上的夹爪组,夹爪组包括一对夹爪,一对夹爪由夹爪驱动装置驱动沿横向导轨相向或背向运动,本实用新型专利技术提供了单晶硅上料转运装置,能够通过放置架与夹爪组配合实现对单晶硅的上料与转运,从而能够实现置物架上的棒料翻转与运输,减少上料时间提高棒料输送效率。时间提高棒料输送效率。时间提高棒料输送效率。
【技术实现步骤摘要】
单晶硅上料转运装置
[0001]本技术涉及晶硅加工设备
,尤其指单晶硅上料转运装置。
技术介绍
[0002]现有开方机一般为卧式结构。首先将待切割棒料通过水平输送履带机构输送至指定位置,再由上料机构夹持,由于设有中部设有旋转机构,因此可以将待切割棒料竖直或者水平的输送至切割夹持机构的可夹持位置。由于立式开方机具有切割冷却效果好,设备外形尺寸小等优势,因此立式切割机得到快速发展,在上料工步中,需要对棒料进行翻转传送并转运至切割台进行操作,为此有必要设置一种能够与水平输送机构相对接的,能够对棒料进行翻转转运的装置,现有的设备结构布局不合理,过程中造成棒料磨损磕碰。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题,本技术提供一种能够适用于立式开方机的棒料转运机构。可以找到硅晶棒实际轴向重心,调整位置依靠锁紧装置调整位置,实现硅晶棒稳定竖立。
[0004]本技术的技术方案如下:一种单晶硅上料转运装置,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,所述上料机构包括一放置架,所述放置架朝向转运机构一侧设置有载物台,所述转运机构包括滑台及滑台移动端固定的回转基座,所述回转基座朝向放置架一侧设置有横向导轨,所述横向导轨上的夹爪组,所述夹爪组包括一对夹爪,一对夹爪由夹爪驱动装置驱动沿横向导轨相向或背向运动。
[0005]优选的,所述放置架朝向转运机构的一侧铰接于一送料机架上,所述放置架表面具有导轮,所述送料机架上设置有驱动放置架绕其与送料机架铰接处转动的送料驱动机构。
[0006]优选的,所述放置架与载物台滑动配合,所述放置架上固定有沿棒料移动方向布设的导杆,所述载物台套于导杆上,导杆的两端固定有防止载物台脱出的限位板。
[0007]优选的,所述的夹爪驱动装置为电缸、气缸或液压缸,所述夹爪组中其中一个夹爪固定于横向导轨,另一个夹爪由电缸、气缸或液压缸驱动横向移动。
[0008]优选的,各个夹爪组的一对夹爪相向面具有内凹的夹持面,所述夹持面内侧固定有垫块
[0009]。优选的,所述垫块具有多个,且相邻垫块之间留有间隙。
[0010]优选的,送料机架上经轴承铰接连接有转轴,所述转轴与放置架固定连接,所述送料驱动机构为气缸、电缸或液压缸,所述驱动机构下部铰接连接于送料机架,送料驱动机构的伸缩端与放置架铰接连接。
[0011]优选的,所述放置架与载物台滑动配合,所述送料机架背离驱动机构一侧设置有能顶升载物台的顶升件,所述顶升件与送料机架滑动配合,顶升件由顶升机构驱动上下移动,所述顶升机构为气缸、油缸或电缸;
[0012]所述放置架沿棒料长度方向布设有多个槽状支架,所述导轮成对布设于槽状支架的顶部,所述载物台底部设置有滑轮,所述送料机架上固定有能抵靠滑轮的导向支板,所述导向支板的内侧为弧面,所述送料机架上部固定有能辅助支撑放置架的定位托盘。
[0013]优选的,所述回转基座包括固定于滑台上的回转电机及固定于回转电机输出端的基柱。
[0014]优选的,放置架的侧部固定有侧向辅助导板,所述侧向辅助导板上固定有能与棒料侧部接触的柔性垫。
[0015]与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:
[0016](1)本技术提供了单晶硅上料转运装置,能够通过放置架与夹爪组配合实现对单晶硅的上料与转运,从而能够实现实现放置架上的棒料翻转与运输,减少上料时间提高棒料输送效率。
[0017](2)本技术放置架上设计有导轮与辅助导板,能够通过导轮满足棒料输送过程中的稳定,减小移动过程中对棒料表面的影响。
[0018](3)本技术实施例中夹爪内侧通过各个垫块实现对硅晶棒的夹持避免对其表面产生破坏。
附图说明
[0019]图1为本技术实施例一整体结构示意图;
[0020]图2为本技术转运机构局部结构示意图;
[0021]图3为本技术上料机构局部结构示意图;
[0022]图4为本技术上料机构侧视结构示意图一(单晶硅水平状态);
[0023]图5为本技术上料机构侧视结构示意图二(单晶硅竖直状态);
[0024]图6为本技术具有顶升机构的送料机架与放置架结构示意图(放置架水平状态);
[0025]图7为本技术的图6中顶升机构结构示意图;
[0026]图8为本技术的图6侧视示意图(放置架竖直状态);
[0027]图中:100
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单晶硅,10
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送料机架,110
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转轴,111
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送料气缸,120
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导向支板,20
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放置架,210
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载物台,201
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导轨,211
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滑轮,212
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凹槽,213
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滑块,220
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导杆,221
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限位板,230
‑ꢀ
槽状支架,231
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导轮,240
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侧向辅助导板,241
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柔性垫,30
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滑台,310
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基柱,311
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横向导轨, 40
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夹爪组,410
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夹爪,411
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垫块,50
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顶升件,501
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顶升板,502
‑
缓冲垫块,510
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导杆,520
‑ꢀ
驱动板,60
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顶升气缸,610
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链轮,611
‑
传动链条。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和具体实施例来对本技术进行详细的说明。
[0029]参见图1
‑
5,一种单晶硅上料转运装置,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅100的转运机构,所述上料机构包括一放置架20,所述放置架朝向转运机构一侧设置有载物台210,所述转运机构包括滑台30及滑台移动端固定的回转基座,所述回转基座朝向放置架一侧设置有横向导轨311,所述横向导轨上的夹爪组40,所述夹爪组包括一对夹爪410,一对夹爪由夹爪驱动装置驱动沿横向导轨相向或背向运动。
[0030]本实施例中,所述的夹爪驱动装置为电缸、气缸或液压缸,所述夹爪组中其中一个夹爪410固定于横向导轨311,另一个夹爪由电缸、气缸或液压缸驱动横向移动。
[0031]放置架铰接于一送料机架10上,所述送料机架10上经轴承铰接连接有转轴110,所述转轴110与放置架固定连接,从而实现放置架20与送料机架的铰接连接,所述送料机架上设置有驱动放置架绕其与送料机架铰接处转动的送料驱动机构。
[0032]本实施例中,所述送料驱动机构为送料气缸111,所述送料气缸111下部铰接连接于送本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅上料转运装置,其特征在于,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,所述上料机构包括一放置架,所述放置架朝向转运机构一侧设置有载物台,所述转运机构包括滑台及滑台移动端固定的回转基座,所述回转基座朝向放置架一侧设置有横向导轨,所述横向导轨上的夹爪组,所述夹爪组包括一对夹爪,一对夹爪由夹爪驱动装置驱动沿横向导轨相向或背向运动。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅上料转运装置,其特征在于,所述放置架朝向转运机构的一侧铰接于一送料机架上,所述放置架表面具有导轮,所述送料机架上设置有驱动放置架绕其与送料机架铰接处转动的送料驱动机构。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅上料转运装置,其特征在于,所述放置架与载物台滑动配合,所述放置架上固定有沿棒料移动方向布设的导杆,所述载物台套于导杆上,导杆的两端固定有防止载物台脱出的限位板。4.根据权利要求1、2或3所述的一种单晶硅上料转运装置,其特征在于,所述的夹爪驱动装置为电缸、气缸或液压缸,所述夹爪组中其中一个夹爪固定于横向导轨,另一个夹爪由电缸、气缸或液压缸驱动横向移动。5.根据权利要求1、2或3所述的一种单晶硅上料转运装置,其特征在于,各个夹爪组的一对夹爪相向面具有内凹的夹持面,所述夹持面内侧固定有垫...
【专利技术属性】
技术研发人员:李海威,梁兴华,李元业,郑光健,廖书阳,沈锦锋,梁洁,李波,赖晓锟,
申请(专利权)人:福州天瑞线锯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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