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单晶硅上料转运装置制造方法及图纸
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文档序号:34231188
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本实用新型涉及单晶硅上料转运装置,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,上料机构包括一放置架,放置架朝向转运机构一侧设置有载物台,转运机构包括滑台及滑台移动端固定的回转基座,回转基座朝向放置架一侧设置有横向导轨,横向导轨上...
该专利属于福州天瑞线锯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福州天瑞线锯科技有限公司授权不得商用。
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