一种镀膜机锌炉制造技术

技术编号:34228949 阅读:98 留言:0更新日期:2022-07-20 22:24
本实用新型专利技术公开了一种镀膜机锌炉,包括通过多个支架固定连接在壳体内的炉体,所述炉体上端开设有放置槽,所述壳体内开设有多个圆柱腔,所述圆柱腔内壁上方固定连接有进水管,所述圆柱腔内壁下方固定连接有出水管,所述圆柱腔顶部固定连接有螺纹管,所述螺纹管内壁螺纹连接有第一丝杠。本实用新型专利技术通过第二丝杠正向和反向转动使得横板带动多个第一丝杠上下移动,进而在螺纹管的作用下,此时第一丝杠边移动边转动,从而带动多个刷毛边移动边转动,使得刷毛可以对圆柱腔内壁的污垢进行清理,避免污垢影响冷水在圆柱腔的流动速度较慢和影响冷水对热量的吸收速度较慢,使得炉体外的温度较高对其他机构造成损害,从而影响镀膜稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机锌炉


[0001]本技术涉及镀膜机
,尤其涉及一种镀膜机锌炉。

技术介绍

[0002]镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,主要思路是分成蒸发和溅射两种,而蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
[0003]镀膜机锌炉因为通过高温加热蒸发靶材来进行镀膜,所以锌炉自身温度很高,锌炉内发热炉高温的扩散容易对其他机构造成损害,从而对其进行水冷,但是冷水在管道流动长时间流动后,会导致管道内壁残留较多的污垢,从而导致冷水在管道的流动速度较慢,同时冷水对热量的吸收速度较慢,使得炉体外的温度较高对其他机构造成损害,从而影响镀膜稳定性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种镀膜机锌炉。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种镀膜机锌炉,包括通过多个支架固定连接在壳体内的炉体,所述炉体上端开设有放置槽,所述壳体内开设有多个圆柱腔,所述圆柱腔内壁上方固定连接有进水管,所述圆柱腔内壁下方固定连接有出水管,所述圆柱腔顶部固定连接有螺纹管,所述螺纹管内壁螺纹连接有第一丝杠,所述第一丝杠侧壁下方通过多个伸缩机构连接有多个滑杆,所述滑杆远离第一丝杠的侧壁固定连接有多个刷毛,所述刷毛侧壁与圆柱腔内壁贴合,所述壳体侧壁通过连接板固定连接有竖板,所述竖板侧壁开设有凹槽,所述凹槽内壁滑动连接有滑块,所述滑块远离凹槽的侧壁固定连接有横板,所述第一丝杠上端与横板下端转动连接,所述凹槽内设有驱动滑块滑动的驱动机构。
[0007]优选地,所述伸缩机构包括固定连接在第一丝杠侧壁下方的固定筒,所述滑杆侧壁与固定筒内壁滑动连接,所述滑杆远离刷毛的一端通过弹簧与固定筒内壁弹性连接。
[0008]优选地,所述驱动机构包括转动连接在凹槽内壁的第二丝杠,所述第二丝杠侧壁与滑块侧壁螺纹连接,所述连接板下端固定连接有电机,所述电机活动端与第二丝杠下端固定连接。
[0009]优选地,所述弹簧采用不锈钢材料制成,所述弹簧的劲度系数为50

60N/m。
[0010]本技术具有以下有益效果:
[0011]1、通过设置螺纹管、第一丝杠、第二丝杠、滑块、横板和刷毛,第二丝杠正向和反向转动使得滑块带动横板上下移,进而横板带动多个第一丝杠上下移动,进而在螺纹管的作用下,此时第一丝杠边移动边转动,从而带动多个刷毛边移动边转动,使得刷毛可以对圆柱腔内壁的污垢进行清理,避免污垢影响冷水在圆柱腔的流动速度较慢和影响冷水对热量的
吸收速度较慢,使得炉体外的温度较高对其他机构造成损害,从而影响镀膜稳定性。
[0012]2、通过设置伸缩机构,滑杆在弹簧的弹力作用下,使得刷毛始终与圆柱腔内壁贴合,增加刷毛对圆柱腔内的清理效果。
附图说明
[0013]图1为本技术提出的一种镀膜机锌炉的结构示意图;
[0014]图2为图1中A处的结构放大示意图。
[0015]图中:1壳体、2炉体、3放置槽、4圆柱腔、5进水管、6出水管、7螺纹管、8第一丝杠、9固定筒、10滑杆、11刷毛、12弹簧、13竖板、14凹槽、15滑块、16横板、17电机、18第二丝杠。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0017]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0018]参照图1

2,一种镀膜机锌炉,包括通过多个支架固定连接在壳体1内的炉体2,炉体2上端开设有放置槽3,壳体1内开设有多个圆柱腔4,圆柱腔4内壁上方固定连接有进水管5,圆柱腔4内壁下方固定连接有出水管6,圆柱腔4顶部固定连接有螺纹管7,螺纹管7内壁螺纹连接有第一丝杠8,需要说明的是,第一丝杠8和螺纹管7之间的螺纹连接处导程较大,使得在第一丝杠8上下移动时,此时在螺纹管7的作用下,第一丝杠8很容易转动。
[0019]第一丝杠8侧壁下方通过多个伸缩机构连接有多个滑杆10,滑杆10远离第一丝杠8的侧壁固定连接有多个刷毛11,刷毛11侧壁与圆柱腔4内壁贴合,壳体1侧壁通过连接板固定连接有竖板13,竖板13侧壁开设有凹槽14,凹槽14内壁滑动连接有滑块15,滑块15远离凹槽14的侧壁固定连接有横板16,第一丝杠8上端与横板16下端转动连接,凹槽14内设有驱动滑块15滑动的驱动机构。
[0020]伸缩机构包括固定连接在第一丝杠8侧壁下方的固定筒9,滑杆10侧壁与固定筒9内壁滑动连接,滑杆10远离刷毛11的一端通过弹簧12与固定筒9内壁弹性连接。
[0021]进一步的,滑杆10在弹簧12的弹力作用下,使得刷毛11始终与圆柱腔4内壁贴合,从而增加刷毛11对圆柱腔4内的清理效果。
[0022]驱动机构包括转动连接在凹槽14内壁的第二丝杠18,第二丝杠18侧壁与滑块15侧壁螺纹连接,连接板下端固定连接有电机17,电机17活动端与第二丝杠18下端固定连接。
[0023]弹簧12采用不锈钢材料制成,避免弹簧12浸泡在水中生锈,弹簧12的劲度系数为50

60N/m。
[0024]本技术中,加热炉体2使得放置槽3里的靶材加热,此时通过进水管5对圆柱腔4内泵入冷水,随后冷水在通过出水管6流出,进而冷水在流动时可以带走炉体2自身散发出来的热量,从而增加镀膜稳定性;
[0025]在冷水流动一段时间后,此时间歇性驱动电机17正向和反向转动,进而间歇性带动第二丝杠18正向和反向转动,进而滑块15带动横板16上下移动,进而带动多个第一丝杠8上下移动,进而在多个螺纹管7的作用下,多个第一丝杠8上下移动过程中会转动,进而第一丝杠8通过固定筒9和滑杆10带动多个刷毛11边移动边转动,使得刷毛11可以对圆柱腔4内壁的污垢进行清理,并且清理后的污垢跟随出水管6流出,避免污垢影响冷水在圆柱腔4的流动速度较慢和影响冷水对热量的吸收速度较慢,使得炉体2外的温度较高对其他机构造成损害,从而影响镀膜稳定性。
[0026]以上,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机锌炉,包括通过多个支架固定连接在壳体(1)内的炉体(2),其特征在于,所述炉体(2)上端开设有放置槽(3),所述壳体(1)内开设有多个圆柱腔(4),所述圆柱腔(4)内壁上方固定连接有进水管(5),所述圆柱腔(4)内壁下方固定连接有出水管(6),所述圆柱腔(4)顶部固定连接有螺纹管(7),所述螺纹管(7)内壁螺纹连接有第一丝杠(8),所述第一丝杠(8)侧壁下方通过多个伸缩机构连接有多个滑杆(10),所述滑杆(10)远离第一丝杠(8)的侧壁固定连接有多个刷毛(11),所述刷毛(11)侧壁与圆柱腔(4)内壁贴合,所述壳体(1)侧壁通过连接板固定连接有竖板(13),所述竖板(13)侧壁开设有凹槽(14),所述凹槽(14)内壁滑动连接有滑块(15),所述滑块(15)远离凹槽(14)的侧壁固定连接有横板(16),所述第一丝杠(8)上端与横板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵尤斌朱正强谈智勇
申请(专利权)人:安徽省宁国市海伟电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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