一种非对称截止波长的带通滤光片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种非对称截止波长的带通滤光片，包括：基片、在基片上形成的若干个法布里

【技术实现步骤摘要】
一种非对称截止波长的带通滤光片


[0001]本技术涉及滤光片领域，特别涉及一种非对称截止波长的带通滤光片。

技术介绍

[0002]常规的带通滤光片通常设计采用1/4波长(Quarter
‑
Wave)光学厚度的高折射率膜层和低折射率膜层交替堆叠的膜系结构，其截止波段范围即反射带宽与1/4波长(Quarter
‑
Wave)膜堆的反射镜是一致的，其反射带宽的最大值是由膜层的高低折射率差决定的。其反射带的半高宽为：
[0003][0004]其中2Δg为反射带的半高宽，nH为高折射率材料的折射率，nL为低折射率材料的折射率；膜层的高低折射率差约大则反射带半高宽就越大。而在膜层材料决定的情况下，其极限的反射带宽已经被决定了。
[0005]常规情况下，带通滤光片的都是由1/4光学厚度的高低折射率介质膜层交替堆叠，构成多级的法布里
‑
帕罗腔级联形成。
[0006]绝大多数的带通滤光片采用的设计通过多级的法布里
‑
帕罗腔级联能起到扩展通带带宽，使得陡度变陡，对截止波段起不到调节作用。
[0007]而在光通讯领域中，光纤通讯常使用的波段范围覆盖有O、E、S、C、L、U等几个波段。具体的波段范围如下表。
[0008]波段波长范围O band1260
‑
1360nmE band1360
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1460nmS band1460
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1530nmC band1530
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1565nmL band1565
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1625nmU band1625
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1675nm
[0009]表1
[0010]在实际应用中就会出现Oband对应通道的透过，而Oband到Cband范围其他通道都需要截止的要求等。而由于采用常规的1/4光学厚度的高低折射率介质膜层设计方案，会导致截止宽度无法覆盖所有需要截止的波长范围，因此需要继续叠加截止膜，从而使得光谱曲线满足所有的需要截止的波长范围。
[0011]有鉴于此，实有必要开发一种非对称截止波长的带通滤光片，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0012]为了克服上述灰尘过滤方法所存在的问题，本技术所要解决的技术问题是提供一种非对称截止波长的带通滤光片，其解决了传统方法中带通滤光片通带两端，大致对
称，无法满足需要截止的波长范围的技术问题。
[0013]本技术为解决上述技术问题的一种非对称截止波长的带通滤光片，包括：
[0014]基片、在基片上形成的若干个法布里
‑
帕罗腔级联；
[0015]所述法布里
‑
帕罗腔的结构包括(HL)^m n(2H)(iLjH)^m；
[0016]其中，H为四分之一波长的高折射率材料、L为四分之一波长的低折射率材料；m≥1,n≥0,i≥0.2,i≤1.8,j≥0.2,j≤1.8,i+j＝2；通过调整i和j的值，实现通带两边的截止波长带宽的调整；
[0017](HL)^m和(iLjH)^m为反射镜；n(2H)为space层。
[0018]进一步地，所述高折射率材料为Ta2O5、Nb2O5、TiO2中的至少一种。
[0019]进一步地，所述低折射率材料为SiO2、Al2O3、MgF2中的至少一种。
[0020]进一步地，所述非对称截止波长的带通滤光片在1480nm
‑
1502nm的透过插损小于0.3dB。
[0021]进一步地，所述非对称截止波长的带通滤光片在1260
‑
1441nm及1539
‑
1630nm的截止插损大于40dB。
[0022]进一步地，所述非对称截止波长的带通滤光片在1442
‑
1450nm及1530
‑
1538nm的截止插损大于30dB。
[0023]进一步地，所述基片为二氧化硅材料成型或者硅材料成型。
[0024]进一步地，所述法布里
‑
帕罗腔之间的连接层采用低折射率膜层。
[0025]进一步地，i＝1.05，j＝0.95，
[0026]对应的所述法布里
‑
帕罗腔的结构按顺序依次包括：
[0027]HLHL2H(1.05L0.95H)^2
[0028]HLHLHL2H(1.05L0.95H)^2
[0029]HLHLHL2H(1.05L0.95H)^3
[0030]HLHLHL2H(1.05L0.95H)^3
[0031]HLHLHL2H(1.05L0.95H)^3
[0032]HLHL2H(1.05L0.95H)^2。
[0033]进一步地，i＝0.65，j＝1.35，对应的所述法布里
‑
帕罗腔的结构按顺序依次包括：
[0034]HLHLHL2H(0.65L1.35H)^3
[0035]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0036]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0037]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0038]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0039]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0040]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0041]HLHLHLHL2H(0.65L1.35H)^4
[0042]HLHLHL2H(0.65L1.35H)^3。
[0043]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术提供的一种非对称截止波长的带通滤光片，通过调整带通滤光片高低折射率的光学厚度比，从而调整在通带两边的截止波长范围，从而减少截止膜的需求，从而实现降低成本。且本技术
的非对称截止波长的带通滤光片结合了传统基于法布里
‑
帕罗腔级联设计的带通滤光片叠加长短波通的优点，使得该方案对比传统意义上的方式要膜层更薄，成本更低。
附图说明
[0044]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制，其中：
[0045]图1为现有技术中1310nm为特征波长的单个法布里
‑
帕罗腔((HL)^3 2H(LH)^3)的光谱曲线图；
[0046]图2为常规带通滤光片的光谱示意图；
[0047]图3为本技术实施例一的示意图；
[0048]图4为本技术实施例一的波长和插损的关系图；
[0049]图5为本技术实施例二的波长和插损的关系图。
[0050]附图标注：1、基底；2、高折射率层；3、低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非对称截止波长的带通滤光片，其特征在于，包括基片、在基片上形成的若干个法布里
‑
帕罗腔级联；所述法布里
‑
帕罗腔的结构包括(HL)^m n(2H)(iLjH)^m；其中，H为四分之一波长的高折射率材料、L为四分之一波长的低折射率材料；m≥1,n≥0,i≥0.2,i≤1.8,j≥0.2,j≤1.8,i+j＝2；通过调整i和j的值，实现通带两边的截止波长带宽的调整；(HL)^m和(iLjH)^m为反射镜；n(2H)为space层。2.如权利要求1所述的非对称截止波长的带通滤光片，其特征在于，所述非对称截止波长的带通滤光片在1480nm
‑
1502nm的透过插损小于0.3dB。3.如权利要求1所述的非对称截止波长的带通滤光片，其特征在于，所述非对称截止波长的带通滤光片在1260
‑
1441nm及1539
‑
1630nm的截止插损大于40dB。4.如权利要求1所述的非对称截止波长的带通滤光片，其特征在于，所述非对称截止波长的带通滤光片在1442
‑
1450nm及1530
‑
1538nm的截止插损大于30dB。5.如权利要求1所述的非对称截止波长的带通滤光片，其特征在于，所述基片为二氧化硅材...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昱，苏炎，陈居凯，
申请(专利权)人：苏州众为光电有限公司，
类型：新型
国别省市：