一种多光谱滤光器和图像采集装置制造方法及图纸

本申请提供一种多光谱滤光器和图像采集装置，涉及图像采集技术领域，包括：第一透光板以及依次设置于第一透光板上的第一反射层、法布里

【技术实现步骤摘要】
一种多光谱滤光器和图像采集装置


[0001]本申请涉及图像采集
，具体而言，涉及一种多光谱滤光器和图像采集装置。

技术介绍

[0002]随着科技的快速发展，拍摄装置的应用已经较为普遍，而为了使得拍摄装置实现多光谱拍摄，传统的方法是在CMOS或者CCD成像芯片之前集成一个带有多光谱滤光膜的玻璃片或者在成像芯片表面集成RGB光阻阵列实现红、绿、蓝三光谱照片的拍摄。
[0003]但是传统方法存在滤光膜难以集成于摄像模组，且拍摄效果较差的问题。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种多光谱滤光器和图像采集装置，以解决现有滤光膜难以集成于摄像模组，且拍摄效果较差的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：
[0006]本申请实施例的一方面，提供一种多光谱滤光器，包括：第一透光板以及依次设置于第一透光板上的第一反射层、法布里
‑
珀罗谐振腔、第二反射层和第二透光板，分别在第一透光板和第二透光板上设置有控制电极，用于调节法布里
‑
珀罗谐振腔的腔长。
[0007]可选的，第一反射层和/或第二反射层为分布式布拉格反射层。
[0008]可选的，法布里
‑
珀罗谐振腔的材质为聚二甲基硅氧烷。
[0009]可选的，控制电极包括分别设置于第一透光板和第二透光板上的透明导电层，透明导电层分别位于第一透光板和第二透光板靠近法布里
‑
珀罗谐振腔的一侧表面。
[0010]可选的，多光谱滤光器还包括贯穿于第一透光板和/或第二透光板上的通孔；控制电极还包括填充于通孔内且与对应透明导电层连接的导电硅。
[0011]可选的，多光谱滤光器还包括分别设置于第一透光板和第二透光板背离法布里
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珀罗谐振腔的一侧表面的背面电极，第一透光板上的背面电极与第一透光板上的控制电极连接，第二透光板上的背面电极与第二透光板上的控制电极连接。
[0012]可选的，导电硅的电阻率小于2mΩ
·
cm。
[0013]本申请实施例的另一方面，提供一种多光谱滤光器制备方法，方法包括：提供分别设置有控制电极的第一透光板和第二透光板；在形成有控制电极的第一透光板上形成第一反射层；在形成有控制电极的第二透光板上形成第二反射层；在第一反射层上涂布法布里
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珀罗谐振腔；将第二反射层键合于法布里
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珀罗谐振腔，以得到第一预制器件。
[0014]可选的，提供分别具有控制电极的第一透光板和第二透光板包括：提供第一硅基底和第二硅基底；通过刻蚀分别在第一硅基底和第二硅基底表面形成凹槽以及位于凹槽内的柱形导电硅；分别在第一硅基底和第二硅基底具有凹槽的一侧表面设置封闭凹槽的玻璃板；通过加热使得玻璃板分别热熔并填充于第一硅基底的凹槽和第二硅基底的凹槽内；分别对第一硅基底和第二硅基底进行双面减薄使得填充于凹槽内的玻璃板于凹槽的底部露
出、由玻璃板覆盖的柱形导电硅露出，以得到第一透光板和第二透光板；分别在第一透光板和第二透光板的一侧表面形成透明导电层，第一透光板上的透明导电层和第一透光板上的导电硅连接以作为第一透光板上的控制电极，第二透光板上的透明导电层和第二透光板上的导电硅连接以作为第二透光板上的控制电极。
[0015]可选的，在提供分别设置有控制电极的第一透光板和第二透光板之后，方法还包括：分别在第一透光板和第二透光板背离法布里
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珀罗谐振腔的一侧表面形成背面电极，其中，第一透光板上的背面电极与第一透光板上的控制电极连接，第二透光板上的背面电极与第二透光板上的控制电极连接。
[0016]本申请实施例的再一方面，提供一种图像采集装置，包括上述任一种的多光谱滤光器。
[0017]本申请的有益效果包括：
[0018]本申请提供了一种多光谱滤光器和图像采集装置，包括：第一透光板以及依次设置于第一透光板上的第一反射层、法布里
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珀罗谐振腔、第二反射层和第二透光板，分别在第一透光板和第二透光板上设置有控制电极，用于调节法布里
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珀罗谐振腔的腔长。通过两个控制电极改变电压，从而使得法布里
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珀罗谐振腔的腔长对应改变，继而实现多个波段的光学滤光特性，满足多光谱的滤光需求，同时，通过集成形成一体化的多光谱滤光器，便于多光谱滤光器通过电压和合理的器件设计能够直接与摄像头模组进行整合集成，形成一个模块化产品，降低成本，提升摄像头多光谱拍摄能力。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之一；
[0021]图2为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之二；
[0022]图3为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之三；
[0023]图4为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之四；
[0024]图5为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之五；
[0025]图6为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之六；
[0026]图7为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之七；
[0027]图8为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之八；
[0028]图9为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之九；
[0029]图10为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之十；
[0030]图11为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备状态示意图之十一；
[0031]图12为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的结构示意图；
[0032]图13为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器的制备流程示意图；
[0033]图14为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器施加不同电压时的示意图；
[0034]图15为本申请实施例提供的一种多光谱滤光器在不同电压下所对应的滤光特性
示意图；
[0035]图16为本申请实施例提供的一种图像采集装置的结构示意图。
[0036]图标：100
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第一硅基底；101
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凹槽；102
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导电硅；110
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掩膜；130
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玻璃板；131
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第一透光板；132
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第二透光板；140
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透明导电层；150
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第一反射层；160...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多光谱滤光器，其特征在于，包括：第一透光板以及依次设置于所述第一透光板上的第一反射层、法布里
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珀罗谐振腔、第二反射层和第二透光板，分别在所述第一透光板和所述第二透光板上设置有控制电极，用于调节所述法布里
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珀罗谐振腔的腔长。2.如权利要求1所述的多光谱滤光器，其特征在于，所述控制电极包括分别设置于所述第一透光板和所述第二透光板上的透明导电层，所述透明导电层分别位于所述第一透光板和所述第二透光板靠近所述法布里
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珀罗谐振腔的一侧表面。3.如权利要求2所述的多光谱滤光器，其特征在于，所述多光谱滤光器还包括贯穿于所述第一透光板和/或所述第二透光板上的通孔；所述控制电极还包括填充于所述通孔内且与对应所述透明导电层连接的导电硅。4.如权利要求3所述的多光谱滤光...

【专利技术属性】
技术研发人员：土克旭，张幸洁，金利剑，
申请(专利权)人：浙江水晶光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：