波长可变光学滤波器制造技术

一种波长可变光学滤波器，可靠性高。波长可变光学滤波器(11)具有第一基板(12)、第二基板(13)以及接合膜(14)，接合膜(14)通过与第一反射膜(15)和第二反射膜(21)接触而与第一基板(12)和第二基板(13)接合，接合膜(14)相对于规定的波长段的光具有透射性，贯穿第一反射膜(15)、接合膜(14)以及第二反射膜(21)的光路相对于规定波长段的光具有透射性，且相对于使用波长可变滤波器(11a)测量的波长的范围不具有透射率的峰值。透射率的峰值。透射率的峰值。

【技术实现步骤摘要】
波长可变光学滤波器


[0001]本专利技术涉及一种波长可变光学滤波器。

技术介绍

[0002]例如，在专利文献1中公开了一种波长可变滤波器，该波长可变滤波器具备：相向配置的一对基板、配置于一对基板的彼此相向的面的一对反射膜、以及接合一对基板的接合膜。波长可变滤波器能够选择性提取与一对反射膜之间的间隙对应的波长的光。
[0003]专利文献1：日本特开2019
‑
45599号公报
[0004]然而，在接合膜作为波长可变滤波器发挥作用的情况下，存在有可能来自接合膜的规定的波长的光变成杂散光而射入一对反射膜之间的缺陷，从而存在波长可变滤波器的可靠性下降的问题。

技术实现思路

[0005]波长可变光学滤波器具备：第一基板，具有第一滤波器区域和第一接合区域；第二基板，具有第二滤波器区域和第二接合区域；以及接合膜，位于所述第一基板的所述第一接合区域与所述第二基板的所述第二接合区域之间，所述第一滤波器区域和所述第二滤波器区域与波长可变滤波器对应，所述第一基板具有第一基体和至少一个第一反射膜，至少一个所述第一反射膜在所述第一滤波器区域内和所述第一接合区域内位于所述第一基体上，所述第二基板具有第二基体和至少一个第二反射膜，至少一个所述第二反射膜在所述第二滤波器区域内和所述第二接合区域内位于所述第二基体上，所述接合膜通过与所述第一反射膜和所述第二反射膜接触而与所述第一基板和所述第二基板接合，所述接合膜相对于规定的波长段的光具有透射性，贯穿所述第一反射膜、所述接合膜以及所述第二反射膜的光路相对于规定波长段的光具有透射性，且相对于使用所述波长可变滤波器测量的波长范围不具有透射率的峰值。
附图说明
[0006]图1是表示光学模块的结构的立体图。
[0007]图2是表示光学模块的结构的立体图。
[0008]图3是表示第一实施方式的波长可变光学滤波器的结构的剖视图。
[0009]图4是表示波长可变光学滤波器的一部分的结构的剖视图。
[0010]图5是表示接合部的结构的剖视图。
[0011]图6是表示接合部的波长与透射率之间的关系的图表。
[0012]图7是表示接合部的膜厚与透射光谱的峰值之间的关系的图表。
[0013]图8是表示接合部的光的透射状态的剖视图。
[0014]图9是表示第二实施方式的波长可变光学滤波器的结构的剖视图。
[0015]图10是表示变形例的波长可变光学滤波器的结构的剖视图。
[0016]附图标记说明
[0017]1…
光学模块；2
…
筐体；2a
…
第一孔；2b
…
第二孔；3
…
第一盖体；4
…
第一低熔点玻璃；5
…
第一端子；6
…
第二端子；7
…
第3端子；8
…
第二盖体；9
…
第二低熔点玻璃；10
…
内部空间；11
…
波长可变光学滤波器；11a
…
波长可变滤波器；12
…
第一基板；12a
…
第一基体；12a1
…
槽；12b
…
反射膜设置部；12c
…
电极膜设置槽；12d
…
第一接合部；13
…
第二基板；13a
…
第二基体；13b
…
槽；13c
…
可动部；14
…
接合膜；15、15a、15b
…
第一反射膜；21
…
第二反射膜；31a
…
固定电极；31b
…
可动电极；32a
…
第一电极；32b
…
第二电极；40
…
接合区域；40a
…
第一接合区域；40b
…
第二接合区域；41
…
滤波器区域；41a
…
第一滤波器区域；41b
…
第二滤波器区域；42
…
可动区域；51
…
对准基板；52
…
对准标记；53
…
金属膜；111、211
…
波长可变光学滤波器。
具体实施方式
[0018]对第一实施方式进行说明。
[0019]首先，参照图1以及图2，对具有波长可变光学滤波器11的光学模块1的结构进行说明。图1是从光学模块1的第一盖体3侧观察到的立体图。图2是从光学模块1的第二盖体8侧观察到的立体图。
[0020]如图1所示，光学模块1呈大致长方体的形状。此外，在图1中，将光学模块1的下方作为Z方向，将与Z方向正交的两个方向作为X方向以及Y方向。X方向、Y方向、Z方向是分别沿着光学模块1的边的方向，且正交的方向。
[0021]光学模块1具备有底方筒状的筐体2。在筐体2的中央形成有圆形的第一孔2a。在筐体2上配置有第一盖体3以封闭第一孔2a。筐体2与第一盖体3通过第一低熔点玻璃4而接合。在筐体2的X方向侧设置有第一端子5、第二端子6以及第3端子7。在筐体2的Z方向侧配置有第二盖体8。筐体2与第二盖体8通过第二低熔点玻璃9而接合。
[0022]第一盖体3以及第二盖体8通过具有光透射性的硅酸玻璃形成。筐体2的材质只要是线膨胀率与第一盖体3以及第二盖体8接近的材质即可，例如，陶瓷。
[0023]如图2所示，在筐体2的Z方向侧形成有四方形的第二孔2b。第二孔2b是比第一孔2a大的孔。在筐体2的Z方向侧配置有第二盖体8以封闭第二孔2b。由筐体2、第一盖体3以及第二盖体8围成的内部空间10为密闭的空间。在内部空间10配置有波长可变光学滤波器11。即，通过筐体2、第一盖体3以及第二盖体8形成收纳部，在收纳部的内部收纳有波长可变光学滤波器11。
[0024]光学模块1的尺寸例如Z方向的厚度为3mm左右，X方向的宽度为15mm左右，Y方向的宽度为15mm左右。第二盖体8的厚度为1mm左右。波长可变光学滤波器11的尺寸例如Z方向的厚度为0.7mm～1.5mm左右，X方向以及Y方向的宽度为11mm～12mm左右。
[0025]接下来，参照图3，对波长可变光学滤波器11的结构进行说明。
[0026]如图3所示，波长可变光学滤波器11具备：具有第一基体12a以及至少一个第一反射膜15的第一基板12；具有第二基体13a以及至少一个第二反射膜21的第二基板13；以及配置于第一基板12与第二基板13之间的接合膜14。
[0027]具体而言，波长可变光学滤波器11具有作为光学滤波器发挥作用的滤波器区域41、位于滤波器区域41周围的可动区域42、以及位于波长可变光学滤波器11的最外周的接
合区域40。
[0028]在位于第一基体12a本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波长可变光学滤波器，其特征在于，具备：第一基板，具有第一滤波器区域和第一接合区域；第二基板，具有第二滤波器区域和第二接合区域；以及接合膜，位于所述第一基板的所述第一接合区域与所述第二基板的所述第二接合区域之间，所述第一滤波器区域和所述第二滤波器区域与波长可变滤波器对应，所述第一基板具有第一基体和至少一个第一反射膜，至少一个所述第一反射膜在所述第一滤波器区域内和所述第一接合区域内位于所述第一基体上，所述第二基板具有第二基体和至少一个第二反射膜，至少一个所述第二反射膜在所述第二滤波器区域内和所述第二接合区域内位于所述第二基体上，所述接合膜通过与所述第一反射膜和所述第二反射膜接触而与所述第一基板和所述第二基板接合，所述接合膜相对于规定的波长段的光具有透射性，贯穿所述第一反射膜、所述接合膜以及所述第二反射膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：