分光单元和分光模块制造技术

本发明专利技术的分光单元具备：框体，其具有形成有开口的壁部；第1光圈部，其相对于壁部设置于法布里

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光单元和分光模块


[0001]本专利技术涉及分光单元和分光模块。

技术介绍

[0002]已知一种分光模块(例如，参照专利文献1)，其具备：光源，其出射向对象物照射的光；分光单元，其对由对象物反射的光或透过了对象物的光进行分光；和光检测器，其检测由分光单元分光后的光。根据这样的分光模块，例如，能够非破坏地分析对象物的成分。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
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145643号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在上述那样的分光模块中，存在对分光单元应用法布里
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珀罗干涉滤波器的情况。在该情况下，提高法布里
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珀罗干涉滤波器的分光精度，例如，在提高对象物的成分的分析精度方面极其重要。
[0008]本专利技术的目的在于提供一种能够提高法布里
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珀罗干涉滤波器的分光精度的分光单元和分光模块。
[0009]用于解决课题的方法
[0010]本专利技术的一个方面的分光单元具备：法布里
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珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1反射镜部和第2反射镜部；框体，其具有形成有在第1反射镜部和第2反射镜部的相对方向上与法布里
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珀罗干涉滤波器相向的开口的壁部，并且容纳法布里
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珀罗干涉滤波器；第1光圈部，其相对于壁部设置于法布里
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珀罗干涉滤波器的相反侧，形成有在相对方向上与开口相向的第1光圈；和第2光圈部，其相对于第1光圈部设置于壁部的相反侧，形成有在相对方向上与第1光圈相向的第2光圈，相对方向上的第2光圈的长度比相对方向上的第1光圈的长度大，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于开口的外缘和第2光圈的外缘各自的内侧，第1光圈包含：到达第1光圈部的壁部侧的第1表面且向第1表面扩大的第1锥形部分、和到达第1光圈部的第2光圈部侧的第2表面且向第2表面扩大的第2锥形部分的至少一者。
[0011]在该分光单元中，相对方向上的第2光圈的长度比相对方向上的第1光圈的长度大，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于开口的外缘和第2光圈的外缘各自的内侧。因此，通过了第2光圈、第1光圈和开口的光在其入射角度的范围变窄的状态下入射到法布里
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珀罗干涉滤波器。由此，能够使法布里
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珀罗干涉滤波器适当地发挥功能。另外，在该分光单元中，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于第2光圈的外缘的内侧，第1光圈包括第1锥形部分和第2锥形部分的至少一者。因此，能够抑制以较大的入射角度入射到第2光圈的光被第2光圈的内表面反射并且入射到框体内而成为杂散光。根据以上，根据
该分光单元，能够在由法布里
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珀罗干涉滤波器得到的分光光谱中使分辨率提高，能够使法布里
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珀罗干涉滤波器的分光精度提高。
[0012]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈包括第1锥形部分和第2锥形部分两者。或者，在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈仅包含第2锥形部分，第2锥形部分到达第1表面和第2表面两者。在这些中，即使以较大的入射角度入射到第2光圈的光在第2光圈的内表面反射并且在第2光圈内行进，该光也在第2锥形部分的内表面向与框体内为相反侧反射。因此，根据这些，能够更可靠地抑制以较大的入射角度入射到第2光圈的光在第2光圈的内表面反射并且入射到框体内而成为杂散光。
[0013]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，在从相对方向观察的情况下，第1光圈的外缘位于法布里
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珀罗干涉滤波器的光透过区域的外缘的内侧。由此，能够使通过了第2光圈和第1光圈的光中的透过法布里
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珀罗干涉滤波器的光透过区域的光的比例增加。
[0014]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，在从相对方向观察的情况下，开口的外缘位于第2光圈的外缘的外侧。由此，通过第1光圈和第2光圈，能够适当地规定应入射到框体内的光的入射角度的范围。
[0015]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈是通过蚀刻而形成的开口。在该情况下，与第1光圈例如是通过机械加工而形成的开口的情况相比，具有高精度的形状。因此，据此，能够使第1光圈适当地发挥功能。
[0016]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈部是与壁部分体地形成的第1光圈构件，设置于壁部的表面。由此，能够提高适当的材料的选择等、第1光圈部的设计的自由度。另外，通过在框体形成大的光入射开口，能够缓和框体内的法布里
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珀罗干涉滤波器的位置精度，并且调整第1光圈与法布里
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珀罗干涉滤波器的位置关系。而且，即使在第1光圈部与第2光圈部之间形成有间隙，也能够抑制光经由该间隙入射到框体内而成为杂散光。
[0017]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈部固定于壁部。由此，能够防止因振动等而第1光圈与法布里
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珀罗干涉滤波器的位置关系产生偏移。
[0018]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第2光圈部是与第1光圈部分体地形成的第2光圈构件。由此，能够提高适当的材料的选择等、第2光圈部和第1光圈部的设计的自由度。另外，通过在框体形成大的光入射开口，能够缓和框体内的法布里
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珀罗干涉滤波器的位置精度，并且调整第2光圈与法布里
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珀罗干涉滤波器的位置关系。另外，能够调整第2光圈与第1光圈的位置关系。
[0019]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，与相对方向垂直的方向上的第1光圈的截面形状呈圆形形状，与相对方向垂直的方向上的第2光圈的截面形状呈圆形形状。由此，能够容易地形成具有期望性能的光圈。
[0020]在本专利技术的一个方面的分光单元中，也可以是，第1光圈内的区域为空间，第2光圈内的区域为空间。由此，能够防止因通过第1光圈和第2光圈而引起的光的损失。
[0021]本专利技术的一个方面的分光单元也可以是，还具备：光检测器，其配置于框体内，对透过了法布里
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珀罗干涉滤波器的光进行检测。由此，能够抑制由杂散光引起的噪声的产生，并且高精度地检测分光后的光。另外，由于光检测器配置于框体内，所以能够实现具备光检测器的分光单元的小型化。
[0022]本专利技术的一个方面的分光单元也可以是，还具备：带通滤波器，其配置于第1光圈与法布里
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珀罗干涉滤波器之间，第1光圈部和第2光圈部以通过了第1光圈和第2光圈的光全部入射到带通滤波器的方式构成。由此，通过了第2光圈、第1光圈和开口的光全部以其入射角度的范围变窄的状态入射到带通滤波器。由此，带通滤波器适当地发挥功能，所期望的波长范围的光以其入射角度的范围变窄的状态入射到法布里
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珀罗干涉滤波器。因此，在由法布里本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光单元，其中，具备：法布里
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珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1反射镜部和第2反射镜部；框体，其具有形成有在所述第1反射镜部和所述第2反射镜部的相对方向上与所述法布里
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珀罗干涉滤波器相向的开口的壁部，并且容纳所述法布里
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珀罗干涉滤波器；第1光圈部，其相对于所述壁部设置于所述法布里
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珀罗干涉滤波器的相反侧，形成有在所述相对方向上与所述开口相向的第1光圈；和第2光圈部，其相对于所述第1光圈部设置于所述壁部的相反侧，形成有在所述相对方向上与所述第1光圈相向的第2光圈，所述相对方向上的所述第2光圈的长度比所述相对方向上的所述第1光圈的长度大，在从所述相对方向观察的情况下，所述第1光圈的外缘位于所述开口的外缘和所述第2光圈的外缘各自的内侧，所述第1光圈包含：到达所述第1光圈部的所述壁部侧的第1表面且向所述第1表面扩大的第1锥形部分、和到达所述第1光圈部的所述第2光圈部侧的第2表面且向所述第2表面扩大的第2锥形部分的至少一者。2.根据权利要求1所述的分光单元，其中，所述第1光圈包括所述第1锥形部分和所述第2锥形部分两者。3.根据权利要求1所述的分光单元，其中，所述第1光圈仅包含所述第2锥形部分，所述第2锥形部分到达所述第1表面和所述第2表面两者。4.根据权利要求1～3中任一项所述的分光单元，其中，在从所述相对方向观察的情况下，所述第1光圈的所述外缘位于所述法布里
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珀罗干涉滤波器的光透过区域的外缘的内侧。5.根据权利要求1～4中任一项所述的分光单元，其中，在从所述相对方向观察的情况下，所述开口的所述外缘位于所述第2光圈的所述外缘的外侧。6.根据权利要求1～5中任一项所述的分光单元，其中，所述第1光圈是通过蚀刻而形成的开...

【专利技术属性】
技术研发人员：田畑桂，藏本有未，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：