一种带通滤光片制造技术

技术编号:33956799 阅读:13 留言:0更新日期:2022-06-29 23:42
本实用新型专利技术公开一种带通滤光片,包括基底和设置在基底一侧的带通膜系,所述带通膜系包括设置于两侧的低折射率膜层和设置于两侧低折射率膜层之间的若干层高折射率膜层与低折射率膜层。本实用新型专利技术将低折射率膜层设置于带通膜系的最外侧,更有利于提高镀膜稳定性和产品耐候性。品耐候性。品耐候性。

【技术实现步骤摘要】
一种带通滤光片


[0001]本技术涉及光学
,具体涉及一种带通滤光片。

技术介绍

[0002]光谱特性曲线的透射带两侧为截止区的滤光片称为带通滤光片。带通滤光片是一类重要的光学薄膜元件,它在化学、光谱学、激光、天文物理、光纤通信、生物学等领域得到了广泛应用。
[0003]现有的带通滤光片将高折射率膜层设置于最外侧,其稳定性和产品耐候性较差。

技术实现思路

[0004]为解决以上技术问题,本技术提供了一种带通滤光片,将低折射率膜层设置于带通膜系的最外侧,更有利于提高镀膜稳定性和产品耐候性。
[0005]本技术采用以下技术方案:
[0006]一种带通滤光片,包括基底和设置在基底一侧的带通膜系,所述带通膜系包括设置于两侧的低折射率膜层和设置于两侧低折射率膜层之间的若干层高折射率膜层与低折射率膜层。
[0007]作为优选,所述带通膜系的膜系结构为(0.5LH0.5L)^
n
,其中,n为整数,H为高折射率膜层,L为低折射率膜层。
[0008]作为优选,所述n为1

20中任一整数。
[0009]作为优选,所述n为12。
[0010]作为优选,1个H或1个L对应的基本厚度代表该膜层在参考波长处具有1/4光学厚度。
[0011]作为优选,所述带通膜系的过渡带中心波长为400nm。
[0012]作为优选,所述低折射率膜层为二氧化硅膜层,所述高折射率膜层为五氧化二铌膜层。
[0013]与现有技术相比,本技术具有以下优点:
[0014]1、本技术提供了一种带通滤光片,将低折射率膜层设置于带通膜系的外侧,更有利于提高镀膜稳定性和产品耐候性。
[0015]2、同时,本技术采用了五氧化二铌镀膜工艺,磁控溅射五氧化二铌和二氧化硅材料结合不易脱模,方便生产制作。
附图说明
[0016]图1为带通滤光片的截面示意图。
[0017]图2为带通膜系的基本膜堆的截面示意图。
[0018]图3为带通膜系的截面示意图。
[0019]图4为带通膜系的透射光谱图。
[0020]图中,基底1、低折射率膜层2、高折射率膜层3。
具体实施方式
[0021]为了便于理解本技术技术方案,以下结合附图与具体实施例进行详细说明。
[0022]实施例1
[0023]如图1

4所示,一种带通滤光片,包括基底1和设置在基底一侧的带通膜系,所述带通膜系包括设置于两侧的低折射率膜层2和设置于两侧低折射率膜层2之间的若干层高折射率膜层3与低折射率膜层2。
[0024]本技术提供了一种带通滤光片,将低折射率膜层2设置于带通膜系的最外侧,更有利于提高镀膜稳定性和产品耐候性。
[0025]所述带通膜系的膜系结构为(0.5LH0.5L)^
n
,其中,n为整数,H为高折射率膜层3,L为低折射率膜层2。其中,0.5LH0.5L为带通膜系的基本膜堆,n为为基本膜堆0.5LH0.5L的周期数,0.5L代表0.5个基本厚度的低折射率膜层,H代表1个基本厚度的高折射率膜层。
[0026]其中,1个H或1个L对应的基本厚度代表该膜层在参考波长处具有1/4光学厚度,所述带通膜系的过渡带中心波长为400nm。
[0027]所述n为1

20中任一整数,即可以选择由1组基本膜堆至20组基本膜堆组成带通膜系进行使用。
[0028]作为一种优选的实施方式,可以选用12组基本膜堆组成带通膜系进行使用。
[0029]作为一种优选的实施方式,所述低折射率膜层2为二氧化硅膜层,所述高折射率膜层3为五氧化二铌膜层。五氧化二铌除了具有可见光高透过率,适合大尺寸玻璃板材等磁控溅射镀膜,生产的带通滤光片会更均匀,并且磁控溅射五氧化二铌和二氧化硅材料结合不易脱模,方便生产制作。
[0030]本技术的带通膜系通过磁控溅射方法镀膜完成,采用磁控溅射工艺,产品的尺寸的不受限制,工序流程简单。
[0031]以上仅是本技术的优选实施方式,本技术的保护范围以权利要求所限定的范围为准,本领域技术人员在不脱离本技术的精神和范围内做出的若干改进和润饰,也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带通滤光片,包括基底(1)和设置在基底一侧的带通膜系,其特征在于,所述带通膜系包括设置于两侧的低折射率膜层(2)和设置于两侧低折射率膜层(2)之间的若干层高折射率膜层(3)与低折射率膜层(2)。2.根据权利要求1所述的一种带通滤光片,其特征在于,所述带通膜系的膜系结构为(0.5LH0.5L)
^n
,其中,n为整数,H为高折射率膜层(3),L为低折射率膜层(2)。3.根据权利要求2所述的一种带通滤光片,其特征在于,所述n为1

【专利技术属性】
技术研发人员:程爱华管银红
申请(专利权)人:杭州凛诚生物科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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