太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供了太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟，包括用于固定多个石英柱的固定架，所述固定架包含位于多个所述石英柱两端的矩形座，多个所述石英柱均用于放置硅晶片且多个所述石英柱呈菱形布置，所述固定架上还设有用于放置所述硅晶片时减小冲击强度的缓冲组件，以及对多个所述石英柱进行固定的限位组件。相较于现有技术，本实用新型专利技术具有在硅晶片放置到石英舟上时对硅晶片起到柔性保护，避免硬性碰撞造成硅晶片损坏等优点。硬性碰撞造成硅晶片损坏等优点。硬性碰撞造成硅晶片损坏等优点。

Rhombic insert quartz boat for silicon wafer diffusion of solar cells

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟


[0001]本技术涉及石英舟领域，尤其涉及太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟。

技术介绍

[0002]石英舟是一种在扩散炉中用来装载硅太阳能电池片或称硅片的夹具，其外形需要与扩散设备、硅片、自动化设备相适应。由于硅片厚度正常处于200
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170um 范围，较薄，因此要保证硅片在装载过程及后续的高温扩散和氧化过程中保持完整，不受损坏。同时，随着硅太阳能电池片生产线对自动化和品质要求的提高，要求石英舟能满足扩散品质与自动化。
[0003]现有技术中，公开号为CN205845987U的中国专利文献中提出了一种自动插取石英舟，实现便于硅片的插取不易撞伤硅片，但是该类石英舟实际应用时，并未考虑到机械手抓取硅晶片放置在石英舟上，与石英舟的硬性接触问题，进而由于惯性影响，容易在放置硅晶片时对硅晶片的边缘造成损坏，此外，常规形状的石英舟的容纳量较小，进而影响硅晶片的插片效率，因此，本申请公开了太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟来满足硅晶片的插片需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟，其特征在于，包括用于固定多个石英柱（2）的固定架，所述固定架包含位于多个所述石英柱（2）两端的矩形座（1），多个所述石英柱（2）均用于放置硅晶片且多个所述石英柱（2）呈菱形布置，所述固定架上还设有用于放置所述硅晶片时减小冲击强度的缓冲组件，以及对多个所述石英柱（2）进行固定的限位组件。2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟，其特征在于，两个所述矩形座（1）内均开设有位置相对应的导向滑槽（5），两侧的所述导向滑槽（5）内均滑动套设有菱形框（3），两个所述菱形框（3）上均开设有多个分别于对应的所述石英柱（2）位置相对应的穿孔（4），多个所述石英柱（2）的一端分别套设在对应的所述穿孔（4）内。3.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片扩散用菱型插片石英舟，其特征在于，所述缓冲组件包含与所述菱形框（3）两侧固定连接的多个缓冲弹簧（7），两个所述导向滑槽（5）的侧壁上还均设有移动座（6），同一相对位置上的多个所述缓冲弹簧（7）的另一端固定连接在对应的所述移动座（6）上。4.根据权利要求3所述的太阳能电池硅片扩散用菱型...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛文彬，刘克勇，
申请(专利权)人：浙江奥博石英科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：