用于高动态范围样品分析的带电粒子显微镜系统和聚类过程技术方案

用于使用聚类过程进行高动态范围（HDR）带电粒子分析的方法和系统包含访问样品的某一区域的多个图像数据实例，其中每个图像数据实例是通过带电粒子显微镜用不同参数捕获的。参数差异可以包含对比度差异、亮度差异、束强度差异、束类型差异、γ差异和/或其组合中的一种或多种。然后，使用所捕获图像数据生成HDR带电粒子显微术数据结构，并且基于所述HDR带电粒子显微术数据结构识别所述样品的一个或多个特征。在根据本发明专利技术的一些方法中，所述方法进一步包含基于所确定的一个或多个所识别特征对所述样品执行EDS分析。对所述样品执行EDS分析。对所述样品执行EDS分析。

【技术实现步骤摘要】
用于高动态范围样品分析的带电粒子显微镜系统和聚类过程

技术介绍

[0001]在带电粒子成像中，用带电粒子束（例如，电子束）照射样品的区域，并且基于样品由于照射而生成的发射来生成所述区域的图像。例如，在电子成像中，用电子束照射样品的区域，基于样品响应于这种照射而发射的发射物（例如，背散射电子）生成成像数据，并且成像数据用于生成样品区域的图像。由于不同的元素/分子生成不同的特征发射，带电粒子显微镜系统能够通过跨样品的表面扫描带电粒子束并且基于从样品的对应部分发射的发射物向图像的每个像素分配像素值来生成样品区域的图像。
[0002]然而，尽管具有非常不同的化学成分，当前的带电粒子成像难以区分元素/分子，但仍会生成非常类似的发射。例如，尽管石英（SiO2）和钠长石（NaAlSi3O8）具有显著不同的化学成分，但其平均原子序数几乎相等。因此，由于元素/分子/材料发射的背向散射电子的数量与元素/分子的原子序数直接相关，因此在电子背向散射成像中，很难将石英沉积物与样品与钠长石沉积物区分开来。这种困难导致自动分割算法和/或非专业人工操作员将钠长石和石英的相邻沉积物识别为单个沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于使用聚类过程执行HDR带电粒子分析的方法，所述方法包括：访问样品的某一区域的第一图像的第一图像数据，所述第一图像数据已通过带电粒子显微镜获得，并且所述第一图像数据已用第一参数配置获得；访问所述样品的所述区域的第二图像的第二图像数据，所述第二图像数据已通过所述带电粒子显微镜系统获得，并且所述第二数据已用不同于所述第一参数配置的第二参数配置获得；使用所述第一图像数据和所述第二图像数据生成HDR带电粒子显微术数据结构；以及基于所述HDR带电粒子显微术数据结构识别所述样品的一个或多个特征。2.根据权利要求1所述的方法，其中构造所述HDR带电粒子显微术数据结构包括：将所述第一图像数据转换为第一带电粒子图像；将所述第二数据转换为第二带电粒子图像；以及将HDR算法应用于所述第一图像和所述第二图像以生成HDR带电粒子图像。3.根据权利要求1所述的方法，其中构造所述HDR带电粒子显微术数据结构包括生成多维数据结构，其中来自每个图像的单独值与对应像素位置相关联地存储在所述多维数据结构中。4.根据权利要求3所述的方法，其中识别所述样品的所述一个或多个特征包括将分割算法应用于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：