一种晶棒数控一体式滚圆机制造技术

本申请涉及晶圆片加工技术领域，一种晶棒数控一体式滚圆机，包括工作台、头架、尾架和砂轮机构，头架和尾架安装在工作台的顶面，砂轮机构安装在工作台的背板上，且工作台上滑动安装有防护罩；头架内安装减速电机，其中减速电机的输出轴上套装有晶棒主动固定架，尾架上安装有对应的液压伸缩杆，且液压伸缩杆远离尾架的一端设有与头架对应的晶棒从动固定架；头架和尾架的底面上开设有安装槽，其中安装槽内安装有驱动轮和控制电箱。本申请降低了晶棒加工过程的污染以及提高了其安全性能。过程的污染以及提高了其安全性能。过程的污染以及提高了其安全性能。

A numerical control integrated rounding machine for crystal bar

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒数控一体式滚圆机


[0001]本申请涉及晶圆片加工
，尤其是涉及一种晶棒数控一体式滚圆机。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，为了迎合太阳能光伏行业的发展，满足市场对单晶硅、半导体、蓝宝石及石英等圆棒的滚圆、磨面(刻槽)加工需求，而加工使用的设备是辊圆机。
[0003]中国专利CN202367571U本技术包括一种晶棒滚圆机包括电气柜、电机、减速电机、蓝宝石晶体、机床床身、晶体固定板、尾架、金刚砂带装置，其特征是：在机床床身上设有电气柜、电机、减速电机、尾架、金刚砂带装置，电机与减速电机相连，蓝宝石晶体为双顶尖结构固定在晶体固定板上，蓝宝石晶体的一端通过固定板与尾架连接，蓝宝石晶体的另一端通过固定板与减速电机上的输出轴连接；在蓝宝石晶体的右侧设有金刚砂带装置；金刚砂带装置与电机相连；所述的金刚砂带装置包括小带轮、金刚砂带、大带轮；电机通过皮带轮与小带轮连接，小带轮与大带轮通过金刚砂带连接。其优点是：不仅使蓝宝石的加工表面超光滑，损伤低，而且使蓝宝石表面加工精度和表面完整性较高，稳定性强，磨损面积小，同时材料去除率也得到了提高。
[0004]而传统的滚圆机在使用时会存在一定的弊端，传统的滚圆机在进行滚面、磨面的过程中会产生杂质并且在启停的过程中容易出现颗粒物迸溅的情况，容易造成工作环境的污染以及危及操作人员的生命安全。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术中存在的问题，本申请提供一种晶棒数控一体式滚圆机。
[0006]本申请提供的一种晶棒数控一体式滚圆机采用如下的技术方案：
[0007]一种晶棒数控一体式滚圆机，包括工作台、头架、尾架和砂轮机构，头架和尾架安装在工作台的顶面，砂轮机构安装在工作台的背板上，且工作台上滑动安装有防护罩；头架内安装减速电机，其中减速电机的输出轴上套装有晶棒主动固定架，尾架上安装有对应的液压伸缩杆，且液压伸缩杆远离尾架的一端设有与头架对应的晶棒从动固定架；头架和尾架的底面上开设有安装槽，其中安装槽内安装有驱动轮和控制电箱。
[0008]通过采用上述技术方案，工作台上的头架和尾架对需要进行加工的晶棒的两端进行夹持，并将夹持的晶棒通过砂轮机构进行打磨，并且在工作台上滑动安装了防护罩，能够防止打磨过程中的颗粒迸溅弹出，并且滑动安装的设计，不会影响晶棒的上下料。其中头架中内置的减速电机驱动晶棒进行转动，尾架上通过液压伸缩杆推动晶棒从动固定架与晶棒贴合。砂轮机构固定在工作台上的背板上，通过头架和尾架底部的控制电箱控制底部安装槽内的驱动轮进行同步转动，实现头架和尾架夹持了晶棒在工作台上进行移动，从而配合砂轮机构对晶棒的环形面的打磨。
[0009]优选的，工作台顶部安装有滑轨，滑轨与头架和尾架底面滑动连接，且头架和尾架的底面还设有升降锁紧机构，升降锁紧机构包括升降杆和安装在升降杆底部的耐磨圆板。
[0010]通过采用上述技术方案，工作台上安装的滑轨用于头架和尾架在工作台顶部进行滑动，底部设有的升降锁紧机构通过升降杆升降，实现升降杆底部的耐磨圆板与顶部的接触和分离，实现对头架和尾架的固定。
[0011]优选的，防护罩分别与工作台远离背板的一侧边及背板的顶面连接，且防护罩的前端设置有透明观察窗。
[0012]通过采用上述技术方案，防护罩连接在背板顶部和工作台的外侧，能够将工作台上的头架、尾架和晶棒均能够包含在内，并且防护罩的前端的透明观察窗能够在用于观察晶棒打磨的过程，方便人工监测。
[0013]优选的，砂轮机构的顶部安装有喷淋机构，喷淋机构包括水箱和万向喷淋管，且水箱的底部通过水泵连接万向喷淋管。
[0014]通过采用上述技术方案，砂轮机构顶部安装的喷淋机构在打磨的过程中对晶打磨处进行喷淋，避免局部温度过高，喷淋机构中的水箱为喷淋提供水源，可以选择水箱外界进水口或者定期添加的方式补充水源。
[0015]优选的，减速电机的输出轴和晶棒主动固定架连接处设置有保护罩，保护罩采用圆槽结构，其中保护罩的开口朝向减速电机的方向。
[0016]通过采用上述技术方案，保护罩采用开口朝向减速电机的一侧设计，能够对减速电机的输出轴进行保护，避免晶棒上产生的碎屑随输出轴的转动进入到减速电机中，降低了减速电机损坏的风险。
[0017]优选的，晶棒主动固定架和晶棒从动固定架的切面均为“T”字型结构，且晶棒主动固定架和晶棒从动固定架的相对面上均设置有防滑耐磨层。
[0018]通过采用上述技术方案，晶棒主动固定架个晶棒从动固定架采用“T”型结构的设计，能够通过端部面积较大的结构于晶棒进行结构，增加接触面积，提高其固定稳定程度。并且在相对面上设置防滑耐磨层，进一步提高了其夹持稳定性。
[0019]优选的，晶棒主动固定架与减速电机的输出轴固定连接，晶棒从动固定架与尾架上的液压伸缩杆通过轴承转动连接。
[0020]通过采用上述技术方案，晶棒主动固定架随着减速电机的输出轴的转动而转动，晶棒从动固定架随着晶棒主动固定架的转动而转动，并且晶棒从动固定架能够与液压伸缩杆通过轴承转动连接，实现了夹持晶棒进行转动的操作。
[0021]优选的，砂轮机构的底部开设有废料出口，废料出中安装有残渣过滤网。
[0022]通过采用上述技术方案，砂轮机构的底部设置的废料出口能够用于收集打磨下来的碎屑，碎屑通过喷淋机构的水进入到废料出口中，并通过残渣过滤网将碎屑过滤收集。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.喷淋机构将砂轮机构打磨下来的晶棒碎屑进行润湿，有效的避免了打磨过程中的扬尘，降低了对工作环境的污染；
[0025]2.头架和尾架底部的控制电箱控制底部安装槽内的驱动轮进行同步转动，让头架和尾架夹持了晶棒在工作台上进行移动，实现了砂轮机构的定点打磨；
[0026]3.防护罩连接在背板顶部和工作台的外侧，能够将工作台上的头架、尾架和晶棒均能够包含在内，避免打磨过程中颗粒物迸溅造成危及操作人员的生命安全，滑动连接的设计还能够方便晶棒的安放和取出。
附图说明
[0027]图1是一种晶棒数控一体式滚圆机的整体结构示意图；
[0028]图2是一种晶棒数控一体式滚圆机中头架和尾架底部结构示意图。
[0029]附图标记说明：1、工作台；11、背板；12、防护罩；121、透明观察窗；13、滑轨；2、头架；21、减速电机；211、输出轴；212、晶棒主动固定架；213、保护罩；3、尾架；31、液压伸缩杆；311、晶棒从动固定架；4、砂轮机构；41、喷淋机构；411、水箱；412、水泵；413、万向喷淋管；414、废料出口；415、残渣过滤网；5、安装槽；51、驱动轮；52、控制电箱；6、升降锁紧机构；61、升降杆；62、耐磨圆板；7、防滑耐磨层。
具体实施方式
[0030]以下结合附图1
‑
2对本申请作进一步详细说明。
[0031]本申请实施例公开一种晶棒数控一体式滚圆机。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒数控一体式滚圆机，包括工作台(1)、头架(2)、尾架(3)和砂轮机构(4)，其特征在于：所述头架(2)和尾架(3)安装在工作台(1)的顶面，所述砂轮机构(4)安装在工作台(1)的背板(11)上，且工作台(1)上滑动安装有防护罩(12)；所述头架(2)内安装减速电机(21)，其中减速电机(21)的输出轴(211)上套装有晶棒主动固定架(212)，所述尾架(3)上安装有对应的液压伸缩杆(31)，且液压伸缩杆(31)远离尾架(3)的一端设有与头架(2)对应的晶棒从动固定架(311)；所述头架(2)和尾架(3)的底面上开设有安装槽(5)，其中安装槽(5)内安装有驱动轮(51)和控制电箱(52)。2.根据权利要求1所述的一种晶棒数控一体式滚圆机，其特征在于：所述工作台(1)顶部安装有滑轨(13)，所述滑轨(13)与头架(2)和尾架(3)底面滑动连接，且头架(2)和尾架(3)的底面还设有升降锁紧机构(6)，所述升降锁紧机构(6)包括升降杆(61)和安装在升降杆(61)底部的耐磨圆板(62)。3.根据权利要求2所述的一种晶棒数控一体式滚圆机，其特征在于：所述防护罩(12)分别与工作台(1)远离背板(11)的一侧边及背板(11)的顶面连接，且防护罩(12)的前端设置有透明观察窗(121)。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洁，奚衍罡，张宇，杨青，
申请(专利权)人：南通罡丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：