基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，包括如下步骤：S1、对甲醇进行加热、加压处理，得到温度在220℃～270℃之间、压力在0.6～2.0Mpa之间的甲醇气体；S2、将加热和加压后的甲醇气体通入含有固体催化剂的裂解器中，在固体催化剂的作用下进行甲醇的裂解反应，得到包括CO2、CO和H2的第一混合气；S3、将第一混合气和普氮通入除氧器，脱除普氮中的氧气，得到第二混合气，除氧器内的温度为650℃～700℃之间；S4、将第二混合气进行气体分离，得到氧含量小于等于0.0005％的氮气。本发明专利技术提供的基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，相比于单独采用H2与普氮中的氧气反应而言，能够避免提供氢气的不便和大大提高了生产的安全性。免提供氢气的不便和大大提高了生产的安全性。免提供氢气的不便和大大提高了生产的安全性。

【技术实现步骤摘要】
基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法和装置


[0001]本申请属于制氮
，具体而言，涉及一种基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法和装置。

技术介绍

[0002]采用传统制氮系统制得的产品氮气，其纯度约为99.5％，称之为“普氮”，普氮中含有约为0.5％的氧，但是在电子工业部门，尤其在半导体器件和集成电路的制造过程中，需要大量高纯度氮气(纯度约为99.999％)作为保护气、稀释气和运载气等，氮气作为制造大规模集成电路的基础材料，其纯度直接影响到电子产品的合格率和可靠性，因此需要将普氮净化提纯为高纯氮。
[0003]而现有的普氮提纯的方法一般包括两种，第一种是配氢法，例如电解水制氢、天然气制氢等，以氢气为脱氧剂，脱除氮气里的杂质氧气，第二种是催化剂法，也即在碳载型催化剂的作用下，使氮气中的杂质氧气与催化剂提供的碳发生反应，从而脱除氮气中含有的杂质氧气。但是这两种方法虽然能够除去氮气中的氧气，但是第一种配氢法需要提供氢气源，且存在一定的安全问题，第二种催化剂法需要消耗碳载型催化剂本身，因此必须定期更换催化剂，应用起来也很不方便。
专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、对甲醇进行加热、加压处理，得到温度在220℃～270℃之间、压力在0.6Mpa～2.0Mpa之间的甲醇气体；步骤S2、将加热和加压后的所述甲醇气体通入含有固体催化剂的裂解器中，在所述固体催化剂的作用下进行甲醇的裂解反应，得到包括CO2、CO和H2的第一混合气；步骤S3、将所述第一混合气和普氮通入除氧器，脱除普氮中的氧气，得到第二混合气，所述除氧器内的温度为650℃～700℃之间；步骤S4、将所述第二混合气进行气体分离，得到氧含量小于等于0.0005％的氮气。2.根据权利要求1所述的基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，其特征在于，在所述步骤S2之前还包括：向所述裂解器中通入保护气体3min～10min，以排出所述裂解器中的空气。3.根据权利要求1所述的基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，其特征在于，在所述步骤S2中所述固体催化剂包括：氧化铜、氧化锌和氧化铬。4.根据权利要求1所述的基于甲醇裂解反应的普氮除氧提纯方法，其特征在于，所述步骤S4包括：将所述第二混合气通入含有氧化铜的反应器中，对所述氧化铜进行加热，除去所述第二混合气中的一氧化碳和氢气，得到第三混合气体；依次对所述第三混合气体进行碱洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓刚，李玉柱，马力，
申请(专利权)人：江苏中科聚元氢能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：