一种过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。本实用新型专利技术提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。止研磨积水漫出。止研磨积水漫出。

A filtering device

【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种过滤装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，在使用到机械化学研磨将晶圆平坦化时需要使用大量的水，并需要及时将研磨产生的废水排干净，因为研磨区域同时使用的研磨液，对于某些研磨液易结晶以及沉淀，通过简单打孔设置滤网不足以把结块的研磨液排走，结块的研磨液导致排水口堵塞，甚至排液管内产生结晶堵塞排液管，每次堵塞会导致水不能及时排出，由此容易导致两方面的问题：一是机台内部液位上升，水会泄漏出机台外面；二是排液管内部水流下降，导致管道内部形成结晶，进一步堵塞排液管。
[0003]因此，如何提供一种过滤装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种过滤装置，以解决现有技术存在的废液内的结晶堵塞排水口，从而导致机台液位上升废液泄漏出机台，以及排液管内部形成结晶进一步堵塞排液管的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；
[0006]其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；
[0007]所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；
[0008]所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；
[0009]所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。
[0010]可选的，所述保护壳的侧面为一环面，所述进液口设置在所述保护壳的顶部。
[0011]可选的，所述储存盒为一环形槽，所述环形槽的内环口为所述出液口，所述保护壳的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同。
[0012]可选的，所述储存盒与所述保护壳间可拆卸连接。
[0013]可选的，所述固体粉碎组件包括：能够绕所述固定轴承转动的气动叶轮；
[0014]所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，包括：
[0015]所述气动叶轮周向分布在所述固定轴承的外围，且所述气动叶轮呈放射状沿所述固定轴承至所述保护壳的侧面方向设置。
[0016]可选的，所述固定轴承上设置有通气孔，利用所述通气孔接入气源从而带动所述气动叶轮转动。
[0017]可选的，所述过滤结构为空心柱体，所述柱体的顶部为开口，所述柱体的底部设置有数个排液孔，所述柱面上周向的设置有数个固体出口，所述气动叶轮设置在所述空心柱体内。
[0018]可选的，所述固定装置包括固定轴套和沿所述固定轴套的周向设置的数个固定支脚；
[0019]所述固定轴套具有一上下贯通的固定孔，所述固定轴套通过所述固定孔套设在所述固定轴承的顶部；
[0020]每个所述固定支脚的一端连接所述固定轴套，每个所述固定支脚的另一端连接所述保护壳。
[0021]可选的，所述保护壳上设置有与所述固定支脚对应的连接孔，所述固定支脚通过所述连接孔与所述保护壳连接。
[0022]可选的，所述固定装置位于所述保护壳上方，所述固定支脚为L型，所述固定支脚的一端横向连接所述固定轴套外侧，所述固定支脚的另一端竖直插入所述连接孔内。
[0023]与现有技术相比，本技术提供的一种过滤装置具有以下有益效果：
[0024]本技术提供的一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。本技术通过将所述过滤装置设置在排液口和排液管之间，当废液从所述过滤装置流入排液管时，所述固体粉碎组件能够将流经的废液中的固体粉碎，粉碎后的固体碎屑将从所述过滤结构排出并落入到所述储存盒内。即使有小部分的固体碎屑跟随废液流入排液管，被粉碎后的固体碎屑也不会在所述排液管内形成大块固体再次堵塞排液管。由此，本技术提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。
附图说明
[0025]图1为本技术一实施例提供的过滤装置的侧视图；
[0026]图2为本技术一实施例提供的过滤装置的俯视图；
[0027]图3为本技术一实施例提供的过滤装置的仰视图；
[0028]其中，100
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固定装置，101
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固定支脚，102
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固定轴套，200
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固定轴承，300
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保护壳，301
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进液口，400
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固体粉碎组件，500
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储存盒，501
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出液口。
具体实施方式
[0029]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用
新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0030]在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
[0031]实施例一
[0032]本实施例提供了一种过滤装置，具体地，请参见附图1
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附图3，图1
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图3分别为本技术提供的过滤装置的侧视图、俯视图以及仰视图，结合图1
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图3可以明显看出，本技术提供的过滤装置包括：储存盒500、保护壳300、固体粉碎组件400、固定轴承200、过滤结构(图中未标识)和固定装置100；其中，所述保护壳300盖设在所述储存盒500上形成一容纳部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。2.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述保护壳的侧面为一环面，所述进液口设置在所述保护壳的顶部。3.如权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述储存盒为一环形槽，所述环形槽的内环口为所述出液口，所述保护壳的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同。4.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述储存盒与所述保护壳间可拆卸连接。5.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述固体粉碎组件包括：能够绕所述固定轴承转动的气动叶轮；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，包括：所述气动叶轮周向分布在所述固定轴承的外围，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天松，邵辉，王力，陈耀祖，谢宗其，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：