一种过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。本实用新型专利技术提供的过滤装置能够减少排液口处结晶堆积，保持排液管通畅，防止研磨积水漫出。止研磨积水漫出。止研磨积水漫出。

A filtering device

【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种过滤装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，在使用到机械化学研磨将晶圆平坦化时需要使用大量的水，并需要及时将研磨产生的废水排干净，因为研磨区域同时使用的研磨液，对于某些研磨液易结晶以及沉淀，通过简单打孔设置滤网不足以把结块的研磨液排走，结块的研磨液导致排水口堵塞，甚至排液管内产生结晶堵塞排液管，每次堵塞会导致水不能及时排出，由此容易导致两方面的问题：一是机台内部液位上升，水会泄漏出机台外面；二是排液管内部水流下降，导致管道内部形成结晶，进一步堵塞排液管。
[0003]因此，如何提供一种过滤装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种过滤装置，以解决现有技术存在的废液内的结晶堵塞排水口，从而导致机台液位上升废液泄漏出机台，以及排液管内部形成结晶进一步堵塞排液管的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种过滤装置，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：储存盒、保护壳、固体粉碎组件、固定轴承、过滤结构和固定装置；其中，所述保护壳盖设在所述储存盒上形成一容纳部，所述保护壳具有一进液口，所述储存盒具有一出液口；所述进液口与所述出液口位置和大小相对应，所述容纳部连通所述进液口和所述出液口；所述固体粉碎组件放置在所述容纳部内，所述固体粉碎组件覆盖所述出液口；所述过滤结构套设在所述固体粉碎组件外围；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，所述固定轴承的另一端通过所述固定装置与所述保护壳连接。2.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述保护壳的侧面为一环面，所述进液口设置在所述保护壳的顶部。3.如权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述储存盒为一环形槽，所述环形槽的内环口为所述出液口，所述保护壳的侧面内侧直径和所述环形槽的外环直径相同。4.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述储存盒与所述保护壳间可拆卸连接。5.如权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述固体粉碎组件包括：能够绕所述固定轴承转动的气动叶轮；所述固定轴承的一端连接所述固体粉碎组件，包括：所述气动叶轮周向分布在所述固定轴承的外围，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天松，邵辉，王力，陈耀祖，谢宗其，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：