一种刻蚀机传片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种刻蚀机传片装置。所述刻蚀机传片装置包括操作台；转盘，所述转盘转动安装在所述操作台的顶部；三个通孔，三个所述通孔对称开设在所述转盘上；两个支撑架，两个所述支撑架对称滑动安装在所述通孔内，且所述支撑架在通孔内能够沿竖直和水平方向滑动；下料孔，所述下料孔开设在所述操作台上；收集壳，所述收集壳固定安装在所述操作台的底部，且所述收集壳与所述下料孔相对应；上料壳，所述上料壳固定安装在所述操作台的顶部，所述转盘延伸至上料壳内。本实用新型专利技术提供的刻蚀机传片装置具有集上料下料于一体，连续性强，效率高，同时，可以集中上下料，进而减少与外部环境联系的优点。联系的优点。联系的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机传片装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种刻蚀机传片装置。

技术介绍

[0002]在半导体生产时，需要通过刻蚀进行刻蚀，在刻蚀机刻蚀时，一般通过传片装置将晶圆传送至刻蚀机内，目前，传片装置在真空的环境工作，但是，由于传统的传片装置不能集中进行上料和下料，需要频繁的与真空环境外进行联系，进而需要不断的对其工作环境做真空处理，效率低，且能耗高。
[0003]因此，有必要提供一种新的刻蚀机传片装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术解决的技术问题是提供一种集上料下料于一体，连续性强，效率高，同时，可以集中上下料，进而减少与外部环境联系的刻蚀机传片装置。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的刻蚀机传片装置包括：操作台；转盘，所述转盘转动安装在所述操作台的顶部；三个通孔，三个所述通孔对称开设在所述转盘上；两个支撑架，两个所述支撑架对称滑动安装在所述通孔内，且所述支撑架在通孔内能够沿竖直和水平方向滑动；下料孔，所述下料孔开设在所述操作台上；收集壳，所述收集壳固定安装在所述操作台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机传片装置，其特征在于，包括：操作台；转盘，所述转盘转动安装在所述操作台的顶部；三个通孔，三个所述通孔对称开设在所述转盘上；两个支撑架，两个所述支撑架对称滑动安装在所述通孔内，且所述支撑架在通孔内能够沿竖直和水平方向滑动；下料孔，所述下料孔开设在所述操作台上；收集壳，所述收集壳固定安装在所述操作台的底部，且所述收集壳与所述下料孔相对应；上料壳，所述上料壳固定安装在所述操作台的顶部，所述转盘延伸至上料壳内；固定架，所述固定架固定安装在所述操作台的顶部；推料气缸，所述推料气缸固定安装在所述固定架上；夹具，所述夹具固定安装在所述推料气缸的输出轴上。2.根据权利要求1所述的刻蚀机传片装置，其特征在于，所述操作台的底部固定安装有电机，所述电机的输出轴与转盘固定连接。3.根据权利要求2所述的刻蚀机传片装置，其特征在于，所述通孔的内壁上开设有滑动孔，所述滑动孔内滑动安装有壳体，所述壳体内固定安装有导向杆，所述支撑架延伸至壳体内与导向杆滑动连接，所述导向杆上滑动套设...

【专利技术属性】
技术研发人员：游忠伦，
申请(专利权)人：游忠伦，
类型：新型
国别省市：