一种波导调配器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种波导调配器，波导调配器包括波导管、固定座、调节柱、旋钮、传动杆、密封件，固定座上设有调节柱装配孔、传动杆装配孔，传动杆装配孔与调节柱装配孔上下贯通，传动杆包括上穿出段、中间段和下穿入段，传动杆的中间段转动装配在传动杆装配孔处，传动杆的下穿入段穿入调节柱装配孔中，并通过丝杆螺母机构与调节柱连接，传动杆的上穿出段与旋钮固定，在旋拧旋钮时带动传动杆转动进而带动调节柱上下活动；密封件设置在传动杆装配孔的外围且夹设在固定座的上端面与旋钮的下端面之间，能够有效避免灰尘进入波导调配器内部，且能够充当阻尼，使调节过程能够精密控制。使调节过程能够精密控制。使调节过程能够精密控制。

A waveguide regulator

【技术实现步骤摘要】
一种波导调配器


[0001]本技术涉及波导
，具体涉及一种波导调配器。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其放电稳定，便于控制且无电极污染等优势成为制备高品质单晶金刚石的首选方法。一套完整的MPCVD设备主要由微波电源、谐振腔、气路系统、电路系统、水路系统以及相应的调节系统组成。调节系统即波导调配器，波导调配器一般为三螺钉调配器，在使用过程中不断调节螺钉伸入矩形波导管中的长度，使系统反射功率达到最小值，提高系统的稳定性。传统三螺钉调配器存在微波泄露高、工作温度高等问题，难以实现对高功率微波传输线的有效调节。
[0003]授权公告号为CN205723894U的专利文件中公开了一种水冷式三螺钉调配器，其包括并排设置在矩形波导上的三个销钉调节系统，销钉调节系统即为销钉调节机构，包括扼流结构、介质块、调节螺母、销钉、轴承及冷却水管组，扼流结构即为固定座以与矩形波导固定连接，扼流结构上开设有扼流槽，介质块设置在扼流槽内，矩形波导即为波导管，销钉即为调节柱，扼流结构具有调节柱装配孔，调节柱穿设在扼流结构的调节柱装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.波导调配器，包括波导管、固定座(6)、调节柱、旋钮(7)，固定座(6)上设有沿上下方向延伸的调节柱装配孔，调节柱穿入调节柱装配孔中，调节柱的下端伸入波导管中，旋钮(7)转动设置在固定座(6)上，旋钮(7)与调节柱传动连接以带动调节柱上下活动，其特征是，还包括传动杆(10)、密封件，固定座(6)上还设有传动杆装配孔，传动杆装配孔与调节柱装配孔上下贯通，传动杆(10)包括上穿出段、中间段和下穿入段，传动杆(10)的中间段转动装配在传动杆装配孔处，传动杆(10)的下穿入段穿入调节柱装配孔中，并通过丝杆螺母机构与调节柱连接，传动杆(10)的上穿出段与旋钮(7)固定，在旋拧旋钮(7)时带动传动杆(10)转动进而带动调节柱上下活动；调节柱与固定座(6)之间设有止转结构，止转结构用于在调节柱上下活动时阻止调节柱相对固定座(6)转动；固定座(6)、旋钮(7)均为柱体结构，固定座(6)的上端面与旋钮(7)的下端面相对，密封件设置在传动杆装配孔的外围且夹设在固定座(6)的上端面与旋钮(7)的下端面之间。2.根据权利要求1所述的波导调配器，其特征是，传动杆装配孔内安装有轴承(9)，传动杆(10)通过轴承(9)转动装配在固定座(6)上，密封件为密封圈(11)，旋钮(7)的下端面设有密封圈安装槽，密封圈安装槽的槽口与固定座(6)的上端面相对。3.根据权利要求1或2所述的波导调配器，其特征是，传动杆(10)的下穿入段为丝杆段，调节柱上设有螺纹孔，丝杆段与螺纹孔配合形成丝杆螺母机构。4.根据权利要求3所述的波导调配器，其特征是，调节柱装配孔的孔径与调节柱的外径适配，调节柱导向设置在调节柱装配孔中。5.根据权利要求1或2所述的波导调配器，其特征是，调节柱的外周面上设有限位凸起，调节柱装配孔的内壁上设有限位长槽，限位长槽沿上下方向延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔名扬，郑逢达，李宏利，方海江，
申请(专利权)人：河南天璇半导体科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：