【技术实现步骤摘要】
波导调配器用调节机构及波导调配器
[0001]本技术涉及波导
,具体涉及波导调配器用调节机构及波导调配器。
技术介绍
[0002]目前,波导调配器被广泛的应用于各种工业微波加热设备及微波等离子体设备,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术的发展对波导调配器的性能提出了更高的要求。波导调配器一般为三螺钉调配器,在使用过程中不断调节螺钉伸入矩形波导管中的长度,使系统反射功率达到最小值,提高系统的稳定性。
[0003]如授权公告号为CN205723894U的专利文件中公开的一种三螺钉调配器,其包括并排设置在矩形波导上的三个销钉调节系统,销钉调节系统即为波导调配器用调节机构,包括扼流结构、介质块、调节螺母、销钉、轴承,扼流结构即为固定座以与矩形波导固定连接,扼流结构上开设有扼流槽,介质块设置在扼流槽内,矩形波导即为波导管,销钉即为调节柱,扼流结构具有调节柱装配孔,调节柱穿设在扼流结构的调节柱装配孔中,底部伸入矩形波导;调节螺母套设在销钉上,轴承夹持固定在调节螺母与销钉之间,调节螺母的底端与扼流结构螺纹连接,调节螺母 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.波导调配器用调节机构,包括固定座(6)、调节柱、旋钮(7),固定座(6)上设有沿上下方向延伸的调节柱装配孔,调节柱穿入调节柱装配孔中,调节柱的下端用于伸入波导管中,旋钮(7)与调节柱传动连接以带动调节柱上下活动,其特征是,还包括传动杆(10),传动杆(10)转动装配在固定座(6)上,传动杆(10)与旋钮(7)固定,传动杆(10)伸入固定座(6)的调节柱装配孔内并通过丝杆螺母机构与调节柱连接,在旋拧旋钮(7)时带动传动杆(10)转动进而带动调节柱上下活动;固定座(6)上开设有沿上下方向延伸的限位长孔(61),限位长孔(61)与调节柱装配孔贯通,调节柱上设有外伸凸起,外伸凸起沿调节柱的径向延伸,外伸凸起穿入限位长孔(61)中,在调节柱上下活动时带动外伸凸起在限位长孔(61)中上下活动,外伸凸起与限位长孔(61)止转配合;限位长孔(61)供外伸凸起露出,固定座(6)上设有用于指示外伸凸起在上下方向上位置的刻度。2.根据权利要求1所述的波导调配器用调节机构,其特征是,固定座(6)上固定有刻度条,所述刻度位于在刻度条上。3.根据权利要求2所述的波导调配器用调节机构,其特征是,刻度条为透明刻度条,透明刻度条密封覆盖在限位长孔(61)的外侧孔口处。4.根据权利要求1或2或3所述的波导调配器用调节机构,其特征是,固定座(6)上还设有传动杆装配孔,传动杆装配孔与调节柱装配孔上下贯通,传动杆(10)包括上穿出段、中间段和下穿入段,传动杆(10)的中间段转动装配在传动杆装配孔处,传动杆(10)的下穿入段向下穿入调节柱装配孔中,传动杆(10)的上穿出段向上穿出固定座(6),旋钮(7)与传动杆(10)的上穿出段固定;固定座(6)、旋钮(7)均为柱体结构,旋钮(7)的下端面与固定座(6)的上端面相对,旋钮(7)的下端面与固定座(6)的上端面之间夹设有密封件,且密封件设置在传动杆装配孔的外围。5.根据权利要求4所述的波导调配器用调节机构,其特征是,传动杆(10)的上穿出段与旋钮(7)固定,传动杆装配孔内安装有轴承(9),传动杆(10)通过轴承(9...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔名扬,李宏利,方海江,孙胜浩,郑逢达,
申请(专利权)人:河南天璇半导体科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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