一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，包括炉体，炉体外连接有进气管道，进气管道包括多个支路气管，以供各路气相沉积用处理气源分开进气，混合气管的进气端分别连接于各支路气管，混合气管的出气端分别连接有排气管、汇流进气管，同时各支路气管上还连接有载气管，控制通入单路处理气源及其载气，或多路处理气源及其相应的载气，再混合通入混合气管中，且在实际反应聚合的特定时间点处提前通入，并经由排气管向外排气回收，起到预流作用，短暂预流时间过后，再关闭排气管，同时打开汇流进气管，以通过汇流进气管向炉体内进气处理，以实现更精准、合理、高效控制进气的效果。高效控制进气的效果。高效控制进气的效果。

A vapor deposition polymerization treatment device for functional finishing of nano fiber surface

【技术实现步骤摘要】
一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置


[0001]本说明书一个或多个实施例涉及纤维表面处理
，尤其涉及一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置。

技术介绍

[0002]纳米纤维是指直径为纳米尺度而长度较大的具有一定长径比的线状材料，此外，将纳米颗粒填充到普通纤维中对其进行改性的纤维也称为纳米纤维，纳米纤维复合材料的表面整理可采用气相沉积聚合处理的方式，而气相沉积中，避免气源过度浪费的同时，对进气精准、合理、高效控制显然至关重要，以达到精准制备实验的目的，针对于此，现有的气相沉积设备尤其在进气管道的设计上，还有待进一步改进优化，以实现更精准、合理、高效控制进气的效果。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，以致力于解决
技术介绍
中的全部问题或者之一。
[0004]基于上述目的，本技术提供了一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，包括有炉体，炉体外连接有进气管道，进气管道包括：
[0005]支路气管，支路气管设置有多个，以供各路处理气源分开进气；
[0006]混合气管，混合气管的进气端分别连接于各支路气管，混合气管的出气端分别连接有排气管、汇流进气管，以通过排气管向外排气回收，通过汇流进气管向炉体内进气处理；
[0007]载气管，连接于各支路气管上，用于同步通入载气。
[0008]优选地，排气管上设有第一开关阀，用于控制排气管启闭，汇流进气管上设有第二开关阀，用于控制汇流进气管启闭。
[0009]优选地，支路气管靠近混合气管一端设有容置腔，支路气管上位于容置腔后端设有第三开关阀，载气管连接于支路气管上位于容置腔侧端处，支路气管上位于容置腔前端设有第四开关阀。
[0010]优选地，容置腔的通气内径大于支路气管的通气内径。
[0011]优选地，容置腔与支路气管一体成型。
[0012]优选地，容置腔外侧设有检测报警器，用于检测载气的泄漏。
[0013]优选地，支路气管上位于容置腔后端，以及载气管上设有流量调节阀。
[0014]从上面所述可以看出，本技术提供的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，通过设置炉体，炉体外连接有进气管道，进气管道包括支路气管，支路气管设置有多个，以供各路气相沉积用处理气源分开进气，还设置有混合气管，混合气管的进气端分别连接于各支路气管，混合气管的出气端分别连接有排气管、汇流进气管，同时各支路气管上还连接有载气管，用于同步通入载气，载气通常采用氢气、氮气、氩气等，根据不同
气相沉积需要，主要作用一般为辅助驱替载带处理气源以及辅助气相沉积反应聚合，实际中，在气相沉积不同工艺时间点，控制通入单路处理气源及其载气，或多路处理气源及其相应的载气，再混合通入混合气管中，且在实际反应聚合的特定时间点处提前通入，并经由排气管向外排气回收，起到预流作用，一方面利于管道内气体氛围稳定，且流量稳定，不会发生压力流量的突变，短暂预流时间过后，再关闭排气管，同时打开汇流进气管，以通过汇流进气管向炉体内进气处理，以实现更精准、合理、高效控制进气的效果。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本说明书一个或多个实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书一个或多个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本说明书一个或多个实施例的整体结构示意图。
[0017]图中：1、炉体；2、支路气管；3、混合气管；4、排气管；5、汇流进气管； 6、载气管；7、第一开关阀；8、第二开关阀；9、容置腔；10、第三开关阀； 11、第四开关阀；12、检测报警器。
具体实施方式
[0018]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术进一步详细说明。
[0019]需要说明的是，除非另外定义，本技术实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0020]一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，包括有炉体1，炉体1外连接有进气管道，如图1所示，进气管道包括支路气管2，支路气管2设置有多个，以供各路处理气源分开进气，设置有混合气管3，混合气管3的进气端分别连接于各支路气管2，混合气管3的出气端分别连接有排气管4、汇流进气管5，以通过排气管4向外排气回收，通过汇流进气管5向炉体1内进气处理，各支路气管2上连接有载气管6，用于同步通入载气。
[0021]本技术通过设置炉体1，炉体1外连接有进气管道，如图1所示，进气管道包括支路气管2，支路气管2设置有多个，以供各路气相沉积用处理气源分开进气，还设置有混合气管3，混合气管3的进气端分别连接于各支路气管2，混合气管3的出气端分别连接有排气管4、汇流进气管5，同时各支路气管2上还连接有载气管6，用于同步通入载气，载气通常采用氢气、氮气、氩气等，根据不同气相沉积需要，主要作用一般为辅助驱替载带处理气源以及辅助气相沉积反应聚合，实际中，在气相沉积不同工艺时间点，控制通入单路处理气源及其载气，或多路处理气源及其相应的载气，再混合通入混合气管3中，且在实际反应聚合的
特定时间点处提前通入，并经由排气管4向外排气回收，起到预流作用，一方面利于管道内气体氛围稳定，且流量稳定，不会发生压力流量的突变，短暂预流时间过后，再关闭排气管4，同时打开汇流进气管5，以通过汇流进气管5向炉体1内进气处理，以实现更精准、合理、高效控制进气的效果。
[0022]在本技术的实施例中，排气管4上设有第一开关阀7，用于控制排气管 4启闭，汇流进气管5上设有第二开关阀8，用于控制汇流进气管5启闭，以在提前预流时控制打开第一开关阀7、关闭第二开关阀8，预流结束通入反应时控制关闭第一开关阀7、打开第二开关阀8。
[0023]在本技术的实施例中，如图1所示，支路气管2靠近混合气管3一端设有容置腔9，支路气管2上位于容置腔9后端设有第三开关阀10，载气管6 连接于支路气管2上位于容置腔9侧端处，支路气管2上位于容置腔9前端设有第四开关阀11，从而该支路气管2闲置准备时，载气管6向容置腔9内冲入载气填满，待第三开关阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，包括有炉体，所述炉体外连接有进气管道，其特征在于，所述进气管道包括：支路气管，所述支路气管设置有多个，以供各路处理气源分开进气；混合气管，所述混合气管的进气端分别连接于各所述支路气管，所述混合气管的出气端分别连接有排气管、汇流进气管，以通过所述排气管向外排气回收，通过所述汇流进气管向所述炉体内进气处理；载气管，连接于各所述支路气管上，用于同步通入载气。2.根据权利要求1所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述排气管上设有第一开关阀，用于控制所述排气管启闭，所述汇流进气管上设有第二开关阀，用于控制所述汇流进气管启闭。3.根据权利要求1所述的一种纳米纤维表面功能化整理用气相沉积聚合处理装置，其特征在于，所述支路气管靠近所述混合气管一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洪杰，王赫，祝佳好，姚岚，
申请(专利权)人：安徽工程大学，
类型：新型
国别省市：